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Dünnfilm-Absetzungs-System-Spritzen PVD und thermische Verdunstungsproduktivität PVD der vakuumbeschichtung hohe Beschichtungs-Maschine

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Dünnfilm-Absetzungs-System-Spritzen PVD und thermische Verdunstungsproduktivität PVD der vakuumbeschichtung hohe Beschichtungs-Maschine
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Eigenschaften
Technische Daten
Features: 2 Klappenstruktur, vertikale Kammer, für hohe Produktivität
Technology: DC spritzen Kathoden und Thermal verdunstete Quellen
Fabrik-Standort: Shanghai-Stadt, China
Weltweiter Service: Polen - Europa; Der Iran West-Asien u. Mittlere Osten, die Türkei, Indien, Mexiko Südamerika
Weltweiter Service: Polen - Europa; Der Iran West-Asien u. Mittlere Osten, die Türkei, Indien, Mexiko Südamerika
Trainings-Service: Rechneroperation, Wartung, Beschichtungsverfahren Rezepte, Programm
Garantie: Begrenzte Garantie 1-jährig für freies, ganzes Leben für Maschine
SOEM U. ODM: verfügbar, stützen wir maßgeschneiderten Entwurf und Herstellung
Markieren:

thin film coating equipment

,

thin film deposition equipment

Grundinformation
Herkunftsort: China
Markenname: ROYAL
Zertifizierung: CE, UL Standard
Modellnummer: RTEP1616-SP
Zahlung und Versand AGB
Verpackung Informationen: Exportieren Sie Standard, in den neuen Kästen/in Kartonen, in passend sind für Langstreckenozean/Luf
Lieferzeit: 12 Wochen
Produkt-Beschreibung

 

Dünnfilm-Absetzungs-System-Spritzen PVD und thermische Verdunstungsvakuumbeschichtungs-Ausrüstung

 

Dünnfilm-Absetzungs-System PVD, Spritzen und thermische Verdunstungsvakuumbeschichtungs-Ausrüstung

 

 

Dünnfilm-Absetzungs-System PVD enthält die Absetzungsquellen der Wolframfaden-Verdampfungsquelle und DC-Magnetron spritzen Quellen (Rfspritzenkathoden sind für Wahl). Diese Ausrüstung wird größtenteils benutzt, um Dünnfilme auf Plastikteilen, Glas, Metall oder Folien mit den niederlegenden Materialien wie niederzulegen: reines Metallal, Cr, Cu, AG, Au, Verdampfungsquellen des Ti-etc. im Allgemeinen, zum von hohen reflektierenden Dünnfilmen auf Produktoberflächen oder von leitfähigen Filmen zu erhalten, oder eines metallischen Aussichtbildes zu geben.  Außer dass, die Spritzenquellen kondensieren eine breite Palette von Halbleitermaterialien und -dielektrika einschließlich transparente leitfähige Oxide, etc. 

 

 

Dünnfilm-Absetzungs-Systemkonfigurationen PVD:

 

Leistung

1. Entscheidender Vakuumdruck:  verbessern Sie als Torr 5.0×10-6.

2. Funktionierender Vakuumdruck: Torr 1.0×10-4.

3. Stillstandszeit von 1 ATM zu 1.0×10-4 Torr≤3 Minuten pumpen (Raumtemperatur, trocknen, säubern und leeren Kammer)   

4. Metallisierung des Materials (Verdampfung): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… etc.

5. Funktionierendes Modell:  Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell

 

l Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:

 

 

1. Unterdruckkammer
1,1 Größe:  Innerer Durchmesser 1600mm

         Innere Höhe 1600mm

1,2 Material:  Unterdruckkammer SUS304 (Flussstahl SS41 für Wahl)

            Tür und Flansche SUS304 (Flussstahl SS41 für Wahl)

       Kammer verstärken Struktur: Flussstahl SS41, mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.

  Flussstahl der Kammerfahrgestelle SS41 mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.

1,3 Schild: SUS304

 

 1,4 Ansicht-Fenster: auf Kammertür

1,5 Unterdruckkammer-Entlüftungsventil, einschließlich Schalldämpfer

1,6 Material der Tür SUS304

2. Rouhging-Vakuumpumpsystem  

3. Hochvakuum-Pumpsystem 

4. Elektrischer Touch Screen des Steuer-und Operations-System-PLC+

4,1 Hauptleitungsstromkreis: Kein-Sicherungsunterbrecherschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T in der Reihenart

4,2 Verdampfungs-Energie: 35kVA

4,3 Verdampfungs-Kontrollsystem

4,4 Operations-System:  Touch Screen + PLC, Rezeptsteuerung und Datenerfassung, Selbstabschaltung, Selbstevakuierung, Selbstbeschichtung

4,5 Vakuumdruck-Messverfahren

     Vakuummessgerät: Pirani +, Messgerät einsperrend

     Thermoelement-Messgerät: 760 Torr | Torr 5*10-4

4,6 Warnungssystem:  Druckluftdruck, abkühlender Wasserstrom, Mis-Operation 

 

4,7 Energie-Lasts-Indikator:  Spannungsindikator und Lastsstromindikator

 

5. Absetzungs-System

5,1 Wolframfaden-Verdampfungsquelle

5,2 thermische Verdampfungsmaterialien: Drähte, Ringe, Stangen etc.

5,3 spritzen Sie Quellen (DC/MF motorisiert)

 

6. Subsystem

6,1 Luft-komprimiertes Ventil-Kontrollsystem

6,2 Kühlwasser-System-Wasserflussrohr- und -schalterventilsystem

 

 Dünnfilm-Absetzungs-System-Spritzen PVD und thermische Verdunstungsproduktivität PVD der vakuumbeschichtung hohe Beschichtungs-Maschine 0

Dünnfilm-Absetzungs-System-Spritzen PVD und thermische Verdunstungsproduktivität PVD der vakuumbeschichtung hohe Beschichtungs-Maschine 1

 

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