Spezifikation der Magnetron-Sputterquellen
Hauptmerkmale
1. Finite-Elemente-Magnetfelddesign
2. Magnet vom Kühlwasser isoliert
3. Kompatibel mit DC/MF- und HF-Leistungen
4. Hohe Zielauslastung
5. Einstellbare Auswurfrichtung
6. Hohe Leistungsdichte und hervorragende Gleichmäßigkeit
7. Ausgewogene und unausgeglichene Moduswahl
8. Zielauslastung: > 80 %
Anwendungen:
Für roségoldene, tiefschwarze, blaue Farbabscheidungen und leitfähige Filmbeschichtungen.Kann auf vertikalen und horizontalen PVD-Magnetron-Sputterbeschichtungssystemen installiert werden.
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen. Royal Technology fühlt sich geehrt, Ihnen komplette Beschichtungslösungen anbieten zu können