Die RTAS-Reihe ist eine integrierte mehrfache Absetzungsquellmaschine zu den allgemeinen Graphit-, samtschwarzen, Blauen, kupfernen und Bronzefarben auf Metallteilen, Edelstahlgegenstände. Besonders verwendet für Spitzenklassen-Luxusteile.
Standardanwendung
Schmuck, Uhrenarmbänder und Körper, Edelstahlsport, Instrumente schreibend
Unterhaltungselektronik: Handy, Laptop, Kamera, Brummen
Die RTAS-Maschinen ausgerüstet mit Kreisbogen- und Zylinderspritzenabsetzungsquellen. Mehrfache Kombinationen von DC spritzend, MF-Spritzen, Bogenverdampfung und Ionenquelle etc. Alle sind in einer einzelnen Maschine verfügbar, für eine hohe Flexibilität in den Konfigurationen, verschiedene Anwendungen zufriedenzustellen. Besonders für ästhetische Beschichtungen der kleinen Komponenten: samtschwarze, kupferne, Messing- und Chromfarben.
Was spritzt MF?
Verglichen mit DC und Rf, die spritzt, ist die spritzende Mittelfrequenz eine hauptsächlichdünnfilmspritzentechnik für Massenproduktion der Beschichtung, besonders für die Filmabsetzung von dielektrischen und nicht leitfähigen Filmbeschichtungen auf Oberflächen wie optischen Beschichtungen, Sonnenkollektoren, mehrfachen Schichten, Verbundwerkstofffilm etc. geworden.
Es ersetzt Rfspritzen passend zu ihm funktionierte mit kHz eher als MHZ für eine viel schnellere Absetzungsrate und kann die Zielvergiftung während der Dünnfilmabsetzung des Mittels wie DC auch vermeiden.
Mf-Spritzenziele existierten immer mit Zweisätzen. Zwei Kathoden werden mit einem Wechselstrom-Strom schalteten hin und her zwischen sie benutzt, der die Zieloberfläche mit jeder Umkehrung säubert, um die Gebühr auf, Dielektrika aufzubauen dass Führungen auf dem Funkenüberschlag zu verringern, der Tröpfchen in das Plasma spucken und einheitliches Dünnfilmwachstum verhindern kann, das ist, was wir Target Poisoning nannten.
Technisches Specificaitons
| Nein. | Name |
| 1 | Vakuumpumpsystem: Molekulare Pumpe Turbos + mechanische Pumpe der Wurzel-Pump+ +, Pumpe halten |
| 2 | Vakuummessverfahren: Pirani +, Messgeräte einsperrend |
| 3 | Heizsystem: Heizungen für die Substrate, die oben erhitzen, um die Adhäsion zu verbessern |
| 4 | Wasser/komprimiertes Luftzufuhr-System: Modularbauweise und fabaricated |
| 5 | Zylinder-Spritzenkathoden: 2/4/6/8 Paare Zwillingsziele für Wahl |
| 6 | Vakuumschieber (als Wahl) |
| 7 | Elektrische Einschließung (CER-Standard) |
| 8 | Unterdruckkammer (SS304/316L, wie verlangt) |
| 9 | Kathodische Bogen-Quelle (herkömmliche Bogenkathoden) |
| 10 | Ansicht-Hafen (2 nach innen verteilt auf die Tür für Inspektion der Absetzungskammer) |
| 11 | Verarbeitung Gasverteilungssystem (Meter-Durchflussregler für 4 Kanäle) |
| 12 | Gestell-Ansteuersystem (planetarisches treibendes Modell) |
| 13 | Karussell |
| Beschreibung | RTAS1250 | RTAS1612 |
| Absetzungs-Kammer (Millimeter) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
Planetarisches Fahren Effektiver beschichtender Bereich (Millimeter) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
| Kreisbogen-Kathode (Sätze) | 7 | 12 |
| Zylinder-Spritzenkathoden (Paare) | 3 /4 | 4 / 6 |
|
Pulsierte schräge Energie (Kilowatt) |
36 | 48 |
| DC/MF Spritzenenergie (Kilowatt) | 36 | 4*36 |
| Bogen-Energie (Kilowatt) | 7*5 | 12*5 |
| Vakuumpumpen |
Molekulare Pumpen 2* Turbo 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
Molekulare Pumpen 3* Turbo 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| Max. Leistungsaufnahme (Kilowatt) | 200 | 245 |
| Durchschnittliche Leistungsaufnahme (Kilowatt) | <75> | <100> |
| Operations-Raum (L*W*H) Millimeter | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Flexible Konfigurationen: die Maschine wird entsprechend Beschichtungsverfahren- und Kundenanforderungen eingestellt
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