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| Markenbezeichnung: | ROYAL |
| Modellnummer: | RTKW-Therapie |
| MOQ: | 1 Satz |
| Preis: | verhandelbar |
| Zahlungsbedingungen: | L/C,T/T |
| Versorgungsfähigkeit: | 5 Sätze pro Monat |
Magnetron-Sputtering wird häufig verwendet, um feuerfeste Metalle wie Tantal, Titan, Wolfram zu deponieren,Niob, für das eine sehr hohe Ablagerungstemperatur erforderlich wäre, und Edelmetalle: Gold und Silber und die auch zur Ablagerung von niedrigeren Schmelzpunkten von Metallen wie Kupfer, Aluminium, Nickel, Chrom usw. verwendet wird.
Tantal wird am häufigsten in der elektronischenIndustrieals Schutzbeschichtung aufgrund seiner guten Erosionsbeständigkeit.
Anwendungen von Sputter-Tantal-Dünnfolie:
1- die Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesprutzt werden können und somit die Widerstandsfähigkeit und der Temperaturkoeffizient des Widerstands kontrolliert werden können;
Technische Vorteile
Standardisiertes Tantal-Sputter-Depositionssystem von Royal Technology:
| Hauptkonfigurationen | |
| Modell | RTE-Therapie |
| Technik |
Pulsiertes Gleichstrommagnetron-Sputtern Kathodenbogenbeschichtung (optional, bestimmt durch Beschichtungsprozess) |
| Das Material der Kammer | Edelstahl (S304) |
| Größe der Kammer | Φ1000*1000mm (H) |
| KAMMERTYPE | D-Form, Zylinderkammer |
| Rotationsrack und JIG-System | Satellitenantrieb oder zentrales Antriebssystem |
| Stromversorgung |
Gleichspülstromversorgung: 2 bis 4 Sätze Ionenquelle: 1 Satz |
| Das Depositionsmaterial | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu usw. |
| Einlagenquelle | Ebenförmige Sputterkatoden + kreisförmige Bogenkathoden |
| Kontrollen | PLC (Programmierbarer Logikcontroller) + IPC (Manuelle + automatische + halbautomatische Betriebsmodelle) |
| PUMPSYSTEM | Drehkolbenpumpe: SV300B 1 Satz (Leybold) |
| Wurzelpumpe: WAU1001 1 Satz (Leybold) | |
| Haltungspumpe: D60C 1 Satz (Leybold) | |
| Magnetische Molekülpumpe: MAG2200 2 sest (Leybold) |
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| GAS-Massendurchflussregler | 2 Kanäle: Ar und N2 |
| VACUUM GAGE | Inficon oder Leybold |
| Sicherheitssystem | Zahlreiche Sicherheitsschließungen zum Schutz von Bediener und Ausrüstungskräften |
| Heizung | Heizungen: 20 kW. Max. Temperatur: 450°C |
| Kühlung | Industrielle Kühlgeräte (Kaltwasser) |
| Power Max. | 100 kW (ca.) |
| Durchschnittlicher Stromverbrauch | 45 KW (ca.) |
| Bruttogewicht | T (ungefähr) |
| Fußabdruck | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Elektroenergie |
AC 380V/3-Phasen/50HZ / 5-Leitung |
Insitate:
Bauzeit: 2018
Standort: China
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