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Ni-Pvd-Magnetron-Sputtermaschine Stabiles Cr-Vakuummetallisierungssystem

1 Satz
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negotiable
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Ni-Pvd-Magnetron-Sputtermaschine Stabiles Cr-Vakuummetallisierungssystem
Eigenschaften Galerie Produkt-Beschreibung Fordern Sie ein Zitat
Eigenschaften
Technische Daten
Magnetron-Spritzenkathode: Planare oder Zylinderkathoden
Energie-Modell: DC, MF
Ablagerungsquellen: kathodischer Bogen, Magnetron spritzt
Plasma-Reinigung: Pulsierte schräge Plasmabombardierung
Ionenquelle: Lineare Anodenschichtart
Vorteile: flexibel, stabil, standardisiert, hohe Qualität und wiederholbares
Ort der Fabrik: Shanghai-Stadt, China
Weltweiter Service: Polen - Europa; Iran – Westasien und Naher Osten, Türkei, Indien, Mexiko – Südamerika
Schulungsservice: Maschinenbedienung, Wartung, Beschichtungsprozess Rezepte, Programm
Garantie: Begrenzte Garantie 1 Jahr kostenlos, ganzes Leben für die Maschine
OEM & ODM: verfügbar, wir unterstützen maßgeschneidertes Design und Fertigung
Markieren:

Ni-Pvd-Magnetron-Sputtermaschine

,

Cr-Vakuummetallisierungssystem

,

Vakuum-Magnetron-Sputtermaschine

Grundinformation
Herkunftsort: Made in China
Markenname: ROYAL
Zertifizierung: CE by TUV
Modellnummer: RTAC1215-SP
Zahlung und Versand AGB
Verpackung Informationen: Exportieren Sie Standard, in den neuen Kästen/in Kartonen, in passend sind für Langstreckenozean/Luf
Lieferzeit: 12~16 Wochen
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 6 Sätze pro Monat
Produkt-Beschreibung

 

Ni-PVD-Sputterbeschichtungsanlage, Cr-Vakuummetallisierungsanlage, Sn-/Ag-Vakuumbeschichtungsanlage, Kupferbeschichtungsanlage

 

 

Ni-Pvd-Magnetron-Sputtermaschine Stabiles Cr-Vakuummetallisierungssystem 0

 

Ausrüstungsstruktur:

 

Die RTAC1215-SP-Maschine ist ein Oktkaltyp, der aus Vakuumpumpen, einer Vakuumkammer mit 8 Bogenkathoden, 1 linearen Ionenquelle, 2 Sätzen DC-Sputterkathoden und 1 Paar MF-Sputterkathoden besteht.Die an der Ionenquelle und den Sputterkathoden montierten Flansche sind standardisiert und können je nach Bedarf des Beschichtungsprozesses flexibel ausgetauscht werden.

 

Anwendungen:

 

1. DPC-Industrie für keramische Dichtungsteile, DPC-Prozess, Kupfer-PVD-Sputtersystem, LED-Keramikchips mit Cooper-Überzug, Al2Ö3, AlN-Keramik-Leiterplatten, Al2O3-Platten auf LED, Halbleiter

 

2. Silber, Ni, Chrom, Gold, Aluminium, In, Sn usw. Metallfilme und TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN usw.

 

Vorteile:

 

1. Kostengünstige Produktion

2. Humanisierung des Arbeitsplatzes (ergonomische Gestaltung des Arbeitsplatzes, Minimierung von Platz, Lärm und Unfallgefahr)

3. Ertrag von hoher Qualität.

4. Starke Haftung mit leistungsstarker Aufheizvorrichtung und Reinigung der Plasmaquelle;

5. Kompaktes Design und mit einfachem Zugang für Upgrade- und Wartungsarbeiten.

6. Vollständige Automatisierung, PLC+Touch Screen, One-Touch-Steuerungssystem.

7. Hohe Effizienz bei weniger Stromverbrauch, max.50 % Produktionskosteneinsparung.

 

 

Technische Spezifikationen:

 

  • Leistung

1. Endvakuumdruck: besser als 9,0 * 10-5Pa;

  • Basisvakuumdruck: 3,0 * 10-2Pa

3. Abpumpzeit: von atm bis 1,0 × 10-3Pa≤15 Minuten (Raumtemperatur, trockene, saubere und leere Kammer)

4. Abscheidungsquelle: Gencoa-Magnetron-Sputterkathoden, gesteuerte Lichtbogenkathoden, Ionenquelle

5. Betriebsmodell: Vollautomatisch / Halbautomatisch / Manuell

6. Heizung: von Raumtemperatur bis max.500℃,

9. Ionenquelle für PECVD- und PA-PVD-Prozess.

  • Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das unten aufgeführte Schlüsselsystem:

1. Vakuumkammer
1.1 Größe: Innendurchmesser: 1200 mm

Innenhöhe: 1500 mm

1.2 Material: Vakuumkammer SUS304

Tür und Flansche SUS304

Kammerverstärkungsstruktur: Weichstahl SS41, mit lackierter Oberflächenbehandlung.

Kammerchassis SS41 Weichstahl mit lackierter Oberflächenbehandlung.

1.3 Kammerschild: SUS304

1.4 Sichtfenster: 2 an der Tür

1.5 Vakuumkammer-Entlüftungsventil (einschließlich Schalldämpfer)

1.6 Tür: Material SUS304

2. Schrupp-Vakuumpumpsystem:
Öl-Drehschieber-Vakuumpumpe + Haltepumpe

  • Hochvakuumpumpsystem:

Molekularpumpe mit Magnetsuspension - 2 Sätze

4. Elektrische Steuerung und Betriebssystem- PLC+ TouchscreenBetriebssystem:

Lieferanten:

SPS: Mitsubishi + Touchscreen (hergestellt in China)

Elektronische Komponenten: SCHNEIDER, OMRON.

Sicherheitsschutzsystem:Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstung (Wasser, Stromgas, Temperatur usw.)

Beschichtungsverfahren System: Prozessautomatisierung und -steuerung.

4.1 Hauptstromkreis: Trennschalter ohne Sicherung, elektromagnetischer Schalter, C/T in Reihenschaltung

4.2 Stromversorgung: DC/MF-Sputterleistung + DC-Lichtbogenleistung + Vorspannungsversorgung

4.3 Ablagerungskontrollsystem

4.4 Betriebssystem: Touchscreen + SPS, Rezeptsteuerung und Datenprotokollierung, automatische Abschaltung, automatische Evakuierung, automatische Beschichtung

4.5 Messsystem

Vakuumdruck: Vakuummeter: Pirani + Penning-Manometer + Vollbereichs-Vakuummeter - europäische Marke

Temperaturmessgerät: Thermoelement
MFC: Massendurchflussregler (4 Wege),

4.6 Alarmsystem: Druckluft, Kühlwasserfluss, Fehlbedienung

4.7 Power Load Indicator: Spannungsanzeige und Laststromanzeige

 

5.Hinterlegungssystem

5.1 Abscheidungsquelle: Sputterkathoden + Lichtbogenquellen + Ionenquelle

5.2 Abscheidungsmaterial: Kupfer, Aluminium, Chrom, Silber, Gold, SS, Titan usw.

6.Teilsystem

6.1 Steuersystem für Druckluftventile

6.2 Kühlwassersystem: Wasserdurchflussleitung und Schaltventilsystem

 

  • Arbeitsumfeld

Druckluft: 5~8kg/cm2

Kühlwasser: Wassereintrittstemperatur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Wassereinlassdruck: 2~3 kg/cm2,

 

Leistung: 3 Phasen 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, durchschnittlicher Stromverbrauch: 60 kW

Installationsbereich: (L*B*H)4400*3200*2950mm

Auspuff: Entlüftung für mechanische Pumpen

 

 

Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology unterstützt Sie mit umfassenden Beschichtungslösungen.

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