Hohes Korrosionsbeständigkeits-Tantal-Spritzenabsetzungs-System
1 Satz
MOQ
negotiable
Preis
High Corrosion Resistance Tantalum Sputtering Deposition System
Eigenschaften Galerie Produkt-Beschreibung Fordern Sie ein Zitat
Eigenschaften
Grundinformation
Herkunftsort: GEMACHT IN CHINA
Markenname: ROYAL
Zertifizierung: CE
Modellnummer: RTAS1000
Markieren:

vacuum coating plant

,

high vacuum coating machine

Zahlung und Versand AGB
Verpackung Informationen: Exportstandard, in den neuen Kästen/in Kartonen, in passend für Langstreckenozean/Luft und inländisc
Lieferzeit: 8 bis 12 Wochen
Zahlungsbedingungen: L/C, T/T
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: 5 Sätze pro Monat
Technische Daten
Name: Spritzenabsetzungs-Maschine des Tantal-PVD
Beschichtungen: Tantal, Gold, silbernes etc.
Technologie: Pulsiertes DC-Spritzen
Anwendung: Mikroelektronikindustrie, medizinische Instrumente, Beschichtungen auf korrosionsbeständigen Teilen,
Ta-Filmeigenschaften: Tantal wird höchst in der elektronischen Industrie als schützende Beschichtung wegen seines guten Wi
Produkt-Beschreibung

Das Magnetron, das spritzt, ist weitverbreitet, refraktäre Metalle wie Tantal, Titan, Wolfram, Niobium, die hohe Temperaturen der Absetzung erfordern würden, und Edelmetalle niederzulegen: Gold und Silber und welches auch für Absetzung von unteren Schmelzpunktmetallen wie Kupfer, Aluminium, Nickel benutzt wird, Chrom etc.

Tantal wird höchst in der elektronischen Industrie als schützende Beschichtung wegen seines guten Widerstands zur Abnutzung benutzt.

Anwendungen des Dünnfilms Sputtered Tantals:
1. können Mikroelektronikindustrie, während die Filme reaktiv gespritzt werden können und folglich Widerstandskraft- und Temperaturkoeffizient Widerstand gesteuert werden;

  1. Medizinische Instrumente wie Körperimplantate für sein in hohem Grade biocompatability Eigentum;
  2. Beschichtungen auf korrosionsbeständigen Teilen, wie thermowells, Ventilkörpern und Befestigern;
  3. Gespritztes Tantal kann als effektive Korrosionswiderstandsgrenze verwendet werden auch sollen, wenn die Beschichtung kontinuierlich ist, abgesetzt und ist am Substrat soll sich schützen anhaftend.

Hohes Korrosionsbeständigkeits-Tantal-Spritzenabsetzungs-System 0Hohes Korrosionsbeständigkeits-Tantal-Spritzenabsetzungs-System 1

 

Technische Vorteile

  1. Eine standardisierte Laufkatze wird angewendet, die einfache und sichere Laden/die Entleerung der Substrathalter und -Werkstücke herein aus der Absetzungskammer heraus erlaubt
  2. Das System ist Sicherheitsverriegelung, um falsche Operation oder unsichere Praxis zu verhindern
  3. Die Substratheizungen werden, die in die Mitte der Kammer anbrachten, PID steuerten Thermoelement für hohe Genauigkeit zur Verfügung gestellt, um zu erhöhen, die Adhäsion des Filmes zu kondensieren
  4. Starkes Vakuumpumpe Konfigurationen mit magnetisch molekularer Pumpe der Suspendierung über den Schieber, der an Kammer angeschlossen wird; zurückgezogen mit Leybolds Wurzeln pumpen Sie und zweistufige Drehschieberpumpe, mechanische Pumpe.
  5. Hochenergie ionisierte Plasmaquelle wird mit diesem System angewendet, um der Einheitlichkeit und der Dichte zu garantieren.


    Hohes Korrosionsbeständigkeits-Tantal-Spritzenabsetzungs-System 2Hohes Korrosionsbeständigkeits-Tantal-Spritzenabsetzungs-System 3

 

Tantalspritzenabsetzungssystem der königlichen Technologie standardisiertes:

Hauptkonfigurationen
MODELL RTAS1000
TECHNOLOGIE

Pulsiertes DC-Magnetronspritzen

Kathodischer Bogenüberzug (für Wahl, bestimmt durch Beschichtungsverfahren)

KAMMER-MATERIAL Edelstahl (S304)
KAMMER-GRÖSSE Φ1000*1000mm (H)
KAMMER-ART D-Form, zylinderförmige Kammer
ROTATIONS-GESTELL U. SPANNVORRICHTUNGS-SYSTEM Satellitenfahren oder zentrales Ansteuersystem
STROMVERSORGUNG

DC Spritzenstromversorgung: 2~4 Sätze
Schräge Stromversorgung: 1 Satz

Ion Source: 1 Satz

ABSETZUNGS-MATERIAL Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, AG, Cu etc.
ABSETZUNGS-QUELLE Planare Spritzenkathoden + Kreisbogenkathoden
STEUERUNG PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) + IPC
(halb-Selbstoperationsmodelle manual+ auto+)
PUMPEN-SYSTEM Dreh-Vane Pump: SV300B – 1 Satz (Leybold)
Wurzeln pumpen: WAU1001 – 1 Satz (Leybold)
Halten der Pumpe: D60C – 1 Satz (Leybold)
Magnetische Suspendierungs-molekulare Pumpe:
MAG2200 – 2 sest (Leybold)
GAS-MASSENSTROM-PRÜFER 2 Kanäle: AR und N2
VAKUUMmessgerät Inficon oder Leybold
SICHERHEITSSYSTEM Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern und von equipmen zu schützen
HEIZUNG Heizungen: 20KW. Maximum Temp.: 450℃
ABKÜHLEN Industrieller Kühler (kaltes Wasser)
ENERGIE-MAXIMUM. 100KW (ca.)
DURCHSCHNITTLICHE LEISTUNGSAUFNAHME 45 Kilowatt (ca.)
BRUTTOMASSE T (ca.)
FUSS-DRUCK (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILLIMETER
ELEKTRISCHE LEISTUNG

Linie phases/50HZ/5 Wechselstroms 380V/3

 

Insite:

 

Aufgebaute Zeit: 2018

Standort: China

 

 

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