Uhrgehäuse MF Spritzensystem/Absetzungs-Vakuummischanlage des Graphitpvd
Uhrgehäuse MF Spritzensystem ist eine integrierte mehrfache Absetzungsquellmaschine zu den allgemeinen Graphit-, samtschwarzen, Blauender farbe etc. Dekorationen auf Metallteilen, Edelstahlgegenstände. Besonders verwendet für Spitzenklassen-Luxusprodukte mögen Sie: Elektronik: intelligentes Telefon, Kamera, Laptop, Golf, Löffel, Gabeln, Messer, Türgriff, Hähne; Schmucke von Fingerringen, von Halskette, von Ohrringen, von Armbändern etc.
Uhrgehäuse MF Spritzensystem hat mehrfache Absetzungsquellen:
Gelenkte Kreisbogenquellen für Verdampfung des festen Metallziels;
2 Paare der MF unblanced Spritzenkathoden für Graphitdünnfilm-Schichtabsetzung;
Schräge Stromversorgung, damit Ion-bomboardment den Plasmabereich für Vorbehandlung bildet;
Anoden-lineare Ionenquelleinheit (für optionales) PACVD und PECVD Verarbeitung;
Cryopump (Polycold) für molekulare Kondensation des Wassers (für optionales)
Was spritzt MF?
Verglichen mit DC und Rf, die spritzt, ist die spritzende Mittelfrequenz eine hauptsächlichdünnfilmspritzentechnik für Massenproduktion der Beschichtung, besonders für die Filmabsetzung von dielektrischen und nicht leitfähigen Filmbeschichtungen auf Oberflächen wie optischen Beschichtungen, Sonnenkollektoren, mehrfachen Schichten, Verbundwerkstofffilm etc. geworden.
Sie ersetzt Rfspritzen passend zu ihr funktionierte mit kHz eher als MHZ für eine viel schnellere Absetzungsrate und kann die Zielvergiftung während der zusammengesetzten Dünnfilmabsetzung wie DC auch vermeiden.
Mf-Spritzenziele existierten immer mit Zweisätzen. Zwei Kathoden werden mit einem Wechselstrom-Strom benutzt, der hin und her zwischen sie geschaltet wird, welches die Zieloberfläche mit jeder Umkehrung säubert, um den Gebührenaufbau auf Dielektrika zu verringern, die das- zu den Funkenüberschlag führt, der Tröpfchen in das Plasma spucken und einheitliches Dünnfilmwachstum verhindern kann--- welches ist, was wir Target Poisoning nannten.
MF Spritzensystemleistung
1. entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als Torr 5.0×10-6.
2. funktionierender Vakuumdruck: Torr 1.0×10-4.
3. Pumpingdown-Zeit: von 1 ATM zu 1.0×10-4 Torr≤ 3 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)
4. Metallisierung des Materials (spritzend + Bogenverdampfung): Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr, Zinn, Tic, TiAlN, CrN, zyklische Blockprüfung, etc.
5. funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell
MF Spritzensystem-Struktur
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:
1. Unterdruckkammer
2. Rouhging-Vakuumpumpe-System (Schutzträger-Pumpen-Paket)
3. Hochvakuum-Pumpsystem (magnetisch Suspendierungs-molekulare Pumpe)
4. elektrisches Steuer-und Operations-System
5. Auxiliarry-Anlagen-System (Subsystem)
6. Absetzungs-System: Mf-Spritzenkathode, MF-Stromversorgung, schräge Stromversorgungs-Ionenquelle für optionales
Die Metallgraphitdekoration MF SpritzenSystemgrößen:
Kammer-innere Größe: Durchmesser 1200 Millimeter | 1600mm
Kammer-innere Höhe: 1250mm | 1300mm
Die kundengebundenen Maschinengrößen sind auch basiert auf Spiegelnachfrage von Produkten 3D verfügbares.
MF Spezifikationen des Spritzensystem-RTAC1250-SPMF
| MODELL | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TECHNOLOGIE | Spritzendes MF-Magnetron + Ionenüberzug | ||||||
| MATERIAL | Edelstahl (S304) | ||||||
| KAMMER-GRÖSSE | Φ1250*H1250mm | ||||||
| KAMMER-ART | Zylinder, Vertikale, 1 Tür | ||||||
| SPRITZENsystem | Ausschließlich Entwurf für dünne schwarze Filmabsetzung | ||||||
| ABSETZUNGS-MATERIAL | Aluminium, Silber, Kupfer, Chrome, Edelstahl, Nickel |
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| ABSETZUNGS-QUELLE | 2 Sätze MF zylinderförmiges, das Spritzen + 8 anvisiert, steuerten kathodische Bogen-Quellen + Ionenquelle für optionales | ||||||
| GAS | Weisen Kraftstoffreglers 4, AR, N2, O2, C2H2 | ||||||
| STEUERUNG | PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) + | ||||||
| PUMPEN-SYSTEM | SV300B - 1 Satz (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 stellt ein (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 Satz (Leybold) | |||||||
| Molekulare Pumpen Turbos: 2* F-400/3500 | |||||||
| VORBEHANDLUNG | Schräge Stromversorgung: Kilowatt 1*36 | ||||||
| SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern zu schützen | ||||||
| ABKÜHLEN | Kaltes Wasser | ||||||
| ENERGIE ELEKTRISCH | 480V/3 phases/60HZ (USA konform) | ||||||
| 460V/3 phases/50HZ (Asien konform) | |||||||
| 380V/3 phases/50HZ (EU-CE konform) | |||||||
| ABDRUCK | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| GESAMTgewicht | 7,0 T | ||||||
| ABDRUCK | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MILLIMETER | ||||||
| ZYKLUS-ZEIT | 30~40 Minuten (abhängig von Substratmaterial, Substratgeometrie und -Umweltbedingungen) |
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| ENERGIE-MAXIMUM. | 155 KILOWATT | ||||||
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DURCHSCHNITTLICHE ENERGIE |
75 KILOWATT |
Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen Gesamtbeschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.
