Magnetron-Sputter-Deposition-System

  Photoniken spritzen Absetzungs-System für hydrophoben Zusammensetzungs-Film und andere Funktionsfilme

Anwendungen:

Die Maschine RTSP1213 ist ein vorbildliches Spritzensystem der Reihe, verschiedenen harten Beschichtungen der Dosenpfänder, weichen Beschichtungen, Verbundfilme und festen schmierenden Filme auf den metallischen und nicht-metallischen Materialsubstraten. Zugetroffen auf Industrien von Wasserstoff-Brennstoffzellenfahrzeugen, von Photonikprodukten, von Aerospace und von anderen neuen Energiewirtschaften.

Eigenschaften:

Zu die Leitfähigkeit der Oberfläche verbessern;

 Hohe Korrosionsbeständigkeit;

 Hohe Verschleißfestigkeit;

 Hohe Härte

 Hydrophober Zusammensetzungsfilm und andere Funktionsfilme

Verfügbar für Verbundbeschichtungen: metallische und nicht-metallische Filme.

Dickenstrecke von 100nm bis 12μm, Dickentoleranz ±5%
 Haftvermögen.

 Niedrige mildernde Oberflächenverhärtungsbehandlung der Teile.

Art:

Vertikale Orientierung, Polyederstruktur, 2 Türen (Front und Rückseite)

Eigenschaften:

• Umweltfreundliches System, keine Industrieabfallwasser-, -luft- und -lärmbelästigung;
• Einfache Operation: Touch Screen + PLC-Steuerung und einzigartiges Software-Programm für eine Notenoperation, mehr als 80% Fehlersuchewarnung.
• LOGON und Unterstützung bis mit 10 Verarbeitungsrezepten; hohe Wiederholbarkeit und Verschiedenartigkeit.
• Spezieller Entwurf des Karussellsystems für hohe Einheitlichkeit der Filmabsetzung.
• Hohe Produktivität und hohe Qualität
• Stabiles und zuverlässiges System, 365 Tage laufen lassend * 24hrs (Instandhaltung, die Zeit bricht)
• Pumpsystem der Leistungsfähigkeit: kürzeres Vakuumfriedliche Linien für maximale friedliche Geschwindigkeit mit weithin bekannten Europa-Markenpumpen
• Kompaktbauweise besetzen minimalen Installationsraum.

Technische Spezifikationen

• Leistung

1. Entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als PA 8.0*10-5;

• Basieren Sie Vakuumdruck: PA 3.0*10-4

3. Pumpende Stillstandszeit: von ATM zu 1.0×10-3 Pa≤15 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)

4. Absetzungsquelle: ausgeglichen/brachte Spritzenkathoden aus dem Gleichgewicht

5. Funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell

6. Heizung: von der Raumtemperatur bis zum Maximum 450℃,

7. Plasmareinigung und Plasmavorlagenabsetzung: Anoden-lineare Ionenquelle

8. Magnetischer Closed-loop archiviert. (Ungleichgewicht-/Balancenkathoden)

9. Schräge Stromversorgung für die Glühenentladung.

• Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:

1. Unterdruckkammer
1,1 Größe: Innerer Durchmesser 1200mm

Innere Höhe: 1300mm

1,2 Material: Unterdruckkammer SUS304

Tür und Flansche SUS304

Kammer verstärken Struktur: Flussstahl SS41, mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.

Flussstahl der Kammerfahrgestelle SS41 mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.

1,3 Spritzenschild: SUS304

1,4 Ansicht-Fenster: auf Kammertür - 4 Sätze (2 auf jeder Tür)

1,5 Unterdruckkammer-Entlüftungsventil (einschließlich Schalldämpfer)

1,6 Tür: Material SUS304

2. Rohbearbeitungs-Vakuumpumpsystem:

Pumpe der Öldrehschaufel-Vakuumpumpe +Roots +, Pumpe (Leybold) halten

3. Hochvakuum-Pumpsystem:

Magnetische Suspendierungs-molekulare Pumpe (Leybold)

• Schieber - 2 Sätze

4. Elektrischer Touch Screen des Steuer-und Operations-System-PLC+

4,1 Hauptleitungsstromkreis: Kein-Sicherungsunterbrecherschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T in der Reihenart

4,2 Spritzenstromversorgungs- + Ionenquellstromversorgung + schräge Stromversorgung (moderne Energie)

4,3 Spritzenabsetzungskontrollsystem

4,4 Operations-System: Touch Screen + PLC, Rezeptsteuerung und Datenerfassung, Selbstabschaltung, Selbstevakuierung, Selbstbeschichtung

4,5 Messverfahren

Vakuumdruck: Vakuummessgerät: Pirani +, Messgerät einsperrend + Vollvakuummessgerät -- Europa-Marke

Temperaturmessgerät: Thermoelement
Kraftstoffregler: Massenstrom-Prüfer (4 Möglichkeiten), Digitalanzeigenmodus-- Europa-Marke

4,6 Warnungssystem: Druckluftdruck, abkühlender Wasserstrom, Mis-Operation

4,7 Energie-Lasts-Indikator: Spannungsindikator und Lastsstromindikator

5. Absetzungs-System

5,1 Absetzungsquelle: Spritzenkathoden, Ionenquelle -- Europa-Marke

5,2 Absetzungsmaterial: Kohlenstoffziel

6. Subsystem

6,1 Luft-komprimiertes Ventil-Kontrollsystem

6,2 Kühlwasser-System: Wasserstromrohr- und -schalterventilsystem

Umwelt 7.Working

Druckluft: 5~8kg/cm2

Kühlwasser: Wasser-In der Temperatur: 20~25℃, 200 Liter/Minute,
Wasser-Im Druck: 2~3 kg/cm2,

Energie: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, durchschnittliche Leistungsaufnahme: 40KW

Installations-Bereich: (L*W*H) 3000*4000*3200mm

Auspuff: Entlüftung für mechanische Pumpen

Warum wir?

1. Moderne Produktion machineries (mahlend, Schweißen, Schnitt, Vakuumdichtheitsprüfung) kombiniert mit standardisierten Produktionsverfahren und strengen Tests ermöglichen königlicher Technologie, Anstrichsysteme der hohen Qualität, zuverlässiger und niedriger zu produzieren der Kosten.

2. Qualität, Service und pünktliche Lieferung sind die Kernprinzipien des Geschäfts der königlichen Technologie. Eine Strategie von einfache Komponenten öffentlich auslagern zum Fachmann stellt erlaubt uns, Aufmerksamkeit zu den Schlüsselkomponenten und zu Elementen R&D zu fokussieren her und stellt her.

3. Strenge Qualitätskontrollpolitik und rigorose Auswahl von qualifizierten Lieferanten versichert den Kunden der königlichen Technologie empfängt die höchstentwickelten, Spitzenerschwinglichen Kosten der qualitätsausrüstung höchstens.

Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen Gesamtbeschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.

Um die abgeschlossene Broschüre herunterzuladen, klicken Sie bitte hier:  R&d-Vakuumbeschichtungsmaschine - PECVD- + PVD-depositio…