Das CsI950-Hochvakuumabscheidungssystem ist ausschließlich für die CsI- und TII-Metallisierung auf Szintillationsschirmen in einer Umgebung mit extrem hohem Vakuum ausgelegt.Die CsI-Szintillatoren 200 ~ 600 µm in Dickenbereichen mit hoher Gleichmäßigkeit der Dicke und Helligkeitsleistung:
Ultrahohe räumliche Auflösung der Bildgebung;
Schnelle Reaktion für schärfere Bilder;
Klasse führende Bildbereiche von Kante zu Kante;
optisch absorbierende Schichten oder Reflektorschichten;
Niedrige Patienten-Röntgendosis.
Angewandte Substrate:TFT-Glas, Faseroptikplatte, Platte aus amorphem Kohlenstoff, Aluminiumplatte
Anwendung:für Sicherheitskontrollen und -inspektionen, Hochenergiephysikunterricht, Kernstrahlungserkennung und medizinische Bildgebung: Brustuntersuchung, Mamographie, zahnärztliche Interoral- und Panoramaaufnahmen.
Technische Vorteile
Royal Technology bietet 2 Maschinenmodelle an: CsI950 und CsI950A+
Das Modell CsI950A+ wurde basierend auf dem CsI950 der 1. Generation aktualisiert, seine Vorteile:
1. Effizienz
-CsI-950A+-Modell ist mit 2-Rotations-Rack-Struktur basierend auf dem CsI-950-Modell der ersten Generation.
-Doppelte Kapazität für max.Größe Substrat: 500 x400 mm.
2. Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit
-Durch hochpräzises Parameterkontrollsystem,
-Automatisierte Prozesssteuerungssoftware und -programm,
-Benutzerfreundliche Bedienung.
3. Zuverlässigkeit
-24/7 Tage Non-Stop-Betrieb;
-Inficon Film Thickness Controller zur Inline-Überwachung der Filmdicke.
-Temperaturregelgenauigkeit: ±1 ℃, mehrstufige Einstellung, automatische Temperaturdatenaufzeichnung und -steuerung
-Drehgestelle mit Servomotor für hohe Genauigkeit und Stabilität.
4. Sicherheit
-Hochvakuumpumpe: Magnetsuspensions-Molekularpumpe mit Stickstoffgas-Blasvorrichtung, um zu vermeiden, dass Gefahrstoffe in die Luft gelangen;
-Alle Elektroden sind mit Sicherheitsschutzhüllen ausgestattet.
Technische Parameter
| Beschreibung | CsI-950 |
CsI-950A+
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Abscheidekammer (mm)
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φ950 x H1350 |
φ950 x H1350
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| Drehgestelle beladen | 1 | 2 |
| Verdunstungsquellen | 2 |
2
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| Heizmethode |
Jod-Wolframlampe max.1800℃ |
Jod-Wolframlampe max.1800℃ |
| Endvakuumdruck (Pa) | 8,0 × 10 –5 Pa | 8,0 × 10 –5 Pa |
| Molekularpumpe mit magnetischer Suspension | 1x3400L/S |
1x3400L/S
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| Wurzelpumpe | 1 x 490 m³/h |
1 x 490 m³/h
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| Drehschieberpumpe | 1x 300m³/h |
1x 300m³/h
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| Ablagerungskontrolleur | Quarzsteuerung x 1 |
Quarzsteuerung x 1
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| Leistungsaufnahme (KW) |
max.ca.62 Durchschnitt ca.32 |
max.ca.65 Durchschnitt ca.35 |
Insite
Ort: China
