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Entdecken Sie die nächste Generation der Beschichtungsleistung mit der PVD-Ionenplattierungsmaschine: Die Multi950 Hybridlösung

Entdecken Sie die nächste Generation der Beschichtungsleistung mit der PVD-Ionenplattierungsmaschine: Die Multi950 Hybridlösung

2025-12-28

In der sich entwickelnden Landschaft der fortschrittlichen Fertigung und Materialwissenschaft war die Nachfrage nach leistungsstarken, langlebigen und multifunktionalen Dünnfilmen noch nie so groß. Forscher und Entwickler stehen ständig vor der Herausforderung, Geräte zu finden, die nicht nur Präzision und Qualität, sondern auch beispiellose Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit für modernste Anwendungen bieten. Geben Sie die einPVD-Ionenbeschichtungsmaschine– eine Eckpfeilertechnologie zur Erzielung hervorragender Filmhaftung, Dichte und Reinheit. Im Vordergrund dieser Innovation steht dieROYAL Multi950, ein hybrides PVD- und PECVD-Vakuumbeschichtungssystem, das die herkömmlichen Beschichtungsbeschränkungen überwindet. Diese Maschine ist nicht nur ein Werkzeug; Es handelt sich um eine umfassende Forschungs- und Entwicklungsplattform, die aus akademischer Zusammenarbeit hervorgegangen ist und für die Zukunft der Oberflächentechnik konzipiert ist.

Der Kern der Leistungsfähigkeit des Multi950 liegt in seiner fortschrittlichen TechnologiePVD-IonenbeschichtungTechnologie.

Im Gegensatz zu Standard-PVD-Methoden nutzt die Ionenplattierung eine hochenergetische Plasmaumgebung, in der Ionen aktiv am Filmbildungsprozess beteiligt sind. Der Multi950 integriert dies kraftvoll durch seine8 Sätze Bogenkathodenund eine engagierteLineare Ionenquelle. Diese Kombination sorgt für eine intensive Plasmaionisierung und führt zu Filmen mit außergewöhnlichen Eigenschaften:

  • Unübertroffene Haftung:

    Die Ionenquelle sorgt für robustes Plasmaätzen und Ionenbeschuss vor und während der Abscheidung. Dadurch wird das Substrat auf atomarer Ebene gereinigt und eine abgestufte Grenzfläche geschaffen, was zu einer Filmhaftung führt, die extremen mechanischen Belastungen und Temperaturwechseln standhält.

  • Überlegene Dichte und Qualität:

    Hochenergetische Ionen, die an der Substratoberfläche ankommen, fördern ein dichtes, hohlraumfreies Filmwachstum. Dadurch entstehen Beschichtungen mit ausgezeichneter Härte, Korrosionsbeständigkeit und optischen Eigenschaften, die für Anwendungen von schützenden Hartfilmen bis hin zu präzisen optischen Filtern entscheidend sind.

  • Hervorragende Stufenabdeckung:

    Die ionenunterstützte Abscheidung verbessert die Streukraft und ermöglicht eine gleichmäßigere Beschichtungsabdeckung auf komplexen Geometrien, einschließlich Werkzeugen mit scharfen Kanten oder vertieften Merkmalen.

Das „Octal Chamber“-Design des Multi950 mit einem2-türige Strukturbietet beispiellose Zugänglichkeit für Wartung und Neukonfiguration.

Sein Genie iststandardisierte Modularität. Die Lichtbogen- und Sputterkathoden sowie die Ionenquellenflansche sind für einen flexiblen Austausch ausgelegt. Dies bedeutet, dass dasselbe Kernsystem mühelos angepasst werden kann zwischen:

  • Arc-PVD-Ionenplattierung:

    Für ultraharte, verschleißfeste Beschichtungen wie TiN, CrN oder DLC.

  • MF-Sputtern:

    Für spannungsarme, hochwertige metallische und dielektrische optische Beschichtungen.

  • PECVD-Prozesse:

    Zur Abscheidung fortschrittlicher kohlenstoffbasierter Filme, wie z. B. transparenter DLC, bei niedrigeren Temperaturen, ideal für empfindliche Substrate.

DasHybrid-PVD/PECVDDie Fähigkeit ermöglicht die Herstellung neuartiger Mehrschicht- und Nanokompositfilme in einem einzigen Abpumpzyklus und kombiniert die besten Eigenschaften verschiedener Technologien.

Der Multi950 entstand in Zusammenarbeit mit dem akademischen Team der Universität Shanghai unter der Leitung von Professor Yigang Chen und ist der Inbegriff eines Arbeitstiers für Forschung und Entwicklung.

Es erfüllt Prozesse, die verschiedene Metallschichten (Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni) und Verbindungen auf metallischen oder nichtmetallischen Substraten erfordern. Sein bewährtes Design hat spezielle Systeme für Grenzanwendungen hervorgebracht und seine grundlegende Vielseitigkeit unter Beweis gestellt:

  • Hartbeschichtungen auf Schneid- und Umformwerkzeugen
  • Optische Filme

    für Sensoren und Displays mittels Magnetronsputtern.

  • Transparente DLC-Filme

    für Verschleiß- und Entspiegelungszwecke.

  • Funktionsfilme

    für Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Automobil und biomedizinische Geräte.

Untergebracht in einer kompakten Stellfläche (3000 x 4000 x 3200 mm) geht das System keine Kompromisse bei der Leistung ein. Mit einemGesamtleistung von 150 kW, es verfügt über eine großeφ650 x H750 mm Plasmagleichmäßigkeitszoneund a500°C Heizsystemmit PID-Steuerung für präzises Wärmemanagement. Unterstützt von a1 Jahr eingeschränkte Garantie und lebenslanger MaschinensupportDas globale Servicenetzwerk von ROYAL TECH erstreckt sich von Europa (Polen) nach Asien (Indien, Iran, Türkei) und Amerika (Mexiko) und gewährleistet fachkundigen Support vor Ort, Schulungen zu Maschinenbedienung, Wartung und Beschichtungsprozessrezepten.

Die ROYAL Multi950 Hybrid-Vakuumbeschichtungsmaschine ist mehr als nur einePVD-Ionenbeschichtungsmaschine; Es handelt sich um eine strategische Investition in Innovation. Es ermöglicht Forschungs- und Entwicklungsabteilungen sowie Pilotproduktionslinien, schnell und flexibel neue Materialkombinationen zu erforschen, Prozesse zu optimieren und proprietäre Beschichtungen zu entwickeln. Durch die Integration von PVD-Ionenbeschichtung, DC/MF-Sputtern und PECVD in einer zuverlässigen, modularen Plattform werden mehrere dedizierte Systeme überflüssig, was die Kosten senkt und die Markteinführungszeit beschleunigt.

Sind Sie bereit, die Grenzen Ihrer Beschichtungsmöglichkeiten neu zu definieren? Kontaktieren Sie ROYAL TECH noch heute, um zu besprechen, wie das Multi950-Hybridsystem auf Ihre spezifischen Anwendungsherausforderungen zugeschnitten werden kann (OEM/ODM verfügbar). Fordern Sie eine ausführliche Beratung oder ein technisches Dokument an, um die Zukunft der Vakuumbeschichtung zu erkunden.