Die RTDP36 Öldiffusionspumpe ist die neueste Entwicklungspumpe für extrem hohes Vakuum und große Pumpgeschwindigkeit.
Typische Anwendungen:
Die Diffusionspumpe wird in Vakuumbeschichtungssystemen, optischen Beschichtungsmaschinen, Magnetron-Sputterbeschichtungssystemen, Bogenverdampfungs- und thermischen Verdampfungs-Metallisierungsbeschichtungen eingesetzt.Roll-to-roll Vakuumbeschichtungssystem, Vakuumschmelz- und Trocknungssystem, auch die Vakuumöfen für die Hochtemperaturmetallurgie.
Vorteil:
1- Speziell entworfene Kaltfalleinheit und wassergekühlte Vorrichtung, um eine geringe Ölrückströmungsrate in die Vakuumkammer zu gewährleisten und Beschichtungskontamination zu vermeiden.
2Heizungssystem: Die Heizpatronen sind innen montiert, was den Verlust an Heizenergie stark reduziert und die Aufwärmzeit verkürzt.
3. Pumpenkörpermaterial: Edelstahl 304, die endgültigen Vakuumdruckdaten stark verbessert, wodurch die Ausgasung des Rohmaterials in einer hohen Vakuumdruckumgebung reduziert wird.
4- Kaltfalle: ist mit Kupfermaterial, U-Form-Design, verbessert die Gefrierbereich.
5. Stabil: Arbeitszeit bis 7200 Stunden ohne Unterbrechung;
6Einfache Wartung.
7Hohe Vakuumpummschwindigkeiten im feinen und hohen Vakuumbereich, insbesondere für optische und thermische Verdampfungsbeschichtungssysteme, wobei ein stabiler Vakuumbereich für Basis-/Betriebsvakuumdaten erhalten bleibt.
Technische Daten der RTDP36 Öldiffusionspumpe:
| Artikel | Leistung und Beschreibung |
| Hochvakuumverbindungsflansche | VG900 |
| Vordere Vakuumverbindungsflansche | VG200 |
| Pumpgeschwindigkeit (ohne Kaltfessel) | 38000L/S |
| Pumpgeschwindigkeit (mit Kaltfänger) | 20000L/S |
| Kühlmethode | Kühlwasser recyceln |
| Tatsächliche Pumpgeschwindigkeit (mit Kaltfalle) | >20000L/S |
| Der ultimative Druck | 2.00E-05 Pa |
| Kritischer Gegendruck | 36 Pa |
| Kritischer Gegendruck bei voller Last | 30 Pa |
| Pumpflüssigkeit (Öle, Fett, Schmierstoffe) | LionS/DC705 oderSilikonöl mit hohem Vakuum275# |
| Ölfüllverbrauch | 10 L |
| Pumpölrücksaugdurchfluss mg/cm2.min | <E-5 mg/cm2.min |
| Energieumgebung | 3. Phase380 V±5% 50 Hz±0.2 |
| Heizleistung | 12 KW |
| Kühlwasserverbrauch (L/S) | 14 L/min |
| Aufwärmzeit (min) | 50 Minuten |
| Material der Pumpe | SUS304 |
RTDP36 Pumpgeschwindigkeit (mit Kaltfalle)
RTDP36 Pumpgeschwindigkeit (ohne Kaltfalle)
RTDP36 Öldiffusionspumpen-Layoutmaße
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