Magnetronspritzenabsetzungssystem des geschlossenen Feldes brachte unausgeglichenes, das Magnetron aus dem Gleichgewicht, das Ion Plating spritzt
Unausgeglichene und geschlossene Feldmagnetronprozesse haben alle Vorteile von planaren Magnetrons. Zusätzliche Vorteile und Nachteile sind:
Unausgeglichenes und geschlossenes Feldmagnetron, welches die revolutionierten Eigenschaften erreichbar durch Magnetronspritzenprozesse spritzt. Wie erfolgreich mit dem verbesserten tribologischen Dünnfilm, Korrosionsbeständigkeit und optischen Eigenschaften als diese Technologie, waren Verbesserungen in der Magnetrontechnologie hatten angefangen gerade. Folgendes Blog, das wir auf Anwendungen des drehenden und zylinderförmigen Dünnfilms der Magnetronprozesse und -c$resultierens uns bewegen.
--- Über Artikel von P E T E R M EIN R T I N
Königliche Technologie entwickelte hohen Ertrag und hohe Zielnutzungsspritzenkathoden, besonders für die seltenen und teuren spritzenden Metalle: Au-Gold, Ta-Tantal, Filmabsetzung AG silberne Metall. Das hohen des Einheitlichkeitsabsetzungssystem Filmes haben einige Industrien wie Elektronikteile, Komponenten der medizinischen Instrumente, die hoch Filmeinheitlichkeit erfordern, mehrfache Schichtabsetzung gedient.
Die Maschine RTSP1000 ist eine standardisierte Maschine, die durch königliche Technologie entwickelt wird. Umfangreich traf mit Ausschnitt/Formungswerkzeugen, Formen, medizinische Instrumente, Elektronikkomponenten, Automobilindustrien zu.
Hauptkonfigurationen RTSP1000 und technische Parameter | ||||||||
MODELL | RTSP1000 | |||||||
TECHNOLOGIE | Spritzendes MF-Magnetron + Ionenquellplasmareinigung | |||||||
KAMMER-MATERIAL | Edelstahl (S304) | |||||||
KAMMER-GRÖSSE | Φ1000*800mm (H) | |||||||
KAMMER-ART | D-Form | |||||||
ROTATIONS-GESTELL U. SPANNVORRICHTUNGS-SYSTEM | max. Gewicht von 6 Satelliten: 500kgs | |||||||
STROMVERSORGUNG |
Menge. vom Spritzen: Neigung Kilowatt-2*24 der Stromversorgung: Versorgung 1*5KW 1*20W Ion Source Power |
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ABSETZUNGS-MATERIAL | Ti/Cr/TiAl /Ta/Cu/Au/Carbon etc. | |||||||
ABSETZUNGS-QUELLE | 2 Paare (4 Stücke) planare Spritzenkathoden + 1 linearer Ion Source Einheitlichkeits-Bereich: ±10~15% |
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STEUERUNG | PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) + Touch Screen (halb-Selbstoperationsmodelle manual+ auto+) | |||||||
PUMPEN-SYSTEM | Dreh-Vane Pump: SV300B - 1 Satz (Leybold) | |||||||
Wurzeln pumpen: WAU1001- 1 Satz (Leybold) | ||||||||
Halten der Pumpe: D60C- 1 Satz (Leybold) | ||||||||
Magnetische Suspendierungs-molekulare Pumpe - 1 Satz (Leybold) | ||||||||
GAS-MASSENSTROM-PRÜFER | 4 Kanäle, hergestellt in China, digitales Modell sieben Sternes (CS-Reihe,) | |||||||
VAKUUMmessgerät | Modell: ZDF-X-LE, hergestellt in China: ZDF-X-LE | |||||||
LINEARE IONENquelle | 1-teilige Vorbehandlung, säuberndes Plasma + unterstützte Absetzung | |||||||
SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern und von Ausrüstung zu schützen | |||||||
HEIZUNG | Heizungen: 30KW. Max. Temp.: 450℃ | |||||||
ABKÜHLEN | Industrieller Kühler (kaltes Wasser) | |||||||
ENERGIE-MAXIMUM. | 100KW (ca.) | |||||||
DURCHSCHNITTLICHE LEISTUNGSAUFNAHME | 45 Kilowatt (ca.) | |||||||
BRUTTOMASSE | T (ca.) | |||||||
FUSS-DRUCK | (L*W*H) 4000*4000 *3200 MILLIMETER | |||||||
ENERGIE ELEKTRISCH | Wechselstrom 380V/3 phases/50HZ/5 Linien |
Planare Spritzenabsetzung der hohen Zielnutzung: KLICKEN Sie bitte HIER, um das Video aufzupassen
Linearer Ion Source Plasma Cleaning und unterstützte Absetzung: KLICKEN Sie bitte HIER, um Video aufzupassen
Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen beschichtende Gesamtlösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.