DC-Reinmetall-Magnetron-Sputter-Abscheidungsmaschine, Kupfer / Silber / Gold / Graphit-Ultradünnfilm-Abscheidungsmaschine
Leistung
1. Endvakuumdruck: besser als 5,0 × 10-6Torr.
2. Betriebsvakuumdruck: 1,0 × 10-4Torr.
3. Abpumpzeit: von 1 atm bis 1,0 × 10-4Torr≤ 3 Minuten (Raumtemperatur, trockene, saubere und leere Kammer)
4. Metallisierungsmaterial (Sputtern + Lichtbogenverdampfung): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr usw.
5. Betriebsmodell: Vollautomatisch / Halbautomatisch / Manuell
Struktur
Die Vakuumbeschichtungsmaschine enthält das unten aufgeführte Schlüsselsystem:
1. Vakuumkammer
2. Grobvakuumpumpsystem (Vorpumpenpaket)
3. Hochvakuumpumpsystem (Molekularpumpe mit Magnetsuspension)
4. Elektrische Steuerung und Betriebssystem
5. Hilfsanlagensystem (Teilsystem)
6. Hinterlegungssystem
Hauptmerkmale der Kupfer-Sputter-Beschichtungsmaschine
1. Ausgestattet mit 8 Lenkbogenkathoden und DC-Sputterkathoden, MF-Sputterkathoden, Ionenquelleneinheit.
2. Mehrschicht- und Co-Deposition-Beschichtung erhältlich
3. Ionenquelle für Plasmareinigungsvorbehandlung und ionenstrahlunterstützte Abscheidung zur Verbesserung der Filmhaftung.
4. Aufheizeinheit für Keramik-/Al2O3/AlN-Substrate;
5. Substratrotations- und Revolutionssystem, für 1-seitige Beschichtung und 2-seitige Beschichtung.
Cooper Magnetron-Sputterbeschichtungsanlage auf keramischem Strahlungssubstrat
Das DPC-Verfahren – Direct Plating Copper – ist eine fortschrittliche Beschichtungstechnologie, die in der LED-/Halbleiter-/Elektronikindustrie angewendet wird.Eine typische Anwendung ist das keramische Strahlungssubstrat.
Cooper-Leitfilmabscheidung auf Al2O3-, AlN-Substraten durch PVD-Vakuum-Sputtering-Technologie im Vergleich zu herkömmlichen Herstellungsverfahren: DBC LTCC HTCC, viel niedrigere Produktionskosten sind seine herausragenden Merkmale.
Das Royal-Technologieteam unterstützte unseren Kunden bei der erfolgreichen Entwicklung des DPC-Prozesses mit der PVD-Sputtertechnologie.
Die RTAC1215-SP-Maschine wurde ausschließlich für die Kupferleitfilmbeschichtung auf Keramikchips und Keramikleiterplatten entwickelt.
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology fühlt sich geehrt, Ihnen komplette Beschichtungslösungen anbieten zu können.
