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| Markenbezeichnung: | ROYAL |
| Modellnummer: | RTAC1215-SP |
| MOQ: | 1 Satz |
| Preis: | verhandelbar |
| Versorgungsfähigkeit: | 6 Sätze pro Monat |
Ni-PVD-Sputterbeschichtungsanlage, Cr-Vakuummetallisierungsanlage, Sn-/Ag-Vakuumbeschichtungsanlage, Kupferbeschichtungsanlage
Ausrüstungsstruktur:
Die RTAC1215-SP-Maschine ist ein Oktkaltyp, der aus Vakuumpumpen, einer Vakuumkammer mit 8 Bogenkathoden, 1 linearen Ionenquelle, 2 Sätzen DC-Sputterkathoden und 1 Paar MF-Sputterkathoden besteht.Die an der Ionenquelle und den Sputterkathoden montierten Flansche sind standardisiert und können je nach Bedarf des Beschichtungsprozesses flexibel ausgetauscht werden.
Anwendungen:
1. DPC-Industrie für keramische Dichtungsteile, DPC-Prozess, Kupfer-PVD-Sputtersystem, LED-Keramikchips mit Cooper-Überzug, Al2Ö3, AlN-Keramik-Leiterplatten, Al2O3-Platten auf LED, Halbleiter
2. Silber, Ni, Chrom, Gold, Aluminium, In, Sn usw. Metallfilme und TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN usw.
Vorteile:
1. Kostengünstige Produktion
2. Humanisierung des Arbeitsplatzes (ergonomische Gestaltung des Arbeitsplatzes, Minimierung von Platz, Lärm und Unfallgefahr)
3. Ertrag von hoher Qualität.
4. Starke Haftung mit leistungsstarker Aufheizvorrichtung und Reinigung der Plasmaquelle;
5. Kompaktes Design und mit einfachem Zugang für Upgrade- und Wartungsarbeiten.
6. Vollständige Automatisierung, PLC+Touch Screen, One-Touch-Steuerungssystem.
7. Hohe Effizienz bei weniger Stromverbrauch, max.50 % Produktionskosteneinsparung.
Technische Spezifikationen:
1. Endvakuumdruck: besser als 9,0 * 10-5Pa;
3. Abpumpzeit: von atm bis 1,0 × 10-3Pa≤15 Minuten (Raumtemperatur, trockene, saubere und leere Kammer)
4. Abscheidungsquelle: Gencoa-Magnetron-Sputterkathoden, gesteuerte Lichtbogenkathoden, Ionenquelle
5. Betriebsmodell: Vollautomatisch / Halbautomatisch / Manuell
6. Heizung: von Raumtemperatur bis max.500℃,
9. Ionenquelle für PECVD- und PA-PVD-Prozess.
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das unten aufgeführte Schlüsselsystem:
1. Vakuumkammer
1.1 Größe: Innendurchmesser: 1200 mm
Innenhöhe: 1500 mm
1.2 Material: Vakuumkammer SUS304
Tür und Flansche SUS304
Kammerverstärkungsstruktur: Weichstahl SS41, mit lackierter Oberflächenbehandlung.
Kammerchassis SS41 Weichstahl mit lackierter Oberflächenbehandlung.
1.3 Kammerschild: SUS304
1.4 Sichtfenster: 2 an der Tür
1.5 Vakuumkammer-Entlüftungsventil (einschließlich Schalldämpfer)
1.6 Tür: Material SUS304
2. Schrupp-Vakuumpumpsystem:
Öl-Drehschieber-Vakuumpumpe + Haltepumpe
Molekularpumpe mit Magnetsuspension - 2 Sätze
4. Elektrische Steuerung und Betriebssystem- PLC+ TouchscreenBetriebssystem:
Lieferanten:
SPS: Mitsubishi + Touchscreen (hergestellt in China)
Elektronische Komponenten: SCHNEIDER, OMRON.
Sicherheitsschutzsystem:Zahlreiche Sicherheitsverriegelungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstung (Wasser, Stromgas, Temperatur usw.)
Beschichtungsverfahren System: Prozessautomatisierung und -steuerung.
4.1 Hauptstromkreis: Trennschalter ohne Sicherung, elektromagnetischer Schalter, C/T in Reihenschaltung
4.2 Stromversorgung: DC/MF-Sputterleistung + DC-Lichtbogenleistung + Vorspannungsversorgung
4.3 Ablagerungskontrollsystem
4.4 Betriebssystem: Touchscreen + SPS, Rezeptsteuerung und Datenprotokollierung, automatische Abschaltung, automatische Evakuierung, automatische Beschichtung
4.5 Messsystem
Vakuumdruck: Vakuummeter: Pirani + Penning-Manometer + Vollbereichs-Vakuummeter - europäische Marke
Temperaturmessgerät: Thermoelement
MFC: Massendurchflussregler (4 Wege),
4.6 Alarmsystem: Druckluft, Kühlwasserfluss, Fehlbedienung
4.7 Power Load Indicator: Spannungsanzeige und Laststromanzeige
5.Hinterlegungssystem
5.1 Abscheidungsquelle: Sputterkathoden + Lichtbogenquellen + Ionenquelle
5.2 Abscheidungsmaterial: Kupfer, Aluminium, Chrom, Silber, Gold, SS, Titan usw.
6.Teilsystem
6.1 Steuersystem für Druckluftventile
6.2 Kühlwassersystem: Wasserdurchflussleitung und Schaltventilsystem
Druckluft: 5~8kg/cm2
Kühlwasser: Wassereintrittstemperatur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Wassereinlassdruck: 2~3 kg/cm2,
Leistung: 3 Phasen 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, durchschnittlicher Stromverbrauch: 60 kW
Installationsbereich: (L*B*H)4400*3200*2950mm
Auspuff: Entlüftung für mechanische Pumpen
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology unterstützt Sie mit umfassenden Beschichtungslösungen.
