Röntgenszintillator (CsI) Hochvakuum-Abscheidungssystem, CsI Ultra-High Spatial Resolution of Imaging Coating
Das CsI-Hochvakuumabscheidungssystem ist ausschließlich für die CsI-Metallisierung auf Szintillationsschirmen in einer Umgebung mit extrem hohem Vakuum ausgelegt.
Die CsI-Szintillatoren 200 ~ 600 µm in Dickenbereichen mit hoher Gleichmäßigkeit der Dicke und Helligkeitsleistung.
Cäsiumiodid (CsI) Abscheidungscharakterisierungen:
Ultrahohe räumliche Auflösung der Bildgebung;
Schnelle Reaktion für schärfere Bilder;
Klasse führende Bildbereiche von Kante zu Kante;
optisch absorbierende Schichten oder Reflektorschichten;
Niedrige Röntgenstrahlendosis des Patienten;
Anwendung: für Sicherheitskontrolle und -inspektion, Unterricht in Hochenergiephysik, Kernstrahlungsdetektion und medizinische Bildgebung: Thoraxuntersuchung, Mamographie, zahnärztliche Interoral- und Panoramaaufnahmen.
Angewandte Substrate:TFT-Glas, Faseroptikplatte, Platte aus amorphem Kohlenstoff, Aluminiumplatte
Ausstattungsmerkmale:
Verlässlichkeit:
24/7 Tage Nonstop-Betrieb;
Inficon Film Thickness Controller zur Inline-Überwachung der Filmdicke.
Genauigkeit der Temperaturregelung: ±1 ℃, mehrstufige Einstellung, automatische Aufzeichnung und Steuerung der Temperaturdaten
Drehgestelle mit Servomotor für hohe Genauigkeit und Stabilität.
Sicherheit:
Hochvakuumpumpe: Molekularpumpe mit magnetischer Suspension, mit Stickstoffgasblasvorrichtung, um zu vermeiden, dass gefährliche Materialien in die Luft gelangen;
Alle Elektroden sind mit Sicherheitsschutzhüllen ausgestattet.
Wiederholbarkeit & Reproduzierbarkeit:
Durch hochpräzises Parameterkontrollsystem,
Automatisierte Prozesssteuerungssoftware und -programm,
Benutzerfreundliche Bedienung.
Effizienz:
Das CsI-950A+-Modell ist mit einer 2-Rotations-Rack-Struktur ausgestattet, die auf dem CsI-950-Modell der ersten Generation basiert.
Doppelte Kapazität für max.Größe Substrat: 500 x400 mm.
Technische Spezifikationen
Beschreibung | CsI-950 |
CsI-950A+
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Abscheidekammer (mm)
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φ950 x H1350 |
φ950 x H1350
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Drehgestelle beladen | 1 | 2 |
Verdunstungsquellen | 2 |
2
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Heizmethode |
Jod-Wolframlampe max.800℃ |
Jod-Wolframlampe max.800℃ |
Endvakuumdruck (Pa) | 8,0 × 10 –5 Pa | 8,0 × 10 –5 Pa |
Molekularpumpe mit magnetischer Suspension | 1x3400L/S |
1x3400L/S
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Wurzelpumpe | 1 x 490 m³/h |
1 x 490 m³/h
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Drehschieberpumpe | 1x 300m³/h |
1x 300m³/h
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Ablagerungskontrolleur | Quarzsteuerung x 1 |
Quarzsteuerung x 1
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Leistungsaufnahme (KW) |
max.ca.62 Durchschnitt ca.32 |
max.ca.65 Durchschnitt ca.35 |
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology fühlt sich geehrt, Ihnen komplette Beschichtungslösungen anbieten zu können.
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Cäsiumjodid (Csl) Vakuummetallisierungsausrüstung.p ...