| Kammer | Vertikale Orientierung, 1 Tür |
|---|---|
| Material | Edelstahl 304/316 |
| Verdampfungs-Quelle | Thermofilament, Thermoboot, Thermobox, Stab, Tiegel |
| Absetzungs-Materialien | Aluminium, Gold, Silber, Chrom, Kupfer, Indium, Indiumzinnoxid, Nickel |
| Fabrik-Standort | Shanghai-Stadt, China |
