December 11, 2017
Allgemeine Informationen über PVD-Prozess
PVD-Prozesse sind atomistischer Absetzungsprozeß, in dem die Materialien, die von einer Quelle verdunstet werden, in Form von einem Dampf durch ein Vakuum oder gasförmiger oder Plasmaunterdruckumwelt zum Substrat transportiert wird, in dem es kondensiert. PVD-Prozesse können verwendet werden, um Filme von Elementen und von Molekülen und auch des Mittels niederzulegen
Materialien durch die Reaktion des niederlegenden Materials mit der umgebenden Gasumwelt. (z.B., Zinn) oder mit einem mit-
niederlegendes Material (z.B. Tic). Gewöhnlich werden PVD-Prozesse verwendet, um Filme mit Stärke im Bereich von einigen Nanometern zu den Tausenden Nanometern niederzulegen; jedoch können sie benutzt werden, um Ordnenzusammensetzungsablagerungen von Mehrschichtsystemen, sehr starke Ablagerungen und freistehende Strukturen zu bilden.
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