Autospiegel-Vakuummetallisierungsmaschine / Aluminium, Chrom-Automobilspiegel-Vakuummetallisierungssystem
Autospiegel-Vakuummetallisierungsmaschine Einführung
Die Maschine verfügt über 2 Techniken: thermische Verdampfungsquelle und Magnetron-Sputterkathodenquelle.Das ist flexibel für verschiedene Spiegelanwendungen.
Magnetronsputtern ist ein Plasmabeschichtungsverfahren, bei dem Sputtermaterial aufgrund des Bombardements von Ionen auf die Targetoberfläche ausgestoßen wird.Die Vakuumkammer der PVD-Beschichtungsmaschine ist mit einem Inertgas, beispielsweise Argon, gefüllt.Durch Anlegen einer Hochspannung wird eine Glimmentladung erzeugt, was zu einer Beschleunigung von Ionen auf die Targetoberfläche und einer Plasmabeschichtung führt.Die Argonionen stoßen Sputtermaterialien von der Targetoberfläche aus (Sputtern), was zu einer gesputterten Beschichtungsschicht auf den Produkten vor dem Target führt
Die thermische Verdampfungsquelle besteht aus Wolframfilament zum Verdampfen von Cr oder Al und erhält eine Chrom / Aluminiumschicht auf Glas, um hochreflektierende Spiegel zu bilden.
Im Allgemeinen Magnetron-Sputtern zum Sputtern von Chrom- und Edelstahlmaterialien;Al und Cu werden mit thermischen Verdampfungsquellen abgeschieden.
Merkmale der Autospiegel-Vakuummetallisierungsmaschine
1. Die Vakuumkammer ist eine vertikale Einzeltürstruktur aus Edelstahl.KammergrößeΦ1400~2500mm
2. Das Vakuumsystem besteht aus einer mechanischen Pumpe, einer Wurzelpumpe und einer Diffusionspumpe.
3. Beschichtungssystem für 10~28 Bogen oder 1~4 Bogensäule oder ebenen Bogen.
4. Hochleistungs-Puls-Bias-Stromquelle.
5. Das Aufblassystem hat 1~4 Sätze Massendurchflusskontrollinstrument und eine Gasdurchflussanzeige.
6. Das elektrische Steuersystem ist mit Ton- und Lichtalarmgeräten für Stromkreisüberlastung, Wasserabschaltung und Luftabschaltung ausgestattet.
7. Das Steuerungssystem (Touchscreen + SPS) zeigt detaillierte Parameter in Echtzeit an und steuert den gesamten Produktionsprozess vollautomatisch im automatischen Betriebsmodus.
Modelle von Autospiegel-Vakuummetallisierungsmaschinen
Systemmodell | RTEP1200-SPDC | RTEP1400-SPDC | RTEP1600-SPDC | |
Kammergröße | Durchmesser | 1200 mm | 1400mm | 1600mm |
Höhe | 1400mm | 1600mm | 1800mm | |
Hauptsächlich Leistung |
Ultimativer Druck | 10-4Pa | ||
Betriebsdruck | Von 1 ATM auf 5x10-5 Pa innerhalb von 15 Minuten (ohne Last) | |||
Fenster anzeigen | Satz | 1 | ||
Anzahl von Filamente |
Stck | 18~22 | 20~24 | 20~26 |
Pumpen System |
Vorhergehende Klasse Pumpe |
70 L/S | 150 l/s | 150 l/s |
Wurzelpumpe | 600 l/s | 1200L/S | 1200L/S | |
Diffusionspumpe | 17500L/S | 30000L/S | 60000L/S | |
Haltepumpe | 30 L/S | |||
Schichtüberwachungssystem | Kristall-Monitor | Einzelsensor / Sechsteiliger Sensorkopf | ||
Vakuummessgerät | 1 ATM ~ 10-4 Pa | |||
Kontrollkasten | Satz | 1 | ||
Verdunstung Energieversorgung |
30KW | 35KW | 50KW | |
Sputter-Target | Stck | 2~4 | ||
Verdunstung Energieversorgung |
HF oder Gleichstrom | |||
Systembetrieb | Automatisch/ Manuell | |||
Kühlendes Wasser Fließrate |
100 l/Min | 120 l/min | 150 l/min | |
Hochvakuum Ventil |
24 Zoll | 36 Zoll | 36 Zoll | |
Schruppventil | 6 Zoll | 6 Zoll | 8 Zoll | |
Vorvakuumventil | 6 Zoll | |||
Leckventil | 2 Zoll | |||
Halteventil (Möglichkeit) |
1 Zoll | |||
Kühlturm | 15 RT (Wasserdruck: 4kg/cm2; Druckabfall: 2kg/cm2) | |||
Kühlendes Wasser | Einlass: 18℃;Ausgang: 25℃;Standard: 20±1℃ | |||
Elektrisches Steuersystem | SPS | |||
Totale Kraft Erfordernis |
75KW | 85KW | 95KW | |
Umfeld Erfordernis |
Klasse 100.000 Reinraum;Epoxid-Bodenbeläge;Klimaanlage;Temp.25±3℃;HUM50±10 |
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