Überzug-Maschine des Aluminiumoxyd-Kupfer-PVD, Verkupferung PVD auf keramischen Blättern, kupfernes Absetzungs-System

                     Aluminiumoxyd-Verkupferungs-Maschine, Verkupferung PVD auf keramischen Blättern,  

Schlüsselwörter: Verweisen Sie überzogenes Kupfer, DPC, keramische Verkupferung, harte Beschichtungen PVD, PECVD-Prozess, DLC-Film, Diamant wie Kohlenstoff-Film, optischer Film Spritzens, Gencoa-Magnetron-Spritzenkathode, Ionenquelle, PA PVD

RTAC950-SP Ausrüstungsbeschreibungen:

• Flexibilität: bilden Sie einen Bogen und spritzen Sie Quellen, lineare Ionenquellgeräte, das Befestigungsflansche für flexiblen Austausch standardisiert werden
• Vielseitigkeit: verfügbar für Ablagerungsvielzahl von unedlen Metallen und Legierungen, optische Beschichtungen und harte Beschichtungen, weiche Beschichtungen. Verbundfilme und feste schmierende Filme auf den metallischen und nicht-metallischen Materialsubstraten
• Direkter Entwurf: 2 Klappenstruktur, Front und hintere Öffnung für einfache Wartung

Technische Spezifikationen

• Leistung

1. Entscheidender Vakuumdruck: verbessern Sie als PA 8.0*10-4;

• Basieren Sie Vakuumdruck: PA 3.0*10-2

3. Pumpende Stillstandszeit: von ATM zu 1.0×10-3 Pa≤15 Minuten (die Raumtemperatur, trocken, säubern und leeren Kammer)

4. Absetzungsquelle: Gencoa-Magnetronspritzenkathoden, gelenkte Bogenkathoden, Ionenquelle

5. Funktionierendes Modell: Volles automatisch /Semi-Auto/ manuell

6. Heizung: von der Raumtemperatur bis zum Maximum 500℃,

9. Ionenquelle für PECVD- und PApvd Prozess.

• Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das Schlüsselabgeschlossen System, das nachstehend aufgeführt wird:

1. Unterdruckkammer
1,1 Größe: Innere Tiefe 950mm

Innere Höhe: 1350mm

1,2 Material: Unterdruckkammer SUS304

Tür und Flansche SUS304

Kammer verstärken Struktur: Flussstahl SS41, mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.

Flussstahl der Kammerfahrgestelle SS41 mit gemalter beendender Oberflächenbehandlung.

1,3 Kammer-Schild: SUS304

1,4 Ansicht-Fenster: auf Kammertüren -2

1,5 Unterdruckkammer-Entlüftungsventil (einschließlich Schalldämpfer)

1,6 Tür: 2 Sätze, Front und Rückseite, Material SUS304

2. Rohbearbeitungs-Vakuumpumpsystem:
Öldrehschaufel-Vakuumpumpe +, Pumpe halten

3. Hochvakuum-Pumpsystem:

Molekulare Pumpe Turbos - 2 Sätze

4. Elektrisches Note ScreenOperations-System des Steuer-und Operations-System-PLC+:

Lieferanten:

PLC: Mitsubishi, Modell: REIHE FX-IN60MR-001

Elektronische Bauelemente: SCHNEIDER, OMRON.

Sicherheits-schützendes System: Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen, zum von Betreibern und von Ausrüstung (Wasser, gegenwärtiges Gas, Temperatur etc.) zu schützen

Beschichtungsverfahren-System: Prozessautomatisierung u. Steuerung. Automatisch gespeichert im Gedächtnis für 3 Monate. Gekennzeichnete beschichtende Rezeptdaten: Zieloperationsstrom/Spannung, Massenstrom, Vakuumdruck, Temperatur, beschichtende Zeiten werden gespeichert, damit eine Analyse die Beschichtungsqualität erhöht.

4,1 Hauptleitungsstromkreis: Kein-Sicherungsunterbrecherschalter, elektromagnetischer Schalter, C/T in den Reihen schreiben

4,2 Stromversorgung: Mf-Spritzen Energie + DC-Bogenenergie + schräge Stromversorgung

4,3 Absetzungskontrollsystem

4,4 Operations-System: Touch Screen + PLC, Rezeptsteuerung und Datenerfassung, Selbstabschaltung, Selbstevakuierung, Selbstbeschichtung

4,5 Messverfahren

Vakuumdruck: Vakuummessgerät: Pirani +, Messgerät einsperrend + Vollvakuummessgerät -- Europa-Marke

Temperaturmessgerät: Thermoelement
Kraftstoffregler: Massenstrom-Prüfer (4 Möglichkeiten),

4,6 Warnungssystem: Druckluftdruck, abkühlender Wasserstrom, Mis-Operation

4,7 Energie-Lasts-Indikator: Spannungsindikator und Lastsstromindikator

5. Absetzungs-System

5,1 Absetzungsquelle: Bogenquellen Spritzenscathodes+ + Ionenquelle

5,2 Absetzungsmaterial: ITO, Titan, Chrome, Aluminium, Edelstahl, TiAl etc.

6. Subsystem

6,1 Luft-komprimiertes Ventil-Kontrollsystem

6,2 Kühlwasser-System: Wasserstromrohr- und -schalterventilsystem

7. Arbeitsbereich

Druckluft: 5~8kg/cm2

Kühlwasser: Wasser-In der Temperatur: 20~25℃, 200 Liter/Minute,
Wasser-Im Druck: 2~3 kg/cm2,

Energie: 3 Phase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, durchschnittliche Leistungsaufnahme: 60KW

Installations-Bereich: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Auspuff: Entlüftung für mechanische Pumpen

Anwendungen

Treten Sie mit uns bitte für mehr Spezifikationen, königliche Technologie wird geehrt, um Ihnen Gesamtbeschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen in Verbindung.