DLC-C Ta Kohlenstoff-Tantal-Spritzenabsetzungs-System

Magnetron-Sputtering wird häufig verwendet, um feuerfeste Metalle wie Tantal, Titan, Wolfram zu deponieren,Niob, für das eine sehr hohe Ablagerungstemperatur erforderlich wäre, und Edelmetalle: Gold und Silber und die auch zur Ablagerung von niedrigeren Schmelzpunkten von Metallen wie Kupfer, Aluminium, Nickel, Chrom usw. verwendet wird.

Tantal wird am häufigsten in der elektronischenIndustrieals Schutzbeschichtung aufgrund seiner guten Erosionsbeständigkeit.

Anwendungen von Sputter-Tantal-Dünnfolie:
1- die Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesprutzt werden können und somit die Widerstandsfähigkeit und der Temperaturkoeffizient des Widerstands kontrolliert werden können;

2. Medizinische Geräte wie Körperimplantate wegen ihrer hohen Biokompatibilität;
3. Beschichtungen von korrosionsbeständigen Teilen wie Thermowellen, Ventilkörpern und Befestigungsmaterialien;
4. Sputtered Tantal kann auch als eine wirksame Korrosionsbeständigkeit Barriere verwendet werden, wenn die Beschichtung kontinuierlich, defekt ist und an dem Substrat haften ist.

Technische Vorteile

1. Es wird ein standardisierter Wagen verwendet, der das einfache und sichere Be- und Entladen der Substrathalter und Werkstücke in/aus der Ablagerungskammer ermöglicht.
2. Das System ist sicher verriegelt, um einen unsachgemäßen Betrieb oder unsichere Praktiken zu verhindern.
3. Die Substratheizungen sind in der Mitte der Kammer montiert, PID-gesteuert Thermoelement für hohe Genauigkeit, um die Kondensfilmbindung zu verbessern
4. Starke Vakuumpumpenkonfigurationen mit magnetisch suspendierter Molekülpumpe über ein mit der Kammer verbundenes Torventil; mit Leybold's Wurzelpumpe und zweistufigem Rotationsschieferpumpe, mechanischer Pumpe.
5. Bei diesem System wird eine hochenergetische ionisierte Plasmaquelle eingesetzt, um die Gleichförmigkeit und Dichte zu gewährleisten.
   
   
   

Standardisiertes Tantal-Sputter-Deposition-System von Royal Technology: RTSP1000

Insitate:

Bauzeit: 2018

Standort: China

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