Was ist Ionenüberzug?

  ------------------- Der Artikel ist durch Donald M. Mattox 

                  Das Ion, das (IP) überzieht, ist ein körperlicher Bedampfen (PVD)-Prozess, der manchmal Ion unterstützte Absetzung (IAD) oder Ionenbedampfen (IVD) genannt wird und eine Version des Bedampfens ist-. Ionenüberzug verwendet gleichzeitige oder periodische Bombardierung des Substrates und legt Film durch Atom-groß Energiepartikel nieder. Bombardierung vor Absetzung wird verwendet, um sauber die Substratoberfläche zu spritzen. Während der Absetzung wird die Bombardierung verwendet, um die Eigenschaften des niederlegenden Filmes zu ändern und zu steuern. Es ist wichtig, dass die Bombardierung zwischen der Reinigung und den Absetzungsteilen des Prozesses kontinuierlich ist, eine atomar saubere Schnittstelle beizubehalten.

              Im Ion, welches die Energie überzieht, sind Fluss und Masse der Bombardierungsspezies zusammen mit dem Verhältnis von Bombardierungspartikeln zu niederlegenden Partikeln wichtige Verarbeitungsvariablen. Das niederlegende Material wird entweder durch Verdampfung, das Spritzen (schräges Spritzen), Bogenverdampfung oder durch Aufspaltung eines chemischen Bedampfens (CVD) des chemischen Dampfvorläufers verdunstet möglicherweise. Die Energiepartikel, die für Bombardierung benutzt werden, sind normalerweise Ionen eines trägen oder reagierenden Gases oder in einigen Fällen der Ionen des kondensierenden Filmmaterials („Filmionen "). Ionenüberzug kann in einer Plasmaumwelt erfolgt sein, in der Ionen für Bombardierung vom Plasma extrahiert werden, oder es möglicherweise in einer Vakuumumwelt getan wird, in der Ionen für Bombardierung in einem unterschiedlichen Ionengewehr gebildet werden. Die letzte Ionenüberzugkonfiguration wird häufig Ionenstrahln-unterstützte Absetzung (IBAD) genannt. Indem man ein reagierendes Gas oder einen Dampf im Plasma verwendet, können Filme von Verbundmaterialien niedergelegt werden.

               Ionenüberzug wird verwendet, um harte Beschichtungen von Verbundmaterialien auf Werkzeugen, anhaftende Metallbeschichtungen, optische Beschichtungen mit hoch- Dichten und konforme Beschichtungen auf komplexen Oberflächen niederzulegen.

                Königliche Technologie Shanghais entwickelte einige die Reihe standardisierte PVD-Vakuumbeschichtung, die die Ionenüberzugtechnik automatisiert ist, weitgehend angewendet mit verschiedenen dekorativen Beschichtungen und Funktionsfilmen wie: harte Beschichtungen, tragende Eigenschaften der Korrosion und des Kratzers, hohe Leitung und reflektierende Beschichtungen. 

Diese Maschinen rüsteten das Ionenbombardierungsgerät für Plasmareinigungsvorbehandlung aus, führen im iner Gas wie AR, H2 zu acritive die Substratoberfläche ein, genehmigen Adhäsion zwischen Substrat und depostion Filmen. 

Die Klebeschicht wird für spezielles Substrat manchmal angefordert. Die königliche Technologie, die zielt, stellt die schlüsselfertigen Beschichtungstotallösungen für jeden Endbenutzer zur Verfügung. 

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