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Schließfeld-ungleichgewichtiges Magnetron-Sputtersystem

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2025-02-11
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#magnetron sputtering machine #vacuum deposition equipment #magnetron sputtering equipment
Ungleichgewichte und geschlossene Feldmagnetronprozesse haben alle Vorteile von planaren Magnetronen. Zusätzliche Ionenbombardierung führt zu dichten, anhängenden Filmen Ionenunterstützung und ... Ansicht mehr
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