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| Markenbezeichnung: | ROYAL |
| Modellnummer: | Multi950 |
| MOQ: | 1 Satz |
| Preis: | depends on |
| Zahlungsbedingungen: | L/C,T/T |
| Versorgungsfähigkeit: | 10 Sets pro Monat |
TDie Integration von PVD- und PECVD-Technologien in eine hybride Beschichtungsmaschine bietet eine Reihe von Vorteilen, die zu einer verbesserten Beschichtungsqualität, Vielseitigkeit, Kontrolle, Effizienz und Kosteneinsparungen führen können.Anpassung, und Umweltverträglichkeit.
Die Multi950 ist der Meilenstein der modernen Beschichtungssysteme für Royal Tech.Seine kreative und selbstlose Hingabe sind unbegrenzte Werte und inspirierte unser Team..
Im Jahr 2018 hatten wir eine weitere Projektkooperation mit Pressor Chen, die C-60 Material Ablagerung durch
Wir danken Herrn Yimou Yang und Professor Chen herzlich für die Führung und Anleitung bei jedem innovativen Projekt.
Eigenschaften der Maschine Multi950:
Kompakter Fußabdruck,
Standardmoduläres Design,
Flexibel,
Zuverlässig,
Oktalkammer,
2-Tür-Struktur für einen einfachen Zugang,
PVD + PECVD Verfahren.
Konstruktionsmerkmale:
1Flexibilität: Bogen- und Sputterkatoden, Ionenquellenflanzen sind für einen flexiblen Austausch standardisiert;
2- Vielseitigkeit: kann eine Vielzahl von Unmetallen und Legierungen einlagern; optische Beschichtungen, harte Beschichtungen, weiche Beschichtungen,Zusammengesetzte Filme und feste Schmierfolien auf Metall- und Nichtmetallmaterialien-Substraten.
3- Gerade vorwärts ausgelegt: Zwei-Tür-Struktur, Vorder- und Rückseiteöffnung für eine einfache Wartung.
Die Multi950-Maschine ist ein individuell angepasstes Multi-Funktions-Vakuum-Ablagerungssystem für Forschung und Entwicklung.Wir haben endlich das Design und die Konfiguration bestätigt, um ihre F&E-Anwendungen zu erfüllen.Dieses System ist in der Lage, transparente DLC-Filme mit PECVD-Verfahren, harte Beschichtungen an Werkzeugen und optische Filme mit Sputter-Kathode zu deponieren.Danach haben wir 3 weitere Beschichtungssysteme entwickelt.:
1. Bipolare Plattenbeschichtung für Brennstoffzellenelektrofahrzeuge- FCEV1213,
2. Keramisch direkt beschichtetes Kupfer-DPC1215,
3. Flexibles Sputtersystem - RTSP1215.
Diese 4 Maschinenmodelle sind alle mit Octal-Kammer, flexible und zuverlässige Leistungen sind in verschiedenen Anwendungen weit verbreitet.Es erfüllt die Beschichtungsprozesse erfordern mehrere verschiedene Metallschichten: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS und viele andere nichtferomagnetische Metalle;
Zusätzlich zu der Ion-Quellen-Einheit verbessert der PECVD-Prozess die Filmhaftung an verschiedenen Substratmaterialien durch seine Plasma-Ätzerleistung und legt einige Kohlenstoff-basierte Schichten ab.
Multi950 - technische Spezifikationen
| Beschreibung | Mehrfach-950 |
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Absetzkammer (mm) Breite x Tiefe x Höhe |
1050 x 950 x 1350 |
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Ablagerungsquellen |
1 Paar MF-Sputterkatoden |
| 1 Paar PECVD | |
| 8 Sätze Bogenkathoden | |
| Lineare Ionenquelle | 1 Satz |
| Plasma-Einheitlichkeitszone (mm) | φ650 x H750 |
| Karussell | 6 x φ300 |
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Leistung (KW) |
Abweichungen: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x 36 | |
| Bogen: 8 x 5 | |
| Ionenquelle: 1 x 5 | |
| Gassteuerungssystem | MFC: 4 + 1 |
| Heizungssystem | 500°C, mit PID-Steuerung mit thermischem Paar |
| Hochvakuum-Gatterventil | 2 |
| Turbomolekulare Pumpe | 2 x 2000 L/S |
| Wurzelpumpe | 1 x 300 L/S |
| Rotationspumpen | 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h |
| Fußabdruck (L x W x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| Gesamtleistung (KW) | 150 |
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