Induktive Verdampfungs-Beschichtungs-Maschine
Zusammenfassung:
Induktionsheizung ist auf den verschiedenen Gebieten wegen der hohen Prozessproduktivität und der Universalität, Reinlichkeit und Möglichkeit der vollen Automatisierung weit verbreitet. Als eine Methode der thermischen Verdampfungstechnologie PVD, ist der Prozess für Umwelt freundlich. Da die Induktion Temperatur von 2000℃ und von mehr erreichen darf, ist diese Methode für industrielle Industrieproduktion sehr passend und wissenschaftlich erforscht.
Die Verdampfungs-Beschichtungs-Maschine der Induktions-RTEP0404 ist für Verdunstungsabsetzung C60 schwankt an von den Materialien bestimmt. C60 stellt zur Verfügung stellt R&D und Testergebnisse für zukünftiges her. Ein starkes Werkzeug, das sie unterstützt, um neue angewandte Industrien zu erweitern.
Der erste Satz wird für Shanghai-Universität produziert. Modell der industriellen Industrieproduktion ist unter der Verarbeitung.
Hauptanwendungen:
Zu Dünnfilmschichten und -beschichtungen an niederlegen
Art:
Vertikale Orientierung, Glasglocke-Modell, Spitzenöffnung
Ausrüstungsbeschreibungen:
Technische Spezifikationen:
1. Entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als PA 9.0*10-5;
Niedriger Vakuumdruck: PA 3.0*10-4
3. Pumpende Stillstandszeit: von 1 ATM zu 2.0×10-3 Pa≤25 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)
4. Absetzungsquelle: Induktionsverdampfer, Tiegel
5. Funktionierendes Modell: Manuell
6. Heizung: von der Raumtemperatur bis zum Maximum 1000℃,
7. Verdampfungs-Energie: Rfhochfrequenz und -Stromversorgung
8. Arbeitsgas: AR
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:
1. Unterdruckkammer
1,1 Größe: Innerer Durchmesser 400mm
Innere Höhe: 400mm
1,2 Material: Unterdruckkammer SUS304
Kammer verstärken Struktur: Flussstahl SS41, mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
Flussstahl der Kammerfahrgestelle SS41 mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.
1,3 Verdampfungs-Schild: SUS304
1,4 Ansicht-Fenster: auf Kammertür
1,5 Unterdruckkammer-Entlüftungsventil (einschließlich Schalldämpfer)
2. Rohbearbeitungs-Vakuumpumpsystem:
Zweistufige Öl-Drehschieberpumpe
3. Hochvakuum-Pumpsystem: Molekulare Pumpe Turbos
4. Elektrische Operationseinheit des Steuer-und Operations-Systems HMI
4,1 Hauptleitungsstromkreis: Kein-Sicherungsunterbrecherschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T in der Reihenart
4,2 Verdampfungs-Energie
4,3 Verdampfungs-Kontrollsystem
4,4 Operations-System: PLC
4,5 Messverfahren
Vakuumdruck: Vakuummessgerät: Pirani +, Messgerät einsperrend
4,6 Warnungssystem: Druckluftdruck, abkühlender Wasserstrom, Mis-Operation
4,7 Energie-Lasts-Indikator: Spannungsindikator und Lastsstromindikator
5. Absetzungs-System
5,1 Absetzungsquelle: Induktionsthermalverdampfer
5,2 Absetzungsmaterial: C60
6. Subsystem
6,1 Luft-komprimiertes Ventil-Kontrollsystem
6,2 Kühlwasser-System: Wasserstromrohr- und -schalterventilsystem
6,3 Arbeitsgas: AR (>99.99%)
7. Arbeitsbereich
Druckluft: 5~8kg/cm2
Kühlwasser: Wasser-In der Temperatur: 20~25℃, 200 Liter/Minute,
Wasser-Im Druck: 2~3 kg/cm2,
Energie: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, durchschnittliche Leistungsaufnahme: 3kVA
Installations-Bereich: (L*W*H) 2000*200*2000mm
Auspuff: Entlüftung für mechanische Pumpen
Up-Downeinheit automatisch, ziehend, um sich zu öffnen/nah die Kammer
Elektrisches Einschließungs-System:
Sicherheits-Spitzen:
Shileding-Schutz vor Rf-Strahlung
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