| Kammer | Vertikale Orientierung, 1 Tür |
|---|---|
| Material | Edelstahl 316 |
| Vakuumtechnik | Harte Beschichtung PVD, CrN-Beschichtung, pvd Überzug, kathodische Bogenverdampfung |
| Ablagerungsquellen | Bogenquellen |
| Beschichtende Filme | Cr-, CrN-, Blockprüfungsetc. Metallschichtüberzug, Titannitrid, Titankarbid, Zirkonium-Nitrid, Chrom |
