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Markenbezeichnung: | ROYAL |
Modellnummer: | DPC1215 |
MOQ: | 1 |
Preis: | Negoitable |
Au Gold Sputtering Deposition Equipment, Silve/Gold PVD Deposition Machine, Leitungsschicht PVD Sputtering System
Zusammenfassung:Der DPC-Prozess - Direct Plating Copper ist eine fortschrittliche Beschichtungstechnologie, die in der LED/Halbleiter/elektronischen Industrie angewendet wird.Cooper-leitende Folienablagerung auf Aluminiumoxid (Al2O3), AlN-Substrate durch PVD-Vakuumsputtertechnologie im Vergleich zur traditionellen Herstellung
Methoden: DBC LTCC HTCC, weshalb die Produktionskosten wesentlich niedriger sind.
Das Royal-Technologie-Team unterstützte unseren Kunden bei der erfolgreichen Entwicklung des DPC-Prozesses mit PVD-Sputtertechnologie.
Schlüsselwörter:Keramische Dichtungsteile, DPC-Prozess, Kupfer-PVD-Sputtersystem, LED-Keramikchips mit Kupferplattierung, Al2O3, AlN Keramikkreisleitungen, Al2O3 Platten auf LED, Halbleiter
AnwendungenDPC:
· HBLED
· Substrate für Solarkonzentratoren
· Leistungshalbleiterverpackungen einschließlich Automobilmotorsteuerung
· Elektrotechnik zur Energieverwaltung von Hybrid- und Elektroautos
· Pakete für HF
· Mikrowellengeräte
Leistung der DPC-Technologie
Verschiedene Substratmaterialien: Keramik (Al3O2, AlN), Glas und Si
Eigenschaften:
Technische Spezifikation
1. Endvakuumdruck: besser als 9,0*10-5- Ich weiß.
3. Abpumpen Zeit: von atm bis 1,0×10-3Pa≤15 Minuten (Zimmertemperatur, trockene, saubere und leere Kammer)
4Absetzungsquelle: Gencoa-Magnetron-Sputterkatoden, gelenkte Bogenkatoden, Ionenquelle
5Betriebsmodell: vollautomatisch/halb-automatisch/manuell
6. Heizung: von Raumtemperatur bis max. 500°C,
9. Ionquelle für PECVD- und PA-PVD-Prozesse.
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das nachstehend aufgeführte Schlüsselsystem:
1Vakuumkammer
1.1 Größe: Innendurchmesser: 1200 mm
Innenhöhe: 1500 mm
1.2 Material: Vakuumkammer SUS304
mit einer Breite von mehr als 20 mm,
Struktur zur Stärkung der Kammer: SS41 mild steel, mit lackierter Oberflächenbehandlung.
Kammerchassis SS41 aus mildem Stahl mit lackierter Oberfläche.
1.3 Kammerschild: SUS304
1.4 Aussicht Fenster: 2 an der Tür
1.5 Vakuumkammerventilationsventil (einschließlich Schalldämpfer)
1.6 Tür: Material SUS304
2- Das ist unfair.SchleimVakuumpumpsystem:
Öl-Rotationsschieber-Vakuumpumpe + Haltepumpe
3. Hochvakuumpumpsystem: Magnetische Molekülpumpe - 2 Sätze
4Elektrische Steuerung und Bedienung- PLC+ Touchscreen Bedienung:
Lieferanten:
PLC: Mitsubishi + Touchscreen (Hergestellt in China)
Elektronische Komponenten: Schneider, OMRON.
Sicherheitsschutzsystem:Zahlreiche Sicherheitsschließungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstung (Wasser, Gasstrom, Temperatur usw.)
Beschichtungsprozesssystem: Prozessautomation und Steuerung.
4.1 Hauptkreislauf: Nicht-Schutzschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T im Serientypen
4.2 Stromversorgung: Gleichstrom-/MF-Sputterleistung + Gleichstrombogenleistung + Bias-Stromversorgung
4.3 Absetzkontrollsystem
4.4 Betriebssystem: Touchscreen + PLC, Rezeptursteuerung und Datenerfassung, automatisches Herunterfahren, automatische Evakuierung, automatische Beschichtung
4.5 Messsystem
Vakuumdruck: Vakuummessgerät: Pirani + Penning-Messgerät + Vakuummessgerät mit voller Reichweite -- Marke Europe
Temperaturmessgerät: Thermo-Couple
MFC: Massenflussregler (vier Wege)
4.6 Alarmsystem: Druckluft, Kühlwasserstrom, Fehlfunktion
4.7 Leistungslastanzeiger: Spannungs- und Laststromanzeiger
5. Absetzsystem
5.1 Depositionsquelle: Sputterkatoden + Lichtbogenquellen + Ionenquelle
5.2 Ablagerungsmaterial: Kupfer, Aluminium, Chrom, Silber, Gold, SS, Titan usw.
6.Teilsystem
6.1 Kompressluftventilsteuerungssystem
6.2 Kühlwassersystem:Wasserleitung und Schaltventilsystem
7. Arbeitsumfeld
Druckluft: 5 bis 8 kg/cm2
Kühlwasser: Wasser-In-Temperatur: 20 ~ 25 °C, 200 Liter/min,
Wasserdruck: 2 bis 3 kg/cm2,
Leistung: 3 Phase 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, durchschnittlicher Stromverbrauch: 60KW
Einbaufläche: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Auspuff: Lüftung für mechanische Pumpen
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.