| Markenbezeichnung: | ROYAL |
| Modellnummer: | RTSP |
| MOQ: | 1 Satz |
| Versorgungsfähigkeit: | 10 Sets pro Monat |
Tantal-PVD-Sputter-Beschichtungsmaschine, Tantalfolien, die durch Gleichstrommagneton-Sputter abgelegt werden, PVD-Tantalplattierung
Tantal wird aufgrund seiner guten Erosionsbeständigkeit in der Elektronikindustrie und als Schutzbeschichtung in vielen Branchen am häufigsten verwendet.
Tantalfilme mit Sputtern werden in der
1- die Mikroelektronikindustrie, da die Filme reaktiv gesprutzt werden können und so die Widerstandsfähigkeit und der Temperaturkoeffizient des Widerstands kontrolliert werden können;
2Medizinische Geräte wie Körperimplantate wegen ihrer hohen Biokompatibilität;
3- Beschichtungen von korrosionsbeständigen Teilen wie Thermowellen, Ventilkörpern und Befestigungsmaterialien;
Sputtered Tantal kann auch als eine wirksame Korrosionsbeständigkeit Barriere verwendet werden, wenn die Beschichtung kontinuierlich, defekt ist und an dem Substrat haften ist.
RTAS1000 Technische Vorteile
1. Plug-in Integriertes Konstruktionssystem für schnelle Installation
2. Siemens PLC,CPU; mit industrieller PC-Betriebs- und Steuerungshardware
3- Verfügbar für Fernüberwachung und Diagnose.
4. Flexibel, bereit zum Upgrade
5Mehrere Kathoden für eine schnelle Ablagerungsgeschwindigkeit
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Weitere Vorteile der Maschine:
Robustes Design, stabile Qualität, schneller Zyklus, schnelle Zykluszeit, hohe Ablagerungsgeschwindigkeit
| Hauptkonfigurationen | |
| Modell | RTAS1000 |
| Technik | Gleichstrom-Magnetron-Sputtering + Kathodenbogenplattierung |
| Das Material der Kammer | Edelstahl (S304) |
| Größe der Kammer | Φ1000*1000mm (H) |
| KAMMERTYPE | D-Form, Zylinderkammer |
| Rotationsrack und JIG-System | Satellitenantrieb oder zentrales Antriebssystem |
| Stromversorgung | Gleichsputterstromversorgung: 2~4 Sätze Bias-Stromversorgung: 1 Satz Bogenstromversorgung: 11 Sätze |
| Das Depositionsmaterial | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu usw. |
| Einlagenquelle |
Ebenförmige Sputterkatoden + kreisförmige Bogenkathoden Anmerkung: Ein zylindrischer Gleichstromsputter ist verfügbar |
| Kontrollen | PLC ((Programmierbare Logiksteuerung) + Touchscreen (Manuelle + automatische + halbautomatische Bedienung) |
| PUMPSYSTEM | Drehschubpumpe: SV300B - 1 Satz (Leybold) |
| Wurzelpumpe: WAU1001 - 1 Satz (Leybold) | |
| Haltungspumpe: D60C - 1 Satz (Leybold) | |
| Magnetische Molekülpumpe mit Aufhängung: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| GAS-Massendurchflussregler | 4 Kanäle, in China hergestellt, Seven Star (CS-Serie, ) digitales Modell (Ar, N2, O2, C2H2) |
| VACUUM GAGE | Modell: ZDF-X-LE, hergestellt in China |
| Sicherheitssystem | Zahlreiche Sicherheitsschließungen zum Schutz von Bedienern und Ausrüstern |
| Heizung | Heizgeräte: 20 kW. Max. Temperatur: 450°C |
| Kühlung | Industrielle Kühlgeräte (Kaltwasser) |
| Power Max. | 100 kW (ca.) |
| Durchschnittlicher Stromverbrauch | 45 KW (ca.) |
| Bruttogewicht | T (ungefähr) |
| Fußabdruck | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Elektrotechnik | AC 380V/3-Phasen/50HZ / 5-Leitung |
mit einer Breite von nicht mehr als 50 mm mit einer Breite von mehr als 10 mm
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Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Spezifikationen, Royal Technology ist geehrt, Ihnen vollständige Beschichtungslösungen zur Verfügung zu stellen.
Bitte klicken Sie hier, um die Broschüre herunterzuladen:Magnetron-Sputter-Deposition-System.pdf
Magnetron-Sputter-Absetzsystem für die Anwendung...