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| Markenbezeichnung: | ROYAL TECHNOLOGY |
| Modellnummer: | RT-R2R |
| MOQ: | 1 |
| Preis: | verhandelbar |
| Zahlungsbedingungen: | L/C,T/T |
| Versorgungsfähigkeit: | 4 sets/month |
Ein Roll-to-Roll-Web-Vakuum-Sputtering-System ist eine Art Fertigungsausrüstung, die zur Ablagerung dünner Filme auf ein flexibles Substrat verwendet wird, das kontinuierlich von einer Rolle zur anderen zugeführt wird.Dieses System wird häufig in Industriezweigen wie Elektronik verwendet., Optik und Verpackungen für Anwendungen wie Beschichtungen, Solarzellen und flexible Elektronik.
In diesem System wird eine Vakuumkammer benutzt, um dünne Filme auf ein sich bewegendes Netz aus Material abzulegen.Sputtering ist ein Prozess, bei dem Atome oder Moleküle aus einem festen Zielmaterial ausgestoßen werden, da das Ziel von energetischen Partikeln bombardiert wird.Diese ausgestoßenen Atome oder Moleküle bilden dann einen dünnen Film auf dem Substrat.
Das Roll-to-Roll-Web-Vakuumsputtersystem umfasst typischerweise Komponenten wie:
Vakuumkammer: Hier findet der Sputterprozess unter kontrollierten Vakuumbedingungen statt.
Substratbehandlungssystem: Dieses System steuert die Bewegung des flexiblen Substrats durch den Sputterprozess.
Sputtering-Kathoden mit Metallzielen: Dies sind die Materialien, aus denen Atome oder Moleküle gespritzt werden, um den dünnen Film auf dem Substrat zu bilden.
Stromversorgung: Diese versorgt den Sputterprozess mit der nötigen Energie.
Gasversorgungssystem: Dieses System liefert die benötigten Gase für den Sputterprozess.
Steuerungssystem: Dieses steuert die Prozessparameter wie Ablagerungsrate, Filmmenge und Einheitlichkeit.
Das Roll-to-Roll-Web-Vakuum-Sputtering-System bietet Vorteile wie hohen Durchsatz, Skalierbarkeit und die Fähigkeit, große Flächen mit dünnen Filmen zu beschichten.Es eignet sich für die Massenproduktion von Dünnschichtmaterialien auf flexiblen Substraten.
In einem Roll-to-Roll-Web-Vakuum-Sputtering-System können je nach den gewünschten Eigenschaften und Anwendungen der abgelagerten dünnen Folien verschiedene Arten von Sputterzielen verwendet werden.Einige häufige Arten von Sputterzielen sind::
Metallziele: Sie bestehen aus reinen Metallen oder Metalllegierungen und werden üblicherweise zur Ablagerung von dünnen Metallfolien verwendet.und Edelstahlziele.
Oxidziele: Diese Ziele bestehen aus Metalloxiden und werden für die Ablagerung von Oxid dünnen Filmen verwendet.
Nitridziele: Diese Ziele werden für die Ablagerung von Nitrid dünnen Filmen verwendet.
Silikidziele: Diese Ziele bestehen aus Metallsiliciden und werden zur Ablagerung von Silikiddünnen verwendet.
Sulfidziele: Diese Ziele werden für die Ablagerung von Sulfid dünnen Filmen verwendet.
Zusammengesetzte Ziele: Diese Ziele bestehen aus mehreren Materialien und werden verwendet, um dünne Filme mit spezifischen Eigenschaften abzulegen.Ein Ziel kann eine Kombination aus Metall und Keramik für einzigartige Filmzusammensetzungen sein..
Legierungsziele: Diese Ziele bestehen aus Legierungskompositionen und werden zur Ablagerung von Legierungsdünnfilmen mit spezifischen Eigenschaften verwendet.und Kobaltchromlegierungen (CoCr).
Die Wahl des Sputterzieles hängt von Faktoren wie der gewünschten Filmzusammensetzung, Dicke, Struktur und Eigenschaften ab.Durch die Verwendung verschiedener Arten von Sputterzielen im Roll-to-Roll-Web-Vakuumsputtersystem, kann eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien für verschiedene Anwendungen in Industriezweigen wie Elektronik, Optik, Energie usw. abgelagert werden.
Anwendungen:
elektronische Papiere, flexible Schaltungen, Photovoltaik, medizinische Streifen, RFID (Radiofrequenz-Identifizierung) und Low-E-Film, ITO-Dünnfolienbeschichtungen
Roll-to-Roll (R2R) Sputterablagerverfahren bieten eine vielseitige und skalierbare Methode zur kontinuierlichen Ablagerung dünner Folien auf flexible Substrate.
Diese Technologie findet aufgrund ihrer Fähigkeit, große Flächen mit hohen Geschwindigkeiten mit dünnen Filmen verschiedener Materialien zu beschichten, eine breite Palette von Anwendungen in verschiedenen Branchen.
Einige häufige Anwendungen von R2R-Websputtering-Deposition sind:
Flexible Elektronik: R2R-Websputtering wird häufig bei der Herstellung von flexiblen elektronischen Geräten wie flexiblen Displays, RFID-Tags, Smartcards und tragbaren Elektronik eingesetzt.Es ermöglicht die Ablagerung von Dünnschichttransistoren, leitfähige Elektroden und Barrierelagen auf flexiblen Substraten.
Solarzellen: Dünnschicht-Solarzellen profitieren vom R2R-Websputtering zur Ablagerung von Halbleiter- oder Absorberschichten wie amorphem Silizium, Cadmium-Tellurid und
Diese Technologie ermöglicht eine kostengünstige und leistungsstarke Herstellung von dünnschichtigen Photovoltaikgeräten.
Barrierefolien: R2R-Websputtering wird verwendet, um Barrierefolien mit hervorragenden Gasbarriere-Eigenschaften auf flexiblen Substraten abzulegen, um empfindliche Materialien vor Feuchtigkeit, Sauerstoff,und andere UmweltfaktorenDiese Barrierefolien finden Anwendungen in Verpackungen, Elektronik und Displays.
Dekorative Beschichtungen: R2R-Sputterablagerung wird bei der Herstellung von Dekorationsbeschichtungen auf flexiblen Substraten für Anwendungen in der Automobilveredelung, in der Unterhaltungselektronik,und ArchitekturglasMaterialien wie Metallschichten, Oxidbeschichtungen und mehrschichtige Interferenzbeschichtungen können mit dieser Technik aufgebracht werden.
Flexible Sensoren: R2R-Websputtering ermöglicht die Ablagerung von Dünnschicht-Sensorelementen auf flexible Substrate für Anwendungen in tragbaren Sensoren, Gesundheitsgeräten und IoT-Anwendungen.Sensoren wie Temperatursensoren, Feuchtigkeitssensoren und Gassensoren können mit dieser Technologie hergestellt werden.
Optische Filme: R2R-Sputterung wird zur Ablagerung optischer Beschichtungen auf flexible Substrate für Anwendungen in Reflexbeschichtungen, reflektierenden Beschichtungen, optischen Filtern,und Farbfilter für Displays, Linsen und optische Geräte.
Integrierung von gedruckter Elektronik: R2R-Websputtering kann mit gedruckten Elektronikprozessen integriert werden, um hybride Geräte mit gedruckten und gesputzten Komponenten zu erstellen.
Diese Integration ermöglicht die Herstellung kostengünstiger und funktioneller elektronischer Geräte auf flexiblen Substraten.
Insgesamt eignet sich die Vielseitigkeit und Skalierbarkeit der R2R-Websputtering-Depositionstechnologie für eine Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Elektronik, Energie, Verpackung, Optik,und Sensoren, wenn dünne Folien auf flexiblen Substraten erforderlich sind.
R2R-Maschinenlayout
| Der MultiWeb Coater bietet folgende Hauptmerkmale: | ||||||||
| A. Eine Kammer, die in mehrerdruckige Zonen unterteilt ist, um verschiedene Ablagerungsquellen aufzunehmen. | ||||||||
| B. Multi-Source gleichzeitige Ablagerungsmöglichkeiten in einem Webpass für mehrschichtige Beschichtungen. | ||||||||
| C. Umkehrbare Wickelrichtung ermöglicht die Ablagerung unbegrenzter Schichten ohne Bruch des Vakuums. | ||||||||
| D. Präzisions-Web-Handling-Mechanismen mit Randführung, um mehrere Durchläufe ohne Ausrichtungsausfall zu ermöglichen (optional) | ||||||||
| E. AC-Inverter Web-Antriebssystem zur präzisen Steuerung mehrerer Web-Geschwindigkeiten. | ||||||||
| F. Inline-optische und/oder Widerstandsdickenüberwachungssysteme zur präzisen Kontrolle der Ablagerungsdicke und -einheitlichkeit (optional) | ||||||||
| G. Die Kammer besteht aus SUS304L-Edelstahl mit niedrigen Ausgaskomponenten zur Sicherung eines tieferen Vakuums. | ||||||||
| H. Vakuumpumpen durch eine Kombination aus Turbomolekülpumpe und Niedertemperatur-Kryogenik zur Bereitstellung eines sauberen Vakuums ohne Feuchtigkeit oder Ölverschmutzung. | ||||||||
| Einbeziehungsfilme | ||||||||
| 1Substratmaterial: PET, PEN, PES, PI, PC, PA, TAC... Filme | ||||||||
| 2. Substratdicke: 15 bis 300 μm | ||||||||
| 3. Absetzungsmethoden: AC-Reaktive für SiO2 ((Dielektrische); Pulsierte Gleichspannung für ITO (Metall & Leiter) | ||||||||
| 4- Oxidleiter TCO: ITO, AZO, IZO... | ||||||||
| 5Metallleiter: Al, Cu, Mo, Ag... | ||||||||
| 6. Optischer Film: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2... | ||||||||
| 7Halbleiter: ZnO, InGaZnO... | ||||||||
| 8- Isolator: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx... | ||||||||
| 9Einheitlichkeit: ± 5% über das Netz | ||||||||
| Allgemeine Angaben | ||||||||
| Vakuumkammerkörper: Einkammer-Mehrdruckzonen | ||||||||
| Bewegliche Wagen: Webwagen | ||||||||
| Deposionszone: 2 X Sputterzone (optional: 3 Sputterzone) | ||||||||
| Sputterquelle: 2 X Dual-Kathoden-Sputterquelle (optional: 3 Dual-Kathoden-Sputterquelle) | ||||||||
| Substratvorbehandler: Lineare Ionenquelle | ||||||||
| Webebreite: 1300 mm | ||||||||
| Durchmesser der Wicklung: Φ600 mm Max. | ||||||||
| Wickelrichtung: in zwei Richtungen | ||||||||
| Substratdicke: 15 bis 300 μm | ||||||||
| Geschwindigkeit der Weblinie:0.5~10M/min | ||||||||
| Spannung des Netzwerks: 5,0PLI Max 0,5PLI Min. | ||||||||
| Ausrichtung der Seiten: ±3 mm (ein Durchgang) | ||||||||
| Hochvakuumpumpe: Turbopumpe | ||||||||
| Rohvakuumpumpe: Trockenpumpe und Bläserkombination | ||||||||
| Feuchtigkeitspumpe: Polykold-Kryogen | ||||||||
| Kontrolle der Ablagerungsdicke: Überwachung (optional) | ||||||||
| a: Übertragung optisch; b: Eddy-Stromwiderstand | ||||||||
| Systembetrieb: PLC-basierter Computerbetrieb | ||||||||
| - Was ist das? | ||||||||
| Die Vakuumkammer ist als horizontale Schachtel aus poliertem SUS304L-Edelstahl ausgestattet, mit fläschigen Öffnungen an einem Ende.Der unteren Abschnitt der geteilten Zone enthält die Ablagerungsquelle mit Zubehör, während der obere Teil die Webkarre aufnimmt. | ||||||||
| Konstruktion der Kammer: Horizontale Box mit einer Flanschöffnung | ||||||||
| Struktur der Kammer: Einzelkammer-Mehrdruckzone | ||||||||
| Raumrahmen: SS41 Leichtstahl, lackiert | ||||||||
| Material der Kammer: SUS304L Polierstahl | ||||||||
| Druckzonenteiler: Aluminiumplatte | ||||||||
| Siehe Hafenmaterial: Polycarbonat | ||||||||
| Vakuumdruckzonen: 4 (1 Wickelzone, 2 Ablagerungszonen, 1 Pufferzone) |
Verteilung der Sputterkatoden
Unser Team von erfahrenen Technikern bietet überlegene technische Unterstützung und Service für unsere Roll to Roll Coating Machine.
Wir sind bereit, alle Fragen oder Anliegen zu beantworten, die Sie über die Maschine und ihren Betrieb haben.und kann Expertenberatung zur Gewährleistung der besten Leistung der Maschine geben.
Wir bieten auch eine präventive Wartung und Notfalldienste für Ihre Roll-to-Roll-Beschichtungsmaschine.Unsere Techniker haben Zugang zu den neuesten Technologien und Ausbildung, um sicherzustellen, dass Ihre Maschine optimal funktioniertAußerdem bieten wir vor Ort Schulungen und technische Unterstützung für die Maschine sowie Ersatzteile und Zubehör an.
Wir bemühen uns, den höchsten Kundenservice und die höchste Kundenzufriedenheit zu bieten, und wir sind bestrebt, sicherzustellen, dass Ihre Roll-to-Roll-Beschichtungsmaschine jedes Mal ein qualitativ hochwertiges Produkt liefert.Wenn Sie Fragen oder Bedenken habenBitte zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren.
