Konservieren Sie Spritzensystem der Goldmetallmittelfrequenz-Magnetron-Spritzenbeschichtungs-Maschinen-/MF
Magnetron-Spritzenvakuumbeschichtung ist- eine Art PVD-Ionenbeschichten- von oberflächenbehandlung menthod. Sie kann für die Produktion von Leit- oder nicht Leitfilmen, auf vielen Arten Materialien verwendet werden: Metalle, Glas, keramisch, Plastik, Metalllegierung. Das Spritzenabsetzungskonzept: das Beschichtungsmaterial (das Ziel, auch genannt Kathode) und die Werkstücke (die Substrate, auch genannt Anode) werden in die Unterdruckkammer und in den Druck wird verringert gesetzt. Das Spritzen wird durch die Platzierung des Ziels unter einer differintial Spannung und das Vorstellen des Argongases die Ionen dieses Formargons eingeleitet (Glimm). Die Argonionen beschleunigen sich in Richtung zum Prozessziel und verlegen Zielatome. Diese Spritzenatome werden dann auf das Substrat kondensiert und sehr dünne und hohe Einheitlichkeitsschicht bilden. Verschiedene Farben können erzielt werden, indem man reagierende Gase wie, Stickstoff, oxgen oder Acetylen in die Spritzung gass während des Beschichtungsverfahrens einführt.
Magnetron-Spritzenmodelle: DC, das, MF spritzend, Rf Spritzen spritzt
Was spritzt MF?
Verglichen mit DC und Rf, die spritzt, ist die spritzende Mittelfrequenz eine hauptsächlichdünnfilmspritzentechnik für Massenproduktion der Beschichtung, besonders für die Filmabsetzung von dielektrischen und nicht leitfähigen Filmbeschichtungen auf Oberflächen wie optischen Beschichtungen, Sonnenkollektoren, mehrfachen Schichten, Verbundwerkstofffilm etc. geworden.
Sie ersetzt Rfspritzen passend zu ihr funktionierte mit kHz eher als MHZ für eine viel schnellere Absetzungsrate und kann die Zielvergiftung während der zusammengesetzten Dünnfilmabsetzung wie DC auch vermeiden.
Mf-Spritzenziele existierten immer mit Zweisätzen. Zwei Kathoden werden mit einem Wechselstrom-Strom benutzt, der hin und her zwischen sie geschaltet wird, welches die Zieloberfläche mit jeder Umkehrung säubert, um den Gebührenaufbau auf Dielektrika zu verringern, die das- zu den Funkenüberschlag führt, der Tröpfchen in das Plasma spucken und einheitliches Dünnfilmwachstum verhindern kann--- welches ist, was wir Target Poisoning nannten.
MF Spritzensystemleistung
1. entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als Torr 5.0×10-6.
2. funktionierender Vakuumdruck: Torr 1.0×10-4.
3. Pumpingdown-Zeit: von 1 ATM zu 1.0×10-4 Torr≤ 3 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)
4. Metallisierung des Materials (spritzend + Bogenverdampfung): Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr, Zinn, Tic, TiAlN, CrN, zyklische Blockprüfung, etc.
5. funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell
MF Spritzensystem-Struktur
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:
1. Unterdruckkammer
2. Rouhging-Vakuumpumpe-System (Schutzträger-Pumpen-Paket)
3. Hochvakuum-Pumpsystem (magnetisch Suspendierungs-molekulare Pumpe)
4. elektrisches Steuer-und Operations-System
5. Auxiliarry-Anlagen-System (Subsystem)
6. Absetzungs-System: Mf-Spritzenkathode, MF-Stromversorgung, schräge Stromversorgungs-Ionenquelle für optionales
MF Spezifikationen des Spritzensystem-RTSP1212-MF
MODELL | RTSP1212-MF | ||||||
TECHNOLOGIE | Spritzendes MF-Magnetron + Ionenüberzug | ||||||
MATERIAL | Edelstahl (S304) | ||||||
KAMMER-GRÖSSE | Φ1250*H1250mm | ||||||
KAMMER-ART | Zylinder, Vertikale, 1 Tür | ||||||
SPRITZENsystem | Ausschließlich Entwurf für dünne schwarze Filmabsetzung | ||||||
ABSETZUNGS-MATERIAL | Aluminium, Silber, Kupfer, Chrome, Edelstahl, Nickel |
||||||
ABSETZUNGS-QUELLE | 2 Sätze MF zylinderförmiges, das Spritzen + 8 anvisiert, steuerten kathodische Bogen-Quellen | ||||||
GAS | Weisen Kraftstoffreglers 4, AR, N2, O2, C2H2 | ||||||
STEUERUNG | PLC (programmierbarer Logik-Prüfer) + | ||||||
PUMPEN-SYSTEM | SV300B - 1 Satz (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 stellt ein (Leybold) | |||||||
D60T- 2sets (Leybold) | |||||||
Molekulare Pumpen Turbos: 2* F-400/3500 | |||||||
VORBEHANDLUNG | Schräge Stromversorgung: Kilowatt 1*36 | ||||||
SICHERHEITSSYSTEM | Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern zu schützen | ||||||
ABKÜHLEN | Kaltes Wasser | ||||||
ENERGIE ELEKTRISCH | 480V/3 phases/60HZ (USA konform) | ||||||
460V/3 phases/50HZ (Asien konform) | |||||||
380V/3 phases/50HZ (EU-CE konform) | |||||||
ABDRUCK | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
GESAMTgewicht | 7,0 T | ||||||
ABDRUCK | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MILLIMETER | ||||||
ZYKLUS-ZEIT | 30~40 Minuten (abhängig von Substratmaterial, Substratgeometrie und -Umweltbedingungen) |
||||||
ENERGIE-MAXIMUM. | 155 KILOWATT | ||||||
DURCHSCHNITTLICHE ENERGIE |
75 KILOWATT |
Wir haben mehr Modelle für Ihre Auswahl!
Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen Gesamtbeschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.