Elektronische Leiterplatten Kupferdeposition Maschine / Elektronik-Chips Magnetron Sputtering System

Elektronik Cooper Sputtering System / Militärische Elektronik Chips direkt beschichtete Kupfer Sputtering Ausrüstung

Cooper Magnetron Sputtering BeschichtungsanlageMilitärische Elektronik

Der DPC-Prozess - Direct Plating Copper ist eine fortschrittliche Beschichtungstechnologie, die in der LED/Halbleiter/elektronischen Industrie angewendet wird.

Cooper-leitfähige Folienablagerung auf Al2O3, AlN, Si, Glassubstraten durch PVD-Vakuumsputtertechnologie im Vergleich zu herkömmlichen Herstellungsmethoden: DBC LTCC HTCC, die Merkmale:

1. viel niedrigere Produktionskosten.

2- hervorragende thermische Leistung und Wärmeübertragung

3- genaue Ausrichtung und Mustergestaltung,

4. hohe Leistungsdichte

5. Gute Haftung und Schweißfähigkeit

Das Royal-Technologie-Team unterstützte unseren Kunden bei der erfolgreichen Entwicklung des DPC-Prozesses mit PVD-Sputtertechnologie.
Aufgrund ihrer fortschrittlichen Leistung werden die DPC-Substrate in verschiedenen Anwendungen weit verbreitet:

Hohe Helligkeit LED, um die lange Lebensdauer zu erhöhen, wegen seiner hohen Wärme-Strahlung Leistung, Halbleiter-Ausrüstung, Mikrowellen-Wireless-Kommunikation, Militärelektronik,mit einer Breite von mehr als 20 mm,, Luft- und Raumfahrt, Schienenverkehr, Strom usw.

Die RTAC1215-SP-Ausrüstung ist ausschließlich für DPC-Prozesse konzipiert, bei denen die Kupferschicht auf Substrate aufgebracht wird.mit Multi-Bogen-Ionenbeschichtung und Magnetron-Sputtertechniken, um einen idealen Film mit hoher Dichte zu erhaltenEs ist der entscheidende Schritt für den Rest-DPC-Prozess.

Hauptmerkmale der Kupfersputtering-Beschichtungsmaschine

1Ausgestattet mit 8 Steuerbogen-Kathoden und DC-Sputter-Kathoden, MF-Sputter-Kathoden, Ion-Quelleinheit.

2Mehrschicht- und Ko-Deposition-Beschichtung verfügbar

3- Ionquelle für die Plasma-Reinigungsvorbehandlung und Ionstrahl-unterstützte Ablagerung zur Verstärkung der Filmhaftung.

4- Keramik/Al2O3/AlN-Substrate Erwärmungseinheit;

5. Rotations- und Umrüstungssystem für die Einseite und die Zweiseite.

Spezifikationen der Kupfersputterbeschichtungsmaschine

Leistung

1. Endvakuumdruck: besser als 5,0 × 10^-6Torr. - Ich weiß.

2Betriebsvakuumdruck: 1,0 × 10^-4Torr. - Ich weiß.

3. Abpumpenzeit: von 1 atm bis 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 Minuten (Zimmertemperatur, trockene, saubere und leere Kammer)

4Metallisierungsmaterial (Spruttering + Bogenverdampfung): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr usw.

5Betriebsmodell: vollautomatisch/halb-automatisch/manuell

Struktur

Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das nachstehend aufgeführte Schlüsselsystem:

1Vakuumkammer

2. Schleifwasserpumpen (Rückpumpenpaket)

3. Hochvakuumpumpsystem (magnetisch aufgehängte molekulare Pumpe)

4Elektrische Steuerung und Bedienung

5. System der Hilfsmittel (Untersystem)

6. Absetzsystem

Kupferplattierungsproben

Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.

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