October 11, 2022
F&E-Multifunktions-Beschichtungsanlagen
Maschinen-Modell:Multi950-F&E
Technologie:PVD+PECVD
Bauzeit:2015
Ort:Shanghai, China
Installation & Prüfung:5 Tage
Inbetriebnahme & Schulung:3 Tage
Design-Merkmale
1. Flexibilität: Lichtbogen- und Sputterkathoden, Befestigungsflansche für Ionenquellen sind für einen flexiblen Austausch standardisiert;
2. Vielseitigkeit: kann eine Vielzahl unedler Metalle und Legierungen abscheiden;optische Beschichtungen, harte Beschichtungen, weiche Beschichtungen, Verbundfilme und feste Schmierfilme auf metallischen und nichtmetallischen Materialsubstraten.
3. Geradliniges Design: 2-türige Struktur, vordere und hintere Öffnung für einfache Wartung.
Die Multi950-Maschine ist ein kundenspezifisches Vakuumbeschichtungssystem mit mehreren Funktionen für Forschung und Entwicklung.Nach halbjähriger Diskussion mit dem Team der Universität Shanghai unter der Leitung von Professor Chen bestätigten wir schließlich das Design und die Konfigurationen, um ihre F&E-Anwendungen zu erfüllen.Dieses System ist in der Lage, transparente DLC-Filme mit PECVD-Prozess, Hartbeschichtungen auf Werkzeugen und optische Filme mit Sputterkathode abzuscheiden.Basierend auf diesem Pilotmaschinenkonzept haben wir danach 3 weitere Beschichtungssysteme entwickelt:
1. Bipolarplattenbeschichtung für Brennstoffzellen-Elektrofahrzeuge-RT1200-FCEV
2. Keramisches, direkt beschichtetes Kupfer – RT1200-DPC
3. Flexibles Sputtersystem – RTSP1200-PCB
Diese 4 Maschinenmodelle sind alle mit Octal-Kammer ausgestattet, flexible und zuverlässige Leistungen werden ausgiebig in verschiedenen Anwendungen eingesetzt.Es erfüllt die Beschichtungsprozesse, die mehrere verschiedene Metallschichten erfordern: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS und viele andere nicht-feeromagnetische Metalle;zusammen mit der Ionenquelleneinheit, verbessert die Filmhaftung auf verschiedenen Substratmaterialien mit ihrer Plasmaätzleistung und dem PECVD-Prozess zur Abscheidung einiger kohlenstoffbasierter Schichten.
RT1200-Leiterplatte
RT1200-DPC (Direktbeschichtung Kupfer auf Keramik/ Al2O3, AlN)
RT1200-FCEV
Das Multi950 ist der Meilenstein fortschrittlicher Design-Beschichtungssysteme für Royal Tech.Hier danken wir den Studenten der Shanghai University und insbesondere Process Yigang Chen, dessen kreatives und selbstloses Engagement unbegrenzte Werte sind und unser Team inspiriert haben.
Im Jahr 2018 hatten wir eine weitere Projektkooperation mit Pressor Chen, der C-60-Materialabscheidung durch induktive thermische Verdampfungsmethode.Wir schätzen die Leitung und Anleitung von Herrn Yimou Yang und Professor Chen bei jedem innovativen Projekt.
Kontaktieren Sie uns bitte für weitere Informationen.
