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Über Vakuumbogen-Überzug Bogen-Verdampfungs-Beschichtung

December 11, 2017

Neueste Unternehmensnachrichten über Über Vakuumbogen-Überzug Bogen-Verdampfungs-Beschichtung

Über Ionenüberzug

Allgemeine Informationen

 

1. auf Überzug verwendet gleichzeitige oder periodische Energiepartikelbombardierung des niederlegenden Filmes, um die Zusammensetzung und die Eigenschaften des niederlegenden Filmes zu ändern und zu steuern.

2. Das niederlegende Material wird entweder durch Verdampfung, das Spritzen, Bogenverdampfung oder andere Verdampfungsquelle verdunstet möglicherweise.

3. Die Energiepartikel, die für Bombardierung benutzt werden, sind normalerweise Ionen eines trägen oder reagierenden Gases oder der Ionen des niederlegenden Materials (Filmionen).

4. Ionenüberzug kann in einer Plasmaumwelt erfolgt sein, in der Ionen für Bombardierung vom Plasma extrahiert werden

 

Vorteile des Ionenüberzuges

 

1. Bedeutende Energie wird in die Oberfläche des niederlegenden Filmes durch die Energiepartikelbombardierung eingeführt.

2. Oberflächenabdeckung kann über Vakuumverdampfung verbessert werden und die Absetzung wegen des zerstreuenden Gases spritzen und „Spritzenwiederabsetzungs“ Effekte.

3. Kontrollierte Bombardierung kann verwendet werden, um Filmeigenschaften wie Adhäsion, Dichte, Restfilmdruck, optische Eigenschaften zu ändern.

4. Filmeigenschaften sind vom „Winkel-vonvorkommen“ des Flusses des niederlegenden Materials weniger abhängig, als mit Absetzung spritzen Sie und die Verdampfung wegen des Gaszerstreuens, „sputtering/re-deposition“ und „der Atomhämmern“ Effekte Staub saugen Sie.

5. Bombardierung kann, um die chemische Zusammensetzung des Filmmaterials durch „Bombardierung-erhöhte chemische Reaktionen“ verwendet werden und des Spritzens Spezies der ohne Reaktion von der wachsenden Oberfläche zu verbessern.

6. In einigen Anwendungen, die das Plasma benutzt werden kann „aktivieren Sie“ reagierende Spezies und schaffen Sie neue chemische Spezies, die bereitwillig absorbiert werden, damit im reagierenden Absetzungsprozeß (reagierender Ionenüberzug) helfen

 

Nachteile des Ionenüberzuges

 

1. Es gibt viele zu steuern Verarbeitungsvariablen.

2. Es ist häufig schwierig, einheitliche Ionenbombardierung über der Substratoberfläche zu erhalten und führt zu Filmeigentumsveränderungen über der Oberfläche.

3. Substratheizung kann übertrieben sein.

4. Unter einigen Bedingungen wird das Bombardierungsgas möglicherweise in den wachsenden Film enthalten.

5. Unter übermäßigem residuell zusammenpressendem Filmdruck einiger Bedingungen kann durch die Bombardierung erzeugt werden.

6. Ionenüberzug wird verwendet, um harte Beschichtungen von Verbundmaterialien, anhaftende Metallbeschichtungen, optische Beschichtungen mit hoch- Dichten und konforme Beschichtungen auf komplexen Oberflächen niederzulegen.

7. Tröpfchen, die Affekte die Beschichtungsoberfläche konnten.

 

 

 

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