Keramische beschichtende Ausrüstungs-Eigenschaften PVD:
1. Unterdruckkammer ist vertikale offene Tür, 304, die Edelstahl herstellt, Unterdruckkammerinnendurchmesser von φ1400mm-Φ2000mm;
2. Vakuum-Anlage durch Drehschieberpumpe, wurzelt Pumpe und Öl-Diffusions-Pumpen oder molekulare Pumpen-Konstitution;
3. Anstrichsystem verwendet Magnetismus der Zwischenfrequenz 1-2, um die SpritzenEnergiequelle zu steuern, hat 1-2 Paare des nicht-ausgeglichenen Magnetismus, zum des Ziels zu steuern und hat 14-40 Bogenquellen.
4. Impulsneigungs-Energiequelle der hohen Leistungsfähigkeit;
5. Der Vergasungssystemgebrauch produzierte inländisch oder das Importgasförmige Massenströmungsmesser, das Meter des Gasflussmengensteuer (Demonstration);
6. Der elektrisch elektrische überbelastete Stromkreis der Regelstreckeeinrichtung, schnitt die Wasserversorgung, stirbt das Acoustooptikwarnungsgerät ab;
7. Kontrollsystem (mit Berührungseingabe Bildschirm +PLC), Realzeitanzeige führte Parameter, gesamtes Produktionsverfahren der vollständig Steuerung und technologischen Parameter des automatischen Gedächtnisses einzeln auf.
Beschichtende Ausrüstung PVD - Spezifikationen RTAC1618
MODELL | RTAC1618 | ||
MATERIAL | Edelstahl (S304) | ||
KAMMER-GRÖSSE | Φ1600*1800mm (H) | ||
PUMPEN-SYSTEM | Drehkolben-Vakuumpumpe (mechanisch) | ||
Dreh-Vane Vacuum Pump (Holding) | |||
Wurzeln Vakuumpumpe | |||
Diffusions-Pumpe | |||
TECHNOLOGIE | Ion Plating (Multi-Bogenquellen) | ||
TYPISCHE ZIELE | Chrome, Titan, Zirkonium, TiAl | ||
GAS | Gas-Massenstrom-Meter (AR, N2,) Argon, Stickstoff | ||
STEUERUNG | PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) | ||
SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern und von Ausrüstung zu schützen | ||
ABKÜHLEN | Kühlwasser Recyle | ||
HEIZUNG | Heizung, bis zu 300℃ | ||
ENERGIE-MAXIMUM. | 150KW (ca.) | ||
DURCHSCHNITTLICHE LEISTUNGSAUFNAHME | 70KW (ca.) |
Keramische beschichtende Ausrüstung PVD nimmt Ionenüberzugtechnologie, um solide Metalle wie Titan, Chrome zu verdunsten durch kathodische Bogenquelle und die ionisierten Metalle auf Produktoberfläche zu kondensieren, um den Nano-Dünnfilm in der Hochvakuumumwelt zu erzeugen. Mit dem reagierenden Gas wie: Stickstoff, zum von verschiedenen Farben zu erzeugen.
Andere kundengebundene Maschinengrößen sind basiert auf spezifizierten Produktmaßen und Kapazitätsnachfrage vailable.
Modell | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
Innere Größe der Kammer | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
Stromversorgungsart | Bildet Stromversorgung, Fadenstromversorgung, Impulsneigungsstromversorgung einen Bogen | ||||||||||
Struktur der Unterdruckkammer | Vertikale Haustürstruktur, hinteres Luftabsaugungssystem und DoppelschichtWasserkühlungskammer | ||||||||||
Material der Unterdruckkammer | Edelstahl 304/316L | ||||||||||
Entscheidendes Vakuum | 6.0x10-4Pa (Entleerung, sauber, Kammer trocknend) | ||||||||||
Vakuumpumpende Geschwindigkeit | von Atmosphäre zu 8.0*10-3Pa ≤15 Minuten | ||||||||||
Vakuumpumpsystem | Diffusionspumpe oder molekulare Pumpe + Wurzeln pumpen + mechanische Pumpe +, Pumpe halten (das spezifische Modell kann entsprechend Kundenanforderungen vorgewählt werden) | ||||||||||
Bogenquelle | 6 Einheiten oder 8 Einheiten | 8 Einheiten oder 10 Einheiten | 10 Einheiten oder 12 Einheiten | 14 Einheiten oder 16 Einheiten | 16 Einheiten oder 18 Einheiten | ||||||
Schräge Stromversorgung | 20KW/set | 20KW/set | 30KW/set | 40KW/set | 50KW/set | ||||||
Fahren des Modells | Planetarische Revolution und Rotation, variable Frequenzgeschwindigkeitsregelung (kontrollierbar und justierbar) | ||||||||||
Heizsystem | Kontrollierbar und justierbar von Raumtemperatur zu 450°C (Pid-Temperaturüberwachung) | ||||||||||
Kraftstoffregler | 3-path oder ProzessgasSteuerung des Datenflusses mit 4 Wegen und Anzeigesystem, selektives automatisches gasendes System | ||||||||||
Kühlsystem | Wasserumlaufkühlungsmodus, abkühlende Wasserturm- oder Brauchwasserkühlvorrichtung oder tiefes Kühlsystem. (Zur Verfügung gestellt von den Kunden) | ||||||||||
Steuermodus | Handbuch/automatischer Integrationsmodus, Touch Screen Operation, PLC oder Rechnersteuerung | ||||||||||
Gesamtleistung | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
Warnung und Schutz | Warnungswasserknappheit, über Strom und Überspannung, offener Stromkreis und andere anormale Zustände von Pumpen, Ziele und so weiter und relevante Schutzmaßnahmen und Funktion der elektrischen Verriegelung durchführen | ||||||||||
Ausrüstungsbereich | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
Andere technische Parameter | Wasser-Druck ≥0.2MPa, Wassertemperatur ≤25°C, Luftdruck 0.5-0.8MPa | ||||||||||
Anmerkungen | Die spezifische Konfiguration der beschichtenden Ausrüstung kann entsprechend Prozessanforderungen des Beschichtens von Produkten entworfen sein |
Keramische Dateien PVD beschichtende Proben
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