Gold, Silber und Kupfer Keramik PVD Sputtering Deposition Machine,

Au Gold Sputtering Deposition Equipment, Silve/Gold PVD Deposition Machine, Leitungsschicht PVD Sputtering System 

Zusammenfassung:Der DPC-Prozess - Direct Plating Copper ist eine fortschrittliche Beschichtungstechnologie, die in der LED/Halbleiter/elektronischen Industrie angewendet wird.Cooper-leitende Folienablagerung auf Aluminiumoxid (Al2O3), AlN-Substrate durch PVD-Vakuumsputtertechnologie im Vergleich zur traditionellen Herstellung

Methoden: DBC LTCC HTCC, weshalb die Produktionskosten wesentlich niedriger sind.

Das Royal-Technologie-Team unterstützte unseren Kunden bei der erfolgreichen Entwicklung des DPC-Prozesses mit PVD-Sputtertechnologie.

Schlüsselwörter:Keramische Dichtungsteile, DPC-Prozess, Kupfer-PVD-Sputtersystem, LED-Keramikchips mit Kupferplattierung, Al₂O₃, AlN Keramikkreisleitungen, Al2O3 Platten auf LED, Halbleiter

AnwendungenDPC:

· HBLED

· Substrate für Solarkonzentratoren

· Leistungshalbleiterverpackungen einschließlich Automobilmotorsteuerung

· Elektrotechnik zur Energieverwaltung von Hybrid- und Elektroautos

· Pakete für HF

· Mikrowellengeräte

Leistung der DPC-Technologie

Verschiedene Substratmaterialien: Keramik (Al3O2, AlN), Glas und Si

• Viel niedrigere Produktionskosten.
• Ausgezeichnete thermische Leistung und Wärmeübertragung
• Genaue Ausrichtung und Mustergestaltung
• Robuste Metallisierungsabhängigkeit

Eigenschaften:

• hoher Durchsatz von bis zu 2,2 m2 Keramikunterlage pro Zyklus;
• starke Haftung mit leistungsstarker Aufwärmevorrichtung und Plasmaquellenreinigung;
• Kompaktes Design und einfacher Zugang für die Modernisierung und Wartung.
• Voll automatisiert, PLC + Touchscreen, Ein-Touch-Steuerungssystem.
• Hohe Effizienz bei geringem Stromverbrauch, maximal 50% Einsparung der Produktionskosten.

Technische Spezifikation

• Leistung

1. Endvakuumdruck: besser als 9,0*10^-5- Ich weiß.

• Grundvakuumdruck: 3,0*10^-2- Ich weiß.

3. Abpumpen Zeit: von atm bis 1,0×10^-3Pa≤15 Minuten (Zimmertemperatur, trockene, saubere und leere Kammer)

4Absetzungsquelle: Gencoa-Magnetron-Sputterkatoden, gelenkte Bogenkatoden, Ionenquelle

5Betriebsmodell: vollautomatisch/halb-automatisch/manuell

6. Heizung: von Raumtemperatur bis max. 500°C,

9. Ionquelle für PECVD- und PA-PVD-Prozesse.

• Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das nachstehend aufgeführte Schlüsselsystem:

1Vakuumkammer

1.1 Größe: Innendurchmesser: 1200 mm

Innenhöhe: 1500 mm

1.2 Material: Vakuumkammer SUS304

mit einer Breite von mehr als 20 mm,

Struktur zur Stärkung der Kammer: SS41 mild steel, mit lackierter Oberflächenbehandlung.

Kammerchassis SS41 aus mildem Stahl mit lackierter Oberfläche.

1.3 Kammerschild: SUS304

1.4 Aussicht Fenster: 2 an der Tür

1.5 Vakuumkammerventilationsventil (einschließlich Schalldämpfer)

1.6 Tür: Material SUS304

2- Das ist unfair.SchleimVakuumpumpsystem:

Öl-Rotationsschieber-Vakuumpumpe + Haltepumpe
 

3. Hochvakuumpumpsystem: Magnetische Molekülpumpe - 2 Sätze

4Elektrische Steuerung und Bedienung- PLC+ Touchscreen Bedienung:

Lieferanten:

PLC: Mitsubishi + Touchscreen (Hergestellt in China)

Elektronische Komponenten: Schneider, OMRON.

Sicherheitsschutzsystem:Zahlreiche Sicherheitsschließungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstung (Wasser, Gasstrom, Temperatur usw.)

Beschichtungsprozesssystem: Prozessautomation und Steuerung.

4.1 Hauptkreislauf: Nicht-Schutzschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T im Serientypen

4.2 Stromversorgung: Gleichstrom-/MF-Sputterleistung + Gleichstrombogenleistung + Bias-Stromversorgung

4.3 Absetzkontrollsystem

4.4 Betriebssystem: Touchscreen + PLC, Rezeptursteuerung und Datenerfassung, automatisches Herunterfahren, automatische Evakuierung, automatische Beschichtung

4.5 Messsystem

Vakuumdruck: Vakuummessgerät: Pirani + Penning-Messgerät + Vakuummessgerät mit voller Reichweite -- Marke Europe

Temperaturmessgerät: Thermo-Couple
MFC: Massenflussregler (vier Wege)

4.6 Alarmsystem: Druckluft, Kühlwasserstrom, Fehlfunktion

4.7 Leistungslastanzeiger: Spannungs- und Laststromanzeiger

5. Absetzsystem

5.1 Depositionsquelle: Sputterkatoden + Lichtbogenquellen + Ionenquelle

5.2 Ablagerungsmaterial: Kupfer, Aluminium, Chrom, Silber, Gold, SS, Titan usw.
 

6.Teilsystem

6.1 Kompressluftventilsteuerungssystem

6.2 Kühlwassersystem:Wasserleitung und Schaltventilsystem

7. Arbeitsumfeld

Druckluft: 5 bis 8 kg/cm2

Kühlwasser: Wasser-In-Temperatur: 20 ~ 25 °C, 200 Liter/min,
Wasserdruck: 2 bis 3 kg/cm2,

Leistung: 3 Phase 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, durchschnittlicher Stromverbrauch: 60KW

Einbaufläche: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Auspuff: Lüftung für mechanische Pumpen

Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.