Tantal (Ta) Thin Film Magnetron Sputtering Deposition System-RTSP1000

Tantaldeposition, Gold Edelmetalle durch Sputtern 

Sputtering wird häufig verwendet, um feuerfeste Metalle wie Tantal, Titan, Wolfram zu deponieren,Niob, für das eine sehr hohe Ablagerungstemperatur erforderlich wäre, und Edelmetalle: Gold und Silber und die auch zur Ablagerung von niedrigeren Schmelzpunkten von Metallen wie Kupfer, Aluminium, Nickel, Chrom usw. verwendet wird.

Tantal wird am häufigsten in der elektronischen Industrieals Schutzbeschichtung aufgrund seiner guten Erosionsbeständigkeit.

Tantalfilme mit Sputtern werden in der
1- die Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesprutzt werden können und so die Widerstandsfähigkeit und der Temperaturkoeffizient des Widerstands kontrolliert werden können;

2Medizinische Geräte wie Körperimplantate wegen ihrer hohen Biokompatibilität;

3- Beschichtungen von korrosionsbeständigen Teilen wie Thermowellen, Ventilkörpern und Befestigungsmaterialien;

4.Sputtered Tantal kann auch als eine wirksame Korrosionsbeständigkeit Barriere verwendet werden, wenn die Beschichtung kontinuierlich ist, defekt ist und an dem Substrat haften ist.

Königliche Technologie- Ich weiß.Standardisiertes Tantal-Sputter-Depositionssystem: Modell RTSP1000.
 Eigenschaften von Tantalsputterfolien:
Niedriges Widerstandsvermögen

Hochkorrosions- und Verschleißbeständige Oberflächenbeschichtungen, die die hohen Belastungen und einer rauen chemischen und erosiven Umgebung ausgesetzt sind. 

Designmerkmale:

Robuste Konstruktion, stabile Qualität, schneller Zyklus, hochpräzises System

Ausrüstungsstruktur:

Beschichtungssystemstruktur: vertikale Ausrichtung, achteckige Struktur, 2 Türen für einen einfachen Zugang.

Umweltfreundliches System, keine gefährlichen Abfälle.

Gesamtintegration, modulare Konstruktion
Vermarktet und standardisiert für die industrielle Massenproduktion
Eine äußerst effiziente Ionenquelle für starke Haftung und hohe Ionisierung.
Einfache Bedienung: Touchscreen + PLC-Steuerung, eine Berührung
Spezielle Konstruktion des Carousel-Systems für eine hohe Einheitlichkeit der Ablagerung.
Hohe Produktivität und Stabilität, 24/7 arbeiten.
Flexibel, für verschiedene Plattengrößen geeignet

Schlüsselkomponenten

Ionenquelle für das unterstützte Ablagerungsverfahren:

Ionenquelle für das Plasma-Iteching-Verfahren:

Die RT1200-FCEV-Maschine ist ein Batch-Modell-Sputtersystem, das verschiedene harte Beschichtungen, weiche Beschichtungen,Zusammengesetzte Filme und feste Schmierfolien auf Metall- und Nichtmetallmaterialien-Substraten.Anwendbar in der Industrie von Wasserstoffbrennstoffzellenfahrzeugen, photonischen Produkten, Luft- und Raumfahrt und anderen neuen Energieindustrien.

Leistungsmerkmale der Ablagerungsfolien:

zur Verbesserung der Oberflächenleitfähigkeit;

hohe Korrosionsbeständigkeit;

hohe Verschleißfestigkeit;

Hohe Härte

Hydrophobe Zusammensetzungsfolien und andere funktionelle Folien

Erhältlich für zusammengesetzte Beschichtungen: metallische und nichtmetallische Folien.

Filmdicke von 100 nm bis 12 μm, Toleranz von ±5%

Starke Haftung.

Oberflächenhärtungsbehandlung von Teilen mit niedriger Härtung.

Typ:

vertikale Ausrichtung, oktale Struktur, 2-Türen (Vor- und Rückseite)

Vorteile der Konstruktion:

• Umweltfreundliches System, kein Industrieabwasser, keine Luft- und Lärmbelastung;
• Einfache Bedienung: Touchscreen + PLC-Steuerung und einzigartiges Softwareprogramm für einen Touch-Betrieb, mehr als 80% Problemschieß Alarm.
• Bis zu 10 Verarbeitungsprozesse Login und Backup; hohe Wiederholbarkeit und Vielfalt.
• Spezielle Konstruktion des Carousel-Systems für eine hohe Einheitlichkeit der Filmdeposition.
• Hohe Produktivität und Qualität
• Stabiles und zuverlässiges System, das 365 Tage * 24 Stunden läuft (Wartungs- und Reparaturunterbrechungszeit)
• Effizienz-Pumpsystem: kürzere Vakuumleitungen für maximale Rohrgeschwindigkeit mit bekannten europäischen Pumpenmarken
• Kompaktes Design nimmt einen minimalen Platz für die Installation ein.

Das Team von Royal Tech freut sich, Ihnen unseren besten Service zu bieten. - Wissen.