| Kammer | Vertikale Orientierung, 1 Tür |
|---|---|
| Material | Edelstahl 304/316 |
| Verdampfungs-Quelle | E-Strahl Gewehr-, Tiegel-, Wolframboot oder Tiegel |
| Absetzungs-Materialien | SiO, ZnS, Aluminium, Gold, Silber, Chrom, Kupfer, Indium, Indium-Zinn-Oxid, Nickel |
| Anwendungen | Flüssigkristall-Projektor-Linsen-Filter-Spiegel IR-/uvschnitt-Filter AR-Beschichtung APS DSC/DSLR de |
