Keramische LED-Chips Sputtering-Beschichtungsanlage / PVD-KUPER Ablagerung auf Al2O3, AlN-Leiterplatten

Keramische LED bricht Spritzenmischanlage/AG, Cu-Absetzung auf Al2O3, AlN-Leiterplatten ab

Leistung

1. Entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als Torr 5.0×10-6.

2. Funktionierender Vakuumdruck: Torr 1.0×10-4.

3. Pumpingdown-Zeit: von 1 ATM zu 1.0×10-4 Torr≤ 3 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)

4. Metallisierung des Materials (spritzend + Bogenverdampfung): Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr etc.

5. Funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell

Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:

1. Unterdruckkammer

2. Rouhging-Vakuumpumpe-System (Schutzträger-Pumpen-Paket)

3. Hochvakuum-Pumpsystem (magnetisch Suspendierungs-molekulare Pumpe)

4. Elektrisches Steuer-und Operations-System

5. Auxiliarry-Anlagen-System (Subsystem)

6. Absetzungs-System

Kupferne Spritzenbeschichtungs-Maschinen-Hauptmerkmale

1. Ausgerüstet mit 8 Ochsebogenkathoden und DC Spritzenkathoden, MF Spritzenkathoden, Ionenquelleinheit. 

2. Mehrschichtiges und Mitabsetzungsbeschichten verfügbar

3. Ionenquelle für Plasmareinigung Vorbehandlung und Ionenbündel unterstützte Absetzung, um die Filmadhäsion zu erhöhen. 

4. Keramische Al2O3-/AlNsubstrate, die oben Einheit erhitzen; 

5. Substratrotations- und -revolutionssystem, für 1 Seitenbeschichtung und das Beschichten mit 2 Seiten. 

Fassbinder-Magnetron-Spritzenmischanlage auf keramischem Ausstrahlensubstrat  

Das dpc-Prozess direkte Überzug-Kupfer ist eine moderne Beschichtungstechnologie, die mit LED/Halbleiter/elektronischen Industrien angewendet wird. Eine typische Anwendung ist keramisch, Substrat ausstrahlend. 

Staub saugen leitfähige Filmabsetzung des Fassbinders auf Al2O3, AlN-Substrate durch PVD die Spritzentechnologie, verglichen mit traditionellen Produktionsmethoden:  DBC LTCC HTCC, viel niedrigere Produktionskosten ist seine hohe Eigenschaft. 

Königliches Technologieteam assited unseren Kunden entwickelte den DPC-Prozess erfolgreich mit PVD Spritzentechnologie. 

Die RTAC1215-SP Maschine entwarf ausschließlich für kupferne leitfähige Filmbeschichtung auf keramischen Chips, keramische Leiterplatte. 

Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen Gesamtbeschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.