Merkmale der keramischen PVD-Beschichtungsanlage:
1. Vakuumkammer ist vertikal eine offene Tür, Edelstahl 304 fertigt, Innendurchmesser der Vakuumkammer von φ1400mm-Φ2000mm;
2. Vakuumsystem durch Drehschieberpumpe, Wälzkolbenpumpe und Öldiffusionspumpen oder Molekularpumpenaufbau;
3. Das Beschichtungssystem verwendet 1-2 Zwischenfrequenz-Magnetismus zur Steuerung der Sputter-Stromquelle, hat 1-2 Paar unausgeglichener Magnetismus zur Steuerung des Targets und 14-40 Lichtbogenquellen.
4. Impulsvorspannungsstromquelle mit hohem Wirkungsgrad;
5. Das Vergasungssystem verwendet im Inland hergestellte oder importierte gasförmige Massendurchflussmesser, den Gasdurchflussmengenregler (Demonstrationsmesser);
6. Der elektrisch gesteuerte Stromkreis des Systemaufbaus ist überlastet, die Wasserversorgung wird unterbrochen, die akusto-optische Alarmvorrichtung stirbt ab;
7. Kontrollsystem (Touchscreen + PLC), detaillierte Parameter der Echtzeitanzeige, vollständig automatische Steuerung des gesamten Produktionsprozesses und technologische Parameter des automatischen Speichers.
PVD-Beschichtungsanlage – RTAC1618 Spezifikationen
| MODELL | RTAC1618 | ||
| MATERIAL | Edelstahl (S304) | ||
| KAMMERGRÖSSE | Φ1600*1800mm (H) | ||
| PUMPSYSTEM | Rotationskolben-Vakuumpumpe (mechanisch) | ||
| Drehschieber-Vakuumpumpe (Halten) | |||
| Roots-Vakuumpumpe | |||
| Diffusionspumpe | |||
| TECHNOLOGIE | Ionenplattierung (Multi-Arc-Quellen) | ||
| TYPISCHE ZIELE | Chrom, Titan, Zirkonium, TiAl | ||
| GAS | Gasmassendurchflussmesser (Ar, N2,) Argon, Stickstoff | ||
| KONTROLLE | SPS (speicherprogrammierbare Steuerung) | ||
| SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstung | ||
| KÜHLUNG | Kühlwasser recyceln | ||
| HEIZUNG | Heizung, bis zu 300℃ | ||
| LEISTUNG MAX. | 150 KW (ca.) | ||
| DURCHSCHNITTLICHER STROMVERBRAUCH | 70 KW (ca.) | ||
Keramische PVD-Beschichtungsanlageverwendet die Ionenplattierungstechnologie, um feste Metalle wie Titan, Chrom durch eine kathodische Lichtbogenquelle zu verdampfen und die ionisierten Metalle auf der Produktoberfläche zu kondensieren, um den Nano-Dünnfilm in einer Hochvakuumumgebung zu erzeugen.Mit dem reaktiven Gas wie: Stickstoff, um verschiedene Farben zu erzeugen.
Andere kundenspezifische Maschinengrößen sind basierend auf den angegebenen Produktabmessungen und dem Kapazitätsbedarf erhältlich.
Modell | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Kammer Innengröße | 1000 x 800 mm | 1000 x 1200 mm | 1200 x 1500 mm | 1400 x 1600 mm | 1600 x 1600 mm | ||||||
| Stromversorgungstyp | Arc-Stromversorgung, Filament-Stromversorgung, Puls-Bias-Stromversorgung | ||||||||||
| Aufbau der Vakuumkammer | Vertikale Vordertürstruktur, hinteres Luftauslasssystem und zweischichtige Wasserkühlkammer | ||||||||||
| Material der Vakuumkammer | Edelstahl 304/316L | ||||||||||
| Ultimatives Vakuum | 6.0x10-4Pa (Entladen, Reinigen, Trockenkammer) | ||||||||||
| Vakuumpumpgeschwindigkeit | von Atmosphäre auf 8,0*10-3Pa ≤15 Minuten | ||||||||||
| Vakuumpumpsystem | Diffusionspumpe oder Molekularpumpe + Wälzkolbenpumpe + Mechanische Pumpe + Haltepumpe (das spezifische Modell kann nach Kundenwunsch ausgewählt werden) | ||||||||||
| Bogenquelle | 6 Einheiten bzw 8 Einheiten | 8 Einheiten bzw 10 Einheiten | 10 Einheiten bzw 12 Einheiten | 14 Einheiten bzw 16 Einheiten | 16 Einheiten bzw 18 Einheiten | ||||||
| Spannungsversorgung vorspannen | 20KW/Satz | 20KW/Satz | 30KW/Satz | 40KW/Satz | 50KW/Satz | ||||||
| Fahrmodell | Planetenumdrehung und -rotation, Drehzahlregelung mit variabler Frequenz (steuerbar und einstellbar) | ||||||||||
| Heizsystem | Regelbar und regelbar von Raumtemperatur bis 450°C (PID-Temperaturregelung) | ||||||||||
| MFC | 3- oder 4-Wege Prozessgas-Durchflussregel- und Anzeigesystem, selektives automatisches Begasungssystem | ||||||||||
| Kühlsystem | Wasserumlaufkühlbetrieb, Kühlwasserturm oder Brauchwasserkühler oder Tiefenkühlsystem.(Bereitgestellt von Kunden) | ||||||||||
| Kontrollmodus | Manueller/automatischer Integrationsmodus, Touchscreen-Bedienung, SPS- oder Computersteuerung | ||||||||||
| Totale Kraft | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarm und Schutz | Alarmieren Sie Wassermangel, Überstrom und Überspannung, offenen Stromkreis und andere anormale Zustände von Pumpen, Zielen usw. und führen Sie entsprechende Schutzmaßnahmen und elektrische Verriegelungsfunktionen durch | ||||||||||
| Ausrüstungsbereich | B2.5m*L3.5m | B3m*L4m | B4m*L5m | B4.5m*L6m | B5m*L7m | ||||||
| Andere technische Parameter | Wasserdruck ≥0,2 MPa, Wassertemperatur ≤25 °C, Luftdruck 0,5–0,8 MPa | ||||||||||
| Bemerkungen | Die spezifische Konfiguration der Beschichtungsausrüstung kann gemäß den Prozessanforderungen der Beschichtungsprodukte entworfen werden | ||||||||||
Keramikfeilen PVD-Beschichtungsmuster
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology fühlt sich geehrt, Ihnen komplette Beschichtungslösungen anbieten zu können.
