ITO Roll-to-Roll Sputtering Vakuum-Web-Coating-Maschine / PET-Film-PVD-Sputtering-Maschine
Wir freuen uns, unsere MultiWeb-Serie Roll-to-Roll Vakuum-Sputtering-Web-Coater, um Ihre Anforderungen an mehrschichtige Ablagerungen zu erfüllen.
Der MultiWeb Coater bietet folgende Hauptmerkmale:
A. Eine Kammer, die in mehrerdruckige Zonen unterteilt ist, um verschiedene Ablagerungsquellen aufzunehmen.
B. Multi-Source gleichzeitige Ablagerungsmöglichkeiten in einem Webpass für mehrschichtige Beschichtungen.
C. Umkehrbare Wickelrichtung ermöglicht die Ablagerung unbegrenzter Schichten ohne Bruch des Vakuums.
D. Präzisions-Web-Handling-Mechanismen mit Randführung, um mehrere Durchläufe ohne Ausrichtungsabbau zu ermöglichen (optional)
E. AC-Inverter Web-Antriebssystem zur präzisen Steuerung mehrerer Web-Geschwindigkeiten.
F. Inline-optische und/oder Widerstandsdickenüberwachungssysteme zur präzisen Kontrolle der Ablagerungsdicke und -einheitlichkeit (optional)
G. Die Kammer besteht aus SUS304L-Edelstahl mit geringen Ausgaskomponenten, um ein tieferes Vakuum zu gewährleisten.
H. Vakuumpumpen durch eine Kombination aus Turbomolekülpumpe und Niedertemperatur-Kryogenik, um ein sauberes Vakuum ohne Feuchtigkeit oder Ölverschmutzung zu erzeugen.
ITO Roll-to-Roll Sputtering Vakuum-Web-Coating-Maschine Depositionsfilme
1. Substratmaterial: PET, PEN, PES, PI, PC, PA, Filme
2. Substratdicke: 15 bis 300 μm
3. Absetzungsmethoden: AC-Reaktive für SiO2 ((Dielektrische); Pulsierte Gleichspannung für ITO (Metall & Leiter)
4- Oxidleiter TCO: ITO, AZO, IZO...
5Metallleiter: Al, Cu, Mo, Ag...
6. Optischer Film: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7- Halbleiter: ZnO, InGaZnO...
8- Isolator: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Einheitlichkeit: ± 5% über das Netz
ITO Roll-to-Roll Sputtering Vakuum Web Beschichtungsmaschine Beschreibung
| Allgemeine Angaben | |||||||
| Vakuumkammerkörper: Mehrdruckzonen mit einer Kammer | |||||||
| Bewegliche Wagen: Webwagen | |||||||
| Deposionszone: 2 X Sputterzone (optional: 3 Sputterzone) | |||||||
| Sputterquelle: 2 X Dual-Kathoden-Sputterquelle (optional: 3 Dual-Kathoden-Sputterquelle) | |||||||
| Substratvorbehandler: Lineare Ionenquelle | |||||||
| Webebreite: 1300 mm | |||||||
| Durchmesser der Wicklung: Φ600 mm Max. | |||||||
| Wickelrichtung: in zwei Richtungen | |||||||
| Substratdicke: 15 bis 300 μm | |||||||
| Geschwindigkeit der Weblinie:0.5~10M/min | |||||||
| Spannung des Netzwerks: 5,0PLI Max 0,5PLI Min. | |||||||
| Ausrichtung der Seiten: ±3 mm (ein Durchgang) | |||||||
| Hochvakuumpumpe: Turbopumpe | |||||||
| Rohvakuumpumpe: Trockenpumpe und Bläserkombination | |||||||
| Feuchtigkeitspumpe: Polykold-Kryogen | |||||||
| Kontrolle der Ablagerungsdicke: Überwachung (optional) | |||||||
| a: Übertragung optisch; b: Eddy-Stromwiderstand | |||||||
| Systembetrieb: PLC-basierter Computerbetrieb |
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.
