Der RT-CsI950 ist unsere 3. aktualisierte Generation, die auf den Modellen CsI950 und CsI950A+ basiert.
Die Anlage ist ausschließlich für die CsI-Metallisierung auf Szintillationsschirmen in einer extrem hohen Vakuumumgebung ausgelegt.Die CsI-Szintillatoren 200 ~ 600 µm in Dickenbereichen mit hoher Gleichmäßigkeit der Dicke und Helligkeitsleistung.
Anwendung:für Sicherheitskontrollen und -inspektionen, Hochenergiephysikunterricht, Kernstrahlungserkennung und medizinische Bildgebung: Brustuntersuchung, Mamographie, zahnärztliche Interoral- und Panoramaaufnahmen.
Angewandte Substrate:TFT-Glas, Faseroptikplatte, Platte aus amorphem Kohlenstoff, Aluminiumplatte
Vorteile:
- Kompaktes Design, bequemer für den Umzug;
-- Mehr Energieeinsparung für niedrigere Produktionskosten;
-- Qualifizierte Ingenieure mit über 20 Jahren technischer Erfahrung im Vakuum, um das System zu entwerfen und zu bauen
Technische Vorteile
1. Hohe Effizienz
-Doppelte Kapazität für max.Größe Substrat: 500 x400 mm.
2. Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit
-Durch hochpräzises Parameterkontrollsystem,
-Automatisierte Prozesssteuerungssoftware und -programm,
-Benutzerfreundliche Bedienung.
3. Zuverlässigkeit
-24/7 Tage Non-Stop-Betrieb;
-Inficon Film Thickness Controller zur Inline-Überwachung der Filmdicke.
-Temperaturregelgenauigkeit: ±1 ℃, mehrstufige Einstellung, automatische Temperaturdatenaufzeichnung und -steuerung
-Drehgestelle mit Servomotor für hohe Genauigkeit und Stabilität.
4. Sicherheit
-Hochvakuumpumpe: Magnetsuspensions-Molekularpumpe mit Stickstoffgas-Blasvorrichtung, um zu vermeiden, dass Gefahrstoffe in die Luft gelangen;
-Alle Elektroden sind mit Sicherheitsschutzhüllen ausgestattet.
Technische Spezifikationen
| Beschreibung | RT-CsI950 |
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Abscheidekammer (mm)
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φ950 x H1350 | φ800 x H800 |
| Kapazität | 2 | 1 |
| Verdunstungsquellen | 2 | 4 |
| Trocken und Feuchtigkeit |
Jod-Wolframlampe max.300℃ |
Jod-Wolframlampe max.200℃ |
| Endvakuumdruck (Pa) | 8,0 × 10 –5 Pa | 5,0 × 10 –4 Pa |
| Controller für die Schichtdicke der Abscheidung | Quarzsteuerung x 1 |
KEINER
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| Leistungsaufnahme (KW) |
max.ca.50 Durchschnitt ca.20 |
max.ca.20 Durchschnitt ca.10 |
| Stellfläche (L*B*H) | 3000*2150*2100mm | 1800*2300*2100mm |
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Betriebs- und Kontrollsystem
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CE-Norm Mitsubishi PLC+ Touchscreen Betriebsprogramm mit Backup |
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Zusätzlich zur RT-CsI950-Ausrüstung bieten wir auch seine Nachbearbeitungsmaschinen an, mit denen eine Schutzschicht auf der Oberseite des CsI-Films erzeugt werden kann.
-- RTEP800, das die thermische Verdampfungsbeschichtungstechnologie verwendet.
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology fühlt sich geehrt, Ihnen komplette Beschichtungslösungen anbieten zu können.
