|
| Markenbezeichnung: | ROYAL |
| Modellnummer: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 Satz |
| Preis: | verhandelbar |
| Zahlungsbedingungen: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Versorgungsfähigkeit: | 6 Sätze pro Monat |
Maschinenmodell: RT1200-FCEV
Technologie: mit PECVD + PVD Magnetron Sputtering Ablagerung: Si, Cr, Graphit Ziele, zur Erzeugung von ungleichgewichtigem geschlossenem Magnetfeld für hohe Dichte,hohe Gleichförmigkeit und hervorragende Korrosionsbeständigkeit.
Das hier.RTFördermittel RTFördermittelDas Hochvakuum-Magnetron-Sputter-Deposition-System ist ein maßgeschneidertes Modell, das sich auf das Modell Multi950-F&E bezieht, das wir für die Shanghai University gebaut haben.
Es ist mit Octal-Kammer, flexible und zuverlässige Leistungen ausgedehnt in verschiedenen Anwendungen verwendet.Graphit, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS und viele andere nicht-ferromagnetische Metalle; plus die Ioneneinheit,
die Filmhaftung an verschiedenen Substratmaterialien durch die Leistung der Plasma-Ätzung und das PECVD-Verfahren zur Ablagerung einiger kohlenstoffbasierter Schichten effizient verbessern.
Ausrüstungsstruktur:
Vertikale Ausrichtung, achteckige Struktur, 2 Türen öffnen sich (vorne und hinten) für einen einfachen Zugang.
Ausrüstungsmerkmale:
Umweltfreundliches System, keine gefährlichen Abfälle
Hohe Integration, modulare Konstruktion
Vermarktet und standardisiert für die industrielle Massenproduktion
Extrem effiziente Ionenquelle für starke Haftung und hohe Ionisierung
Einfache Bedienung: Touchscreen + PLC-Steuerung, eine Berührung
Mit der Software von Royal Technology können Prozessparameter programmiert, gespeichert und reproduziert werden
Spezielle Konstruktion des Carouselsystems für eine sehr einheitliche Ablagerung
Hohe Produktivität und Stabilität, 24/7 arbeiten
Flexibel, für Platten verschiedener Größen, zur Ein- oder Doppelseitenbeschichtung
Leistung der PVD- und PECVD-Beschichtungsfolie:
Um die Leitfähigkeit der Oberfläche zu verbessern
Hohe Korrosionsbeständigkeit
Hohe Verschleißfestigkeit
Hohe Härte
Hydrophobe Zusammensetzungsfolien und andere funktionelle Folien
Erhältlich für zusammengesetzte Beschichtungen: metallische und nichtmetallische Folie
Filmdicke von 100 nm bis 12 μm, Dicke Toleranz ± 5% Starke Haftung
Oberflächenhärtung von Teilen mit geringer Härte
| Modell | RTFördermittel RTFördermittel | |||||||||
| Die Kommission | Edelstahl (S304) | |||||||||
| Größe der Kammer | Φ1250*1350mm (H) | |||||||||
| KAMMERTYPE | Vor- und hintere 2-Tür-Struktur, vertikal | |||||||||
| Einzige PUMPEN-Verpackung | Drehkolbenvakuumpumpe | |||||||||
| Wurzelvakuumpumpe | ||||||||||
| Magnetische Molekülpumpe mit Aufhängung | ||||||||||
| Rotationspump (Haltungspump) | ||||||||||
| Technik | Magnetron-Sputtering, Ionenquelle PECVD | |||||||||
| Stromversorgung | Stromversorgung für Sputter + Stromversorgung für Bias + Ionenquelle | |||||||||
| Einlagenquelle | 2 Paare Gleichstrom-/HF-Sputterkathoden + (2 Paare mit Ersatzteil) + Ionquelle | |||||||||
| Kontrollen | PLC+Touch-Bildschirm | |||||||||
| GAS | Gasmassenstrommessgeräte (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, Stickstoff und Ethyn, Sauerstoff | |||||||||
| Sicherheitssystem | Zahlreiche Sicherheitsschließungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstung | |||||||||
| Kühlung | Kühlwasser | |||||||||
| Reinigung | Glühentladung/Ionenquelle | |||||||||
| Power Max. | 150 kW | |||||||||
| Durchschnittlicher Stromverbrauch | 75 kW | |||||||||
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.
