Niedrig- e-Film-Magnetron-Spritzenbeschichtungs-Maschine, R2R-Netz, das System metallisiert

 

Anwendungen von Low-E-Film-Webcoatern:elektronische Papiere, flexible Schaltungen, Photovoltaik, medizinische Streifen, RFID (Radio Frequency Identification) und Low-E-Film.

 

Einbeziehungsfilme
1. Substratmaterial: PET, PEN, PES, PI, PC, PA, Filme
2. Substratdicke: 15 bis 300 μm
3. Absetzungsmethoden: AC-Reaktive für SiO2 ((Dielektrische); Pulsierte Gleichspannung für ITO (Metall & Leiter)
4- Oxidleiter TCO: ITO, AZO, IZO...
5Metallleiter: Al, Cu, Mo, Ag...
6. Optischer Film: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7- Halbleiter: ZnO, InGaZnO...
8- Isolator: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Einheitlichkeit: ± 5% über das Netz

Der MultiWeb Coater bietet folgende Hauptmerkmale:
A. Eine Kammer, die in mehrerdruckige Zonen unterteilt ist, um verschiedene Ablagerungsquellen aufzunehmen.
B. Multi-Source gleichzeitige Ablagerungsmöglichkeiten in einem Webpass für mehrschichtige Beschichtungen.
C. Umkehrbare Wickelrichtung ermöglicht die Ablagerung unbegrenzter Schichten ohne Bruch des Vakuums.
D. Präzisions-Web-Handling-Mechanismen mit Randführung, um mehrere Durchläufe ohne Ausrichtungsabbau zu ermöglichen (optional)
E. AC-Inverter Web-Antriebssystem zur präzisen Steuerung mehrerer Web-Geschwindigkeiten.
F. Inline-optische und/oder Widerstandsdickenüberwachungssysteme zur präzisen Kontrolle der Ablagerungsdicke und -einheitlichkeit (optional)
G. Die Kammer besteht aus SUS304L-Edelstahl mit geringen Ausgaskomponenten, um ein tieferes Vakuum zu gewährleisten.
H. Vakuumpumpen durch eine Kombination aus Turbomolekülpumpe und Niedertemperatur-Kryogenik, um ein sauberes Vakuum ohne Feuchtigkeit oder Ölverschmutzung zu erzeugen.