Magnetron-Spritzenquellspezifikationen
Hauptmerkmale
1. Begrenzter Elementmagnetfeldentwurf
2. Magnet lokalisiert von Kühlwasser
3. Kompatibel mit DC-/MF und Rf-Energien
4. Hohe Zielnutzung
5. Justierbare ausstoßende Richtung
6. Dichte der hohen Leistung und ausgezeichnete Einheitlichkeit
7. Ausgeglichene und unausgeglichene Moduswahl
| Maximum-Spritzenenergie | |
| Indirektes abgekühltes Ziel | > 20 Watt/cm2 (DC) |
| > 7 Watt/cm2 (Rf) | |
| Entladungs-Spannung | 100 bis 1500 Volt |
| Entladestrom | > 0,05 Ampere/cm2 |
| Betriebsdruck | PA 0,05 bis 5 |
| Zielnutzung | > 35% |
| Ziel | |
| Form | Rechteckiges planares |
| Stärke | 6mm~16mm |
| Breite | 125mm |
| Installation | Intern/ |
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