Dünnfilm-Überzug-Maschine der Präzisions-Befestiger-PVD/Nano-Dekoration des Dünnfilm-PVD beendet
Was ist PVD?
PVD (ist kurzer Name des körperlichen Bedampfens), ist ein Vakuumbeschichtungsverfahren, zum eines konformen Metall-ansässigen Dünnfilms zu produzieren, der auf elektrisch leitfähigen Oberflächen gleichmäßig niedergelegt werden kann. Unter Verwendung der Bogenionenverdampfung und -magnetron MF-Spritzenmethode stellt eine einzelne beschichtende Schicht reichliche Abdeckung zur Verfügung, ohne das Oberflächenprofil zu ändern. Diese Technik wird in vielen elektronischen Industrien einschließlich optische Medien, Optik und Halbleiterbauelemente verwendet.
Dünnfilm-Eigenschaften PVD
Dünnfilm-Überzug-Maschine der Präzisions-Befestiger-PVD wird mit Befestigern angewendet und Installationen wie Schrauben, Bolzen, Zerstampfungen, Installationen, die Kappen, die in den Kosmetik, elektronische Produkte, mechanische Maschinen, Automobilindustrien benutzt werden, verwenden allgemein die PVD-Technologie, um Vielzahl von Panton-Farben, Strecke des Goldes, Schwarzes, Blau, Grau, Silber, Regenbogen, Bronze, champage etc. zu erhalten.
Dünnfilm-Überzug-Maschinen-Absetzungs-Quellen der Präzisions-Befestiger-PVD
Gelenkte Kreisbogenquellen für Verdampfung des festen Metallziels;
2 Paare MF unblanced Spritzenkathoden für Graphitdünnfilm-Schichtabsetzung;
Schräge Stromversorgung, damit Ion-bomboardment den Plasmabereich für Vorbehandlung bildet;
Anoden-lineare Ionenquelleinheit (für optionales) PACVD und PECVD Verarbeitung;
Cryopump (Polycold) für molekulare Kondensation des Wassers (für optionales)
Dünnfilm-Überzug-Maschinen-Strukturen der Präzisions-Befestiger-PVD
1. Unterdruckkammer
2. Rouhging-Vakuumpumpe-System (Schutzträger-Pumpen-Paket)
3. Hochvakuum-Pumpsystem (magnetisch Suspendierungs-molekulare Pumpe)
4. elektrisches Steuer-und Operations-System
5. Auxiliarry-Anlagen-System (Subsystem)
6. Absetzungs-System: Mf-Spritzenkathode, MF-Stromversorgung, schräge Stromversorgungs-Ionenquelle für optionales
Dünnfilm der Präzisions-Befestiger-PVD, der Machin-Leistung überzieht
1. entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als Torr 5.0×10-6.
2. funktionierender Vakuumdruck: Torr 1.0×10-4.
3. Pumpingdown-Zeit: von 1 ATM zu 1.0×10-4 Torr≤ 3 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)
4. Metallisierung des Materials (spritzend + Bogenverdampfung): Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr, Zinn, Tic, TiAlN, CrN, zyklische Blockprüfung, etc.
5. funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell
Dünnfilm der Präzisions-Befestiger-PVD, der Machin-Spezifikationen überzieht
| MODELL | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TECHNOLOGIE | Spritzendes MF-Magnetron + Ionenüberzug | ||||||
| MATERIAL | Edelstahl (S304) | ||||||
| KAMMER-GRÖSSE | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| KAMMER-ART | Zylinder, Vertikale, 1 Tür | ||||||
| SPRITZENsystem | Ausschließlich Entwurf für dünne schwarze Filmabsetzung | ||||||
| ABSETZUNGS-MATERIAL | Aluminium, Silber, Kupfer, Chrome, Edelstahl, Nickel |
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| ABSETZUNGS-QUELLE | 2 Sätze MF zylinderförmiges, das Spritzen + 8 anvisiert, steuerten kathodische Bogen-Quellen + Ionenquelle für optionales | ||||||
| GAS | Weisen Kraftstoffreglers 4, AR, N2, O2, C2H2 | ||||||
| STEUERUNG | PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) + | ||||||
| PUMPEN-SYSTEM | SV300B - 1 Satz (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 stellt ein (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 Satz (Leybold) | |||||||
| Molekulare Pumpen Turbos: 2* F-400/3500 | |||||||
| VORBEHANDLUNG | Schräge Stromversorgung: Kilowatt 1*36 | ||||||
| SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern zu schützen | ||||||
| ABKÜHLEN | Kaltes Wasser | ||||||
| ENERGIE ELEKTRISCH | 480V/3 phases/60HZ (USA konform) | ||||||
| 460V/3 phases/50HZ (Asien konform) | |||||||
| 380V/3 phases/50HZ (EU-CE konform) | |||||||
| ABDRUCK | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| GESAMTgewicht | 7,0 T | ||||||
| ABDRUCK | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MILLIMETER | ||||||
| ZYKLUS-ZEIT | 30~40 Minuten (abhängig von Substratmaterial, Substratgeometrie und -Umweltbedingungen) |
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| ENERGIE-MAXIMUM. | 155 KILOWATT | ||||||
| DURCHSCHNITTLICHE ENERGIE VERBRAUCH (CA.) |
75 KILOWATT |
Die kundengebundenen Maschinengrößen sind auch basiert auf spezifizierten verlangten Produkten verfügbares.
Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen Gesamtbeschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.
