DLC-Folie (Diamond-Like-Carbon) kommt einer Vielzahl von Branchen für hochwertige Produkte zugute, wie: Maschinenteile, Automobillager, medizinische Instrumente, Militär, Luft- und Raumfahrt, industrielle Dichtungsteile, Uhren usw., die eine hohe Haltbarkeit erfordern und Mindest.Reibungskoeffizient.
PECVD + PVD-Prozess Die DLC-Beschichtungstechnik wird von uns seit Jahren entwickelt, um den höchsten Standardanwendungen gerecht zu werden.Dieser Prozess bietet eine einzigartige und makellose Veredelung der Produktoberfläche mit Ausnahme von außergewöhnlicher Schönheit.
Technische Daten der DLC-Dünnschichtbeschichtungsmaschine
MODELL | RTSP1010 | |||||||
TECHNOLOGIE | PECVD-Prozess – Magnetron-Sputtern + Ionenquelle | |||||||
KAMMERMATERIAL | Edelstahl (S304) | |||||||
KAMMERGRÖSSE | Φ1000*1000mm (H) | |||||||
KAMMERTYP | Regelmäßige Oktaederkammer, 2-türig | |||||||
ROTATION RACK & JIG SYSTEM | 6 (8) Satellit, max.Gewicht: 400 kg | |||||||
NETZTEILE | MengeSputtering: 2*24 KW Bias der Stromversorgung: 1*24W AE-Stromversorgung für Option Ionenquellen-Stromversorgung 2 Sätze, AE-Stromversorgung für Option | |||||||
ABLAGERUNGSMATERIAL | Cr/C | |||||||
EINZAHLUNGSQUELLE |
2 Paare (4 Stück) Sputterkathoden + 2 Ionenquellenbeschichtungsbereich: Durchmesser 800 mm x H 550 mm; Einheitlichkeitsbereich: ±10~15% |
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KONTROLLE | SPS (speicherprogrammierbare Steuerung) + Touchscreen (manuelle + automatische + halbautomatische Betriebsmodelle) | |||||||
PUMPSYSTEM | Drehschieberpumpe: SV300B - 1 Satz (Leybold) | |||||||
Wälzkolbenpumpe: WAU1001 - 1 Set (Leybold) | ||||||||
Haltepumpe: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
Molekularpumpe mit magnetischer Rotoraufhängung: MAG2200 - 2 Sätze (Leybold) | ||||||||
GASMASSENFLUSSREGLER | 3 Kanäle, Made in America (Marke MKS) | |||||||
VAKUUMMESSGERÄT | Modell: ZDF-X-LE, Hergestellt in China | |||||||
Lineare Ionenquelle | 2 Stück Vorbehandlung, Plasmareinigung + unterstützte Abscheidung | |||||||
SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstung | |||||||
HEIZUNG | Heizungen: 20KW.max.Temp.: 400℃ | |||||||
KÜHLUNG | Industriekühler (Kaltwasser) | |||||||
LEISTUNG MAX. | 100 KW (ca.) | |||||||
DURCHSCHNITTLICHER STROMVERBRAUCH | 45 KW (ca.) | |||||||
BRUTTOGEWICHT | T (ca.) | |||||||
FUSSABDRUCK | (L*B*H) 4000*4000*4000 MM | |||||||
LEISTUNG ELEKTRISCH | Wechselstrom 380 V/3 Phasen/50 Hz |
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology fühlt sich geehrt, Ihnen komplette Beschichtungslösungen anbieten zu können.