Dünnfilm-Absetzungs-System-Spritzen PVD und thermische Verdunstungsvakuumbeschichtungs-Ausrüstung
Dünnfilm-Absetzungs-System PVD, Spritzen und thermische Verdunstungsvakuumbeschichtungs-Ausrüstung
Dünnfilm-Absetzungs-System PVD enthält die Absetzungsquellen der Wolframfaden-Verdampfungsquelle und DC-Magnetron spritzen Quellen (Rfspritzenkathoden sind für Wahl). Diese Ausrüstung wird größtenteils benutzt, um Dünnfilme auf Plastikteilen, Glas, Metall oder Folien mit den niederlegenden Materialien wie niederzulegen: reines Metallal, Cr, Cu, AG, Au, Verdampfungsquellen des Ti-etc. im Allgemeinen, zum von hohen reflektierenden Dünnfilmen auf Produktoberflächen oder von leitfähigen Filmen zu erhalten, oder eines metallischen Aussichtbildes zu geben. Außer dass, die Spritzenquellen kondensieren eine breite Palette von Halbleitermaterialien und -dielektrika einschließlich transparente leitfähige Oxide, etc.
Dünnfilm-Absetzungs-Systemkonfigurationen PVD:
Leistung
1. Entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als Torr 5.0×10-6.
2. Funktionierender Vakuumdruck: Torr 1.0×10-4.
3. Stillstandszeit von 1 ATM zu 1.0×10-4 Torr≤3 Minuten pumpen (Raumtemperatur, trocknen, säubern und leeren Kammer)
4. Metallisierung des Materials (Verdampfung): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… etc.
5. Funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell
l Struktur
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:
1. Unterdruckkammer
1,1 Größe: Innerer Durchmesser 1600mm
Innere Höhe 1600mm
1,2 Material: Unterdruckkammer SUS304 (Flussstahl SS41 für Wahl)
Tür und Flansche SUS304 (Flussstahl SS41 für Wahl)
Kammer verstärken Struktur: Flussstahl SS41, mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
Flussstahl der Kammerfahrgestelle SS41 mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
1,3 Schild: SUS304
1,4 Ansicht-Fenster: auf Kammertür
1,5 Unterdruckkammer-Entlüftungsventil, einschließlich Schalldämpfer
1,6 Material der Tür SUS304
2. Rouhging-Vakuumpumpsystem
3. Hochvakuum-Pumpsystem
4. Elektrischer Touch Screen des Steuer-und Operations-System-PLC+
4,1 Hauptleitungsstromkreis: Kein-Sicherungsunterbrecherschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T in der Reihenart
4,2 Verdampfungs-Energie: 35kVA
4,3 Verdampfungs-Kontrollsystem
4,4 Operations-System: Touch Screen + PLC, Rezeptsteuerung und Datenerfassung, Selbstabschaltung, Selbstevakuierung, Selbstbeschichtung
4,5 Vakuumdruck-Messverfahren
Vakuummessgerät: Pirani +, Messgerät einsperrend
Thermoelement-Messgerät: 760 Torr | Torr 5*10-4
4,6 Warnungssystem: Druckluftdruck, abkühlender Wasserstrom, Mis-Operation
4,7 Energie-Lasts-Indikator: Spannungsindikator und Lastsstromindikator
5. Absetzungs-System
5,1 Wolframfaden-Verdampfungsquelle
5,2 thermische Verdampfungsmaterialien: Drähte, Ringe, Stangen etc.
5,3 spritzen Sie Quellen (DC/MF motorisiert)
6. Subsystem
6,1 Luft-komprimiertes Ventil-Kontrollsystem
6,2 Kühlwasser-System-Wasserflussrohr- und -schalterventilsystem
Lernen Sie mehr über die Maschine und die Anwendungen, die verfügbar sind, treten Sie mit uns bitte jetzt in Verbindung.