Beschreibung:
Das spritzende Magnetron ist eine andere Form der PVD-Beschichtungstechnologie.
Plasmabeschichtung
Das spritzende Magnetron ist ein Plasmabeschichtungsverfahren, hingegen Spritzenmaterial an der Bombardierung von Ionen zur Zieloberfläche ausgestoßenes liegt. Die Unterdruckkammer der PVD-Beschichtungsmaschine wird mit einem Edelgas, wie Argon gefüllt. Indem man eine Hochspannung anwendet, wird ein Glimm, mit dem Ergebnis der Beschleunigung von Ionen zur Zieloberfläche und zu einer Plasmabeschichtung geschaffen. Die Argonionen stoßen Spritzenmaterialien von der Zieloberfläche (Spritzen), mit dem Ergebnis einer gespritzten beschichtenden Schicht auf den Produkten vor dem Ziel aus.
Reagierendes Spritzen
Häufig wird ein zusätzliches Gas wie Stickstoff oder Acetylen benutzt, die mit dem ausgestoßenen Material reagieren (reagierendes Spritzen). Eine breite Palette von gespritzten Beschichtungen ist mit dieser PVD-Beschichtungstechnik erreichbar. Magnetronspritzentechnologie ist für decretive Beschichtung (z.B. Ti-, Cr-, Zr-und Kohlenstoff-Nitride), wegen seiner glatten Natur sehr günstig. Der gleiche Vorteil macht das Magnetronspritzen weit verbreitet für tribologische Beschichtung in den Automobilmärkten (andvarious Kombinationen z.B. CrN, des Cr 2N mit DLC-Beschichtung - Diamant wie Kohlenstoffbeschichtung).
Magnetfelder
Das Magnetron, das spritzt, ist zu allgemeiner Spritzentechnologie ein wenig unterschiedlich. Der Unterschied ist, dass Magnetronspritzentechnologie Magnetfelder benutzt, um das Plasma vor dem Ziel zu halten und die Bombardierung von Ionen verstärkt. Ein in hohem Grade dichtes Plasma ist das Ergebnis dieser PVD-Beschichtungstechnologie.
Magnetronspritzentechnologie wird vorbei gekennzeichnet:
Maximum-Spritzenenergie | |
Indirektes abgekühltes Ziel | > 20 Watt/cm2 (DC) |
> 7 Watt/cm2 (Rf) | |
Entladungs-Spannung | 100 bis 1500 Volt |
Entladestrom | > 0,05 Ampere/cm2 |
Betriebsdruck | PA 0,05 bis 5 |
Zielnutzung | > 35% |
Ziel | |
Form | Rechteckiges planares |
Stärke | 6mm~16mm |
Breite | 125mm |
Installation | Intern/ |