DPC-Maschine zur Vakuumbeschichtung von Keramikstrahlsubstraten

Der DPC-Prozess - Direct Plating Copper ist eine fortschrittliche Beschichtungstechnologie, die in der LED/Halbleiter/elektronischen Industrie angewendet wird.

Cooper-leitfähige Folienablagerung auf Al2O3, AlN, Si, Glassubstraten durch PVD-Vakuumsputtertechnologie im Vergleich zu herkömmlichen Herstellungsmethoden: DBC LTCC HTCC, die Merkmale:

1. viel niedrigere Produktionskosten.

2- hervorragende thermische Leistung und Wärmeübertragung

3- genaue Ausrichtung und Mustergestaltung,

4. hohe Leistungsdichte

5. Gute Haftung und Schweißfähigkeit

Das Royal-Technologie-Team unterstützte unseren Kunden bei der erfolgreichen Entwicklung des DPC-Prozesses mit PVD-Sputtertechnologie.
Aufgrund ihrer fortschrittlichen Leistung werden die DPC-Substrate in verschiedenen Anwendungen weit verbreitet:

Hohe Helligkeit LED, um die lange Lebensdauer aufgrund seiner hohen zu erhöhenWärmestrahlungLeistung, Halbleitergeräte, Mikrowellen-Wireless-Kommunikation, Militärelektronik, verschiedene Sensorsubstrate, Luft- und Raumfahrt, Schienenverkehr, Stromversorgung usw.

Die RTAC1215-SP-Ausrüstung ist ausschließlich für DPC-Prozesse konzipiert, bei denen die Kupferschicht auf Substrate aufgebracht wird.mit Multi-Bogen-Ionenbeschichtung und Magnetron-Sputtertechniken, um einen idealen Film mit hoher Dichte zu erhaltenEs ist der entscheidende Schritt für den Rest-DPC-Prozess.

Hauptmerkmale der Kupfersputtering-Beschichtungsmaschine

1Ausgestattet mit 8 Steuerbogen-Kathoden und DC-Sputter-Kathoden, MF-Sputter-Kathoden, Ion-Quelleinheit.

2Mehrschicht- und Ko-Deposition-Beschichtung verfügbar

3- Ionquelle für die Plasma-Reinigungsvorbehandlung und Ionstrahl-unterstützte Ablagerung zur Verbesserung der Filmhaftung.

4- Keramik/Al2O3/AlN-Substrate Erwärmungseinheit;

5. Rotations- und Umrüstungssystem für die Einseite und die Zweiseite.

Spezifikationen der Kupfersputterbeschichtungsmaschine

Leistung

1. Endvakuumdruck: besser als 5,0 × 10^-6Torr. - Ich weiß.

2Betriebsvakuumdruck: 1,0 × 10^-4Torr. - Ich weiß.

3. Abpumpenzeit: von 1 atm bis 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 Minuten (Zimmertemperatur, trockene, saubere und leere Kammer)

4Metallisierungsmaterial (Spruttering + Bogenverdampfung): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr usw.

5Betriebsmodell: vollautomatisch/halb-automatisch/manuell

Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das nachstehend aufgeführte Schlüsselsystem:

1Vakuumkammer

2. Schleifwasserpumpen (Rückpumpenpaket)

3. Hochvakuumpumpsystem (magnetisch aufgehängte molekulare Pumpe)

4Elektrische Steuerung und Bedienung

5. System der Hilfsmittel (Untersystem)

6. Absetzsystem

Proben

Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.