Anodenschicht-Plasmaquellen
| Höhepunkte | Anwendungen: |
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R2R Bahnbeschichter, Inline-Abscheidungssysteme, Chargenbeschichter Für optische Folien, Hartbeschichtungen, funktionale und dekorative Dünnschichten, Textil-Plasmabehandlung. |
| Produkt | ActiveGas-ALS (rechteckig) | ActiveGas-ALS (rund) |
| max.Entladespannung | 1500 V | 1500 V |
| max.Entladestrom | > 15 mA/cm | > 15 mA/cm |
| Ionenenergie | 50~800eV | 50~800eV |
| Betriebsdruck | 5×10-2~1 Pa | 5×10-2~1 Pa |
| Kühlendes Wasser | 5 l/Min | 2 l/Min |
| Abmessungen (mm) | 145W@L<390 / 160W@L>400 | ø114×130(H) |
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