Au-Goldspritzenabscheideanlage, Silve/Absetzungs-Maschine des Goldpvd, leitfähiges Spritzensystem des Film-PVD
Zusammenfassung: Das dpc-Prozess direkte Überzug-Kupfer ist eine moderne Beschichtungstechnologie, die mit LED/Halbleiter/elektronischen Industrien angewendet wird. Eine typische Anwendung ist keramisch, Substrat ausstrahlend. Staub saugen leitfähige Filmabsetzung des Fassbinders auf Aluminiumoxyd (Al2O3), AlN-Substrate durch PVD die Spritzentechnologie, verglichen mit traditioneller Herstellung
Methoden: DBC LTCC HTCC, viel niedrigere Produktionskosten ist seine hohe Eigenschaft.
Königliches Technologieteam unterstützte unseren Kunden entwickelte den DPC-Prozess erfolgreich mit PVD Spritzentechnologie.
Schlüsselwörter: Keramische versiegelnde Teile, DPC-Prozess, kupfernes PVD Spritzensystem, keramische Chips LED mit Fassbinder-Überzug, Al2 O3, keramische Leiterplatten AlN, Platten Al2O3 auf LED, Halbleiter
Anwendungen von DPC:
· HBLED
· Substrate für Konzentratorzellen
· Leistungshalbleiter, der einschließlich Automobilmotorsteuerung verpackt
· Energiemanagementelektronik des hybriden und elektrischen Automobils
· Pakete für Rf
· Mikrowellengeräte
Dpc-Technologie-Leistung
Verschiedene Substratmaterialien: Keramisch (Al3O2, AlN), Glas und Si
Eigenschaften:
Technische Spezifikationen
1. Entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als PA 9.0*10-5;
3. Pumpende Stillstandszeit: von ATM zu 1.0×10-3 Pa≤15 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)
4. Absetzungsquelle: Gencoa-Magnetronspritzenkathoden, gelenkte Bogenkathoden, Ionenquelle
5. Funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell
6. Heizung: von der Raumtemperatur bis zum Maximum 500℃,
9. Ionenquelle für PECVD- und PApvd Prozess.
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:
1. Unterdruckkammer
1,1 Größe: Innerer Durchmesser: 1200mm
Innere Höhe: 1500mm
1,2 Material: Unterdruckkammer SUS304
Tür und Flansche SUS304
Kammer verstärken Struktur: Flussstahl SS41, mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
Flussstahl der Kammerfahrgestelle SS41 mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
1,3 Kammer-Schild: SUS304
1,4 Ansicht-Fenster: 2 auf Tür
1,5 Unterdruckkammer-Entlüftungsventil (einschließlich Schalldämpfer)
1,6 Tür: Material SUS304
2. Rohbearbeitungs-Vakuumpumpsystem:
Öldrehschaufel-Vakuumpumpe +, Pumpe halten
3. Hochvakuum-Pumpsystem: Magnetisch Suspendierungs-molekulare Pumpe - 2 Sätze
4. Elektrisches Touch Screen Operations-System des Steuer-und Operations-System-PLC+:
Lieferanten:
PLC: Mitsubishi + Touch Screen (hergestellt in China)
Elektronische Bauelemente: SCHNEIDER, OMRON.
Sicherheits-schützendes System: Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern und von Ausrüstung (Wasser, gegenwärtiges Gas, Temperatur etc.) zu schützen
Beschichtungsverfahren-System: Prozessautomatisierung u. Steuerung.
4,1 Hauptleitungsstromkreis: Kein-Sicherungsunterbrecherschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T in der Reihenart
4,2 Stromversorgung: DC/MF Spritzen Energie + DC-Bogenenergie + schräge Stromversorgung
4,3 Absetzungskontrollsystem
4,4 Operations-System: Touch Screen + PLC, Rezeptsteuerung und Datenerfassung, Selbstabschaltung, Selbstevakuierung, Selbstbeschichtung
4,5 Messverfahren
Vakuumdruck: Vakuummessgerät: Pirani +, Messgerät einsperrend + Vollvakuummessgerät -- Europa-Marke
Temperaturmessgerät: Thermoelement
Kraftstoffregler: Massenstrom-Prüfer (4 Möglichkeiten),
4,6 Warnungssystem: Druckluftdruck, abkühlender Wasserstrom, Mis-Operation
4,7 Energie-Lasts-Indikator: Spannungsindikator und Lastsstromindikator
5. Absetzungs-System
5,1 Absetzungsquelle: Bogenquellen Spritzenscathodes+ + Ionenquelle
5,2 Absetzungsmaterial: Kupfer, Aluminium, Chrome, Silber, Gold, SS, Titan etc.
6. Subsystem
6,1 Luft-komprimiertes Ventil-Kontrollsystem
6,2 Kühlwasser-System: Wasserstromrohr- und -schalterventilsystem
7. Arbeitsbereich
Druckluft: 5~8kg/cm2
Kühlwasser: Wasser-In der Temperatur: 20~25℃, 200 Liter/Minute,
Wasser-Im Druck: 2~3 kg/cm2,
Energie: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, durchschnittliche Leistungsaufnahme: 60KW
Installations-Bereich: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Auspuff: Entlüftung für mechanische Pumpen
Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen Gesamtbeschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.