Hochleistungs-Vakuum-Metall-Abscheideanlage, CsI-Vakuum-metallizer durch thermischen Tiegel
Schlüsselwörter: hohe Auflösung, CsI: T1; dünne scintillator Filme; Röntgenstrahldarstellung; Bedampfenmethode, Kohlenstoffschichtnachabsetzung
Dünnfilmabsetzung CsI für Röntgenstrahl-Darstellungsgeräte ist eine fortgeschrittene Technik, CsI auf dem Schirm zu verdunsten, um eine hohe Qualität der Darstellung zu geben. Mit seiner Leistung der hohen Auflösung auch weitverbreitet in der Sicherheitsprüfung und -inspektion, in den Hochenergiephysikthemen, in der Physik von Atomenergiebereichen etc.
Das thermische Anstrichsystem der Verdampfung RTEP0913 wurde für CsI-Filmabsetzung auf Röntgenstrahldarstellung in der Hochvakuumdruckumwelt entwickelt. Die CsI T1-scintillators, die von μm 2 zu μm 14 in der Stärke reichen. Der Kohlenstoffschichtfilm kann Nachabsetzung gehalten werden, um hohe Auflösungen zu verbessern.
Bedampfenleistung und -kennzeichnungen des Cäsium-Jodid-(CsI T1)
Art:
L vertikale Orientierung, Zylinder, 1 Tür, vordere Öffnung.
Ausrüstungsbeschreibungen:
L hoher entscheidender Vakuumdruck: bis zu PA 9.0*10-5;
L schnelle der Heizung Geräte oben für eine gute Adhäsion;
L richtige zu vermeiden Hochvakuumpumpenauswahl und Pumpsystem, materielles zu riskieren herausgestellt in der Luft;
robustes, kompaktes und festes Anstrichsystem L;
L hohe Stabilität, 960 Stunden ohne Halt bearbeitend.
L Inficon-Dicken-Prüfergerät, zum der Dicke inline zu überwachen.
L ausschließlich Tiegel entwerfen und Auswahl für CsI-Absetzung.
L beschichtende Substrate, max. Größe: 500*500mm
L brachte GestellKonzepte des Entwurfes kann die Substrate mit 2 Stücken pro Reihe laden, erhöhen in hohem Grade den Produktionsertrag voran.
Technische Spezifikationen:
L Leistung
1. entscheidender Vakuumdruck: besser als PA 9.0*10-5;
2. funktionierender Vakuumdruck: PA 6,0*10-4 | PA9,0*10-4;
Niedriger Vakuumdruck: PA 3,0*10-4
3. Pumpende Stillstandszeit: von ≤ PA-1 ATM bis 2,0×10-325 saubere und leere Kammer der Minuten (Raumtemperatur, trockenes,)
4. Absetzungsquelle: thermische Verdampfung des Quarztiegels
5. Funktionierendes Modell: Voll automatisch /Semi-Auto/ manuell
6. Heizung: von der Raumtemperatur bis zu max. 1000℃,
TFT-Glassubstrat, das oben Zeit erhitzt: von 0~250℃<40mins>
7. CsI-Absetzungsrate: 0~100nm/sec
8. CsI: Dicke T1: bis 600μm
L Struktur
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das abgeschlossen Schlüsselsystem, das nachstehend aufgeführt wird:
1. Unterdruckkammer
1,1 Größe: Innerer Durchmesser 900Millimeter
Innere Höhe: 1300 Millimeter
1,2 Material: Unterdruckkammer SUS304
Tür und Flansche SUS304
Kammer verstärken Struktur: Flussstahl SS41, mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
Flussstahl der Kammerfahrgestelle SS41 mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
1,3 Verdampfungs-Schild: SUS304
1,4 Ansicht-Fenster: auf Kammertür
1,5 Unterdruckkammer-Entlüftungsventil (einschließlich Schalldämpfer)
1,6 Tür: Material SUS304
2. Skizzierendes Vakuumpumpsystem:
Ölpumpen DrehschaufelVakuumpumpe + Wurzeln (Deutschland Pfeiffer)
3. Hochvakuum-Pumpsystem:
Magnetische Suspendierungs-molekulare Pumpe (Deutschland Pfeiffer)
4. Elektrischer Touch Screen des Steuer-und Operations-System-PLC+
4,1 Hauptstromkreis: Kein-Sicherungsunterbrecherschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T in der Reihenart
4,2 Verdampfungs-Energie
4,3 Verdampfungs-Kontrollsystem
4,4 Operations-System: Touch Screen + PLC, Rezeptsteuerung und Datenerfassung, Selbstabschaltung, Selbstevakuierung, Selbstbeschichtung
4,5 Messverfahren
Vakuumdruck: Vakuummessgerät: Pirani +, Messgerät einsperrend + Vollvakuummessgerät
Temperaturmessgerät: Thermoelement
Dickenprüfer: Inficon-Marke, SQC-310
4,6 Warnungssystem: Druckluftdruck, abkühlender Wasserstrom, Mis-Operation
4,7 Energie-Lasts-Indikator: Spannungsindikator und gegenwärtiger Indikator der Last
5. Absetzungs-System
5,1 Absetzungsquelle: Quarztiegel
5,2 Absetzungsmaterial: CsI, Kohlenstoff
6. Subsystem
6,1 Luft-komprimiertes Ventil-Kontrollsystem
6,2 Kühlwasser-System: Wasserstromrohr- und -schalterventilsystem
Arbeitsbereich
Druckluft: 5~8kg/cm2
Kühlwasser: Wasser-In der Temperatur: 20~25℃, 200 Liter/Minute,
Wasser-Im Druck: 2~3 kg/cm2,
Energie: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 65KVA, durchschnittliche Leistungsaufnahme: 30KW
Installations-Bereich: (L*W*H) 3000*200*2300Millimeter
Auspuff: Entlüftung für mechanische Pumpen
Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen beschichtende Gesamtlösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.