DC- und MF-Magnetron-Sputterbeschichtungsmaschine, tiefschwarze PVD-Beschichtungslösungen
Magnetron-Sputter-Beschichtung
Plasmabeschichtung
Magnetronsputtern ist ein Plasmabeschichtungsverfahren, bei dem Sputtermaterial aufgrund des Bombardements von Ionen auf die Targetoberfläche ausgestoßen wird.Die Vakuumkammer der PVD-Beschichtungsmaschine ist mit einem Inertgas, beispielsweise Argon, gefüllt.Durch Anlegen einer Hochspannung wird eine Glimmentladung erzeugt, was zu einer Beschleunigung von Ionen auf die Targetoberfläche und einer Plasmabeschichtung führt.Die Argonionen stoßen Sputtermaterialien von der Targetoberfläche aus (Sputtern), was zu einer gesputterten Beschichtungsschicht auf den Produkten vor dem Target führt. Die Magnetron-Sputter-Technologie zeichnet sich aus durch:
| MODELL | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TECHNOLOGIE | MF-Magnetron-Sputtern + Ionenplattieren | ||||||
| MATERIAL | Edelstahl (S304) | ||||||
| KAMMERGRÖSSE | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| KAMMERTYP | Zylinder, stehend, 1-türig | ||||||
| SPUTTERSYSTEM | Ausschließliches Design für die Abscheidung von dünnen schwarzen Filmen | ||||||
| ABLAGERUNGSMATERIAL | Aluminium, Silber, Kupfer, Chrom, Edelstahl, Nickel |
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| EINZAHLUNGSQUELLE | 2 Sätze zylindrische MF-Sputtering-Targets + 8 gesteuerte kathodische Lichtbogenquellen + Ionenquelle für optional | ||||||
| GAS | MFC-4 Wege, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| KONTROLLE | SPS (speicherprogrammierbare Steuerung) + | ||||||
| PUMPSYSTEM | SV300B - 1 Satz (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 Satz (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 Satz (Leybold) | |||||||
| Turbomolekularpumpen: 2* F-400/3500 | |||||||
| VORBEHANDLUNG | Bias-Stromversorgung: 1*36 KW | ||||||
| SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen zum Schutz des Bedieners | ||||||
| KÜHLUNG | Kaltes Wasser | ||||||
| LEISTUNG ELEKTRISCH | 480 V/3 Phasen/60 Hz (USA-konform) | ||||||
| 460 V/3 Phasen/50 Hz (Asien-konform) | |||||||
| 380 V/3 Phasen/50 Hz (EU-CE-konform) | |||||||
| FUSSABDRUCK | L3000*B3000*H2000mm | ||||||
| GESAMTGEWICHT | 7,0 T | ||||||
| FUSSABDRUCK | (L*B*H) 5000*4000*4000 MM | ||||||
| ZYKLUSZEIT | 30~40 Minuten (je nach Untergrundmaterial, Substratgeometrie und Umgebungsbedingungen) |
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| LEISTUNG MAX.. | 155KW | ||||||
| DURSCHNITTLICHE LEISTUNG VERBRAUCH (CA.) |
75KW |
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